气闸室平衡系统技术方案

本实用新型专利技术涉及一种气闸室平衡系统，包括：逆止阀组件，用于控制连接气闸室与大气的平衡管道内气体向远离气闸室的方向单向流动；压力监测系统，用于监测气闸室内压力值的变化是否异常。通过逆止阀组件使得平衡管道内的气体均向远离气闸室的方向单向流动，因此当气闸室内压力检测失真导致平衡阀打开后，如果气闸室内的腔体压力值实际上小于外界压力值，通过平衡管道灌入气闸室的气流会被逆止阀组件阻断，从而减少气体回灌导致的微尘进入气闸室的情况，通过检测打开平衡阀后的气闸室的腔体压力值，能够及时发现压力检测失真从而进行维修调整，使得在新一轮工作中压力正常检测，通过上述技术方案，能够有效减少压力回灌现象，降低产品报废几率。

Air lock balance system

【技术实现步骤摘要】
气闸室平衡系统
本技术涉及半导体设备，特别是涉及一种气闸室平衡系统
技术介绍
在半导体生产过程中，每步工序完成后，晶圆会由真空环境传输至大气中，因此会设置气闸室作为小气压区域和大气压区域的中转站，当气闸室内的压力达到大气压区域气压值时，会连通气闸室与大气压区域，确保闸门开启时不会有压力差。在现有技术中至少存在如下问题，如果气闸室内的压力检测失真，会导致设备系统误判断气闸室已经达到了大气压区域气压值的状态，而使气闸室与大气压区域连通，产生压力回灌现象，容易导致微尘进入气闸室内，造成晶圆缺陷，降低了生产良率。
技术实现思路
基于此，有必要针对压力检测失真导致带有微尘的空气回灌至气闸室的问题，提供一种气闸室平衡系统，其具有减少压力回灌现象，降低产品报废几率的效果。一种气闸室平衡系统，包括：逆止阀组件，包括安装在连接气闸室与大气的平衡管道上的第一逆止阀，第一逆止阀阻止外部气体通过平衡管道流向气闸室。上述气闸室平衡方法，通过逆止阀组件使得平衡管道内的气体均向远离气闸室的方向单向流动，因此当气闸室内压力检测失真导致气闸室与外界气压连通后，如果气闸室内的腔体压力值实际上小于外界压力值，通过平衡管道灌入气闸室的气流会被逆止阀组件阻断，从而减少气体回灌导致的微尘进入气闸室的情况通过上述技术方案，能够有效减少压力回灌现象，降低产品报废几率。在其中一个实施例中，所述逆止阀组件还包括过滤器，所述过滤器安装在所述平衡管道上，用于过滤通过所述平衡管道的气体。通过上述技术方案，使得机台较低位置的空气即使进入平衡管道内也经过了过滤器的过滤，减少微尘进入气闸室的可能性。在其中一个实施例中，所述过滤器可拆卸的固定连接在所述平衡管道上。通过上述技术方案，工作人员可以定期更换过滤器，从而保障过滤器的过滤效果。在其中一个实施例中，所述逆止阀组件还包括至少一个排气管道，所述排气管道与平衡管道连通，所述排气管道与所述平衡管道的连接点位于所述第一逆止阀远离所述气闸室的一侧。通过上述技术方案，使得瞬间涌入平衡管道的空气直接从排气管道排出，减少第一逆止阀所承受的力。在其中一个实施例中，所述排气管道上安装有第二逆止阀，所述第二逆止阀用于控制所述排气管道内的气流沿平衡管道向远离所述气闸室的方向流动。使得排气管道只起到排气作用，外界脏污空气不会从排气管道进入平衡管道中，从而不易使得未过滤的气体接触到第一逆止阀，减少微尘进入气闸室的可能性。在其中一个实施例中，所述气闸室平衡系统包括平衡阀，所述平衡阀安装在所述平衡管道上。在其中一个实施例中，所述平衡阀安装在所述气闸室与所述第一逆止阀之间。在其中一个实施例中，所述气闸室平衡系统还包括压力监测系统，所述压力监测系统包括压力传感装置，所述压力传感装置安装在所述气闸室内部，用于采集平衡阀打开后所述气闸室内部的压力值，所述压力监测系统将所述压力传感装置输出的压力值与预设的上限压力值和下限压力值进行比较。当监测系统检测到的气闸室内气压与外界气压相同时会使气闸室与其外界连通。通过上述技术方案，若压力监测系统失真，气闸室实际气压值小于外界气压值时，气闸室会通过其它途径恢复腔体内压力至外界压力值，此时压力检测显示的数值会相应升高，大于外界压力值；气闸室实际气压值大于外界气压值时，气闸室内气体会通过逆止阀组件向外排除，此时压力检测显示的数值会相应降低，小于外界压力值。通过采集与外界连通后的气闸室的腔体压力值，能够及时发现压力检测失真从而进行维修调整，使得在新一轮工作中压力正常检测。在其中一个实施例中，所述过滤器包括聚氨酯吸收层和活性炭过滤层。在其中一个实施例中，所述平衡管道设置为软管。附图说明图1为本申请一个实施例中气闸室平衡系统的结构示意图；图2为本申请另一个实施例中气闸室平衡系统的结构示意图；图3为本申请一个包含过滤器的实施例中气闸平衡系统的结构示意图；图4为本申请一个包含第二逆止阀的实施例中气闸平衡系统的结构示意图；图5为本申请中展示一个实施例中第二逆止阀的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本申请，下面将参照相关附图对本申请进行更全面的描述。附图中给出了本申请的较佳的实施例。但是，本申请可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本申请的公开内容的理解更加透彻全面。在详细说明根据本申请的实施例前，应该注意到的是，所述的实施例主要在于与相机的光学中心测试方法、装置、计算机设备及存储介质相关的步骤和系统组件的组合。因此，所属系统组件和方法步骤已经在附图中通过常规符号在适当的位置表示出来了，并且只示出了与理解本申请的实施例有关的细节，以免因对于得益于本申请的本领域普通技术人员而言显而易见的那些细节模糊了本申请的公开内容。在本文中，诸如左和右，上和下，前和后，第一和第二之类的关系术语仅仅用来区分一个实体或动作与另一个实体或动作，而不一定要求或暗示这种实体或动作之间的任何实际的这种关系或顺序。术语“包括”、“包含”或任何其他变体旨在涵盖非排他性的包含，由此使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包含这些要素，而且还包含没有明确列出的其他要素，或者为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。针对压力检测失真导致带有微尘的空气回灌至气闸室的问题，本申请提供了一种气闸室平衡系统。如图1和图2所示，在一个实施例中，气闸室平衡系统包括逆止阀组件11，逆止阀组件11包括安装在平衡管道14上的第一逆止阀111。逆止阀组件11包括第一逆止阀111，第一逆止阀111为单向阀，允许气体单向流通。第一逆止阀111安装在平衡管道14上，第一逆止阀111的流通方向为气体远离气闸室的方向，当气闸室与外界连通而气闸室内的气压小于外界气压时，脏污气体回灌，第一逆止阀111使得从外界回灌进入平衡管道14的气体被阻隔，从而减少气体回灌导致的微尘进入气闸室的情况，从而减少气体回灌导致微尘进入气闸室内。如图3所示，在一个可选的实施例中，逆止阀组件11还包括过滤器112，过滤器112可以通过法兰盘可拆卸的固定连接在平衡管道14上，用于过滤通过平衡管道14的气体，从机台较低位置涌入平衡管道14的空气经过过滤器112的过滤，能够将微尘过滤，减少微尘在第一逆止阀111阻隔瞬间进入气闸室的可能性，并且可拆卸的固定连接在平衡管道14上的过滤器112可以定时更换，从而使得过滤器112保持过滤效力。在其他可选的实施例中，过滤器112可以通过螺纹连接的方式安装在平衡管道14上。在一个可选的实施例中，过滤器112可以为一种聚氨酯空气滤芯，包括颗粒过滤层、灰尘清理筒、环形滚动腔、超细纤维过滤层和滚轮，颗粒过滤层的内侧壁上设有灰尘清理筒,灰尘清理筒的外侧壁上设有灰尘清理毛，灰尘清理筒远离颗粒过滤层的一侧设有聚氨酯滤清层，聚氨酯滤清层的内部填充有聚氨酯吸收微粒,聚氨酯滤清层的内侧壁固定有活性炭过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气闸室平衡系统，其特征在于，包括：/n逆止阀组件，包括安装在连接气闸室与大气的平衡管道上的第一逆止阀，第一逆止阀阻止外部气体通过平衡管道流向气闸室。/n

【技术特征摘要】
1.一种气闸室平衡系统，其特征在于，包括：
逆止阀组件，包括安装在连接气闸室与大气的平衡管道上的第一逆止阀，第一逆止阀阻止外部气体通过平衡管道流向气闸室。


2.根据权利要求1所述的气闸室平衡系统，其特征在于，
所述逆止阀组件还包括过滤器，所述过滤器安装在所述平衡管道上，用于过滤通过所述平衡管道的气体。


3.根据权利要去2所述的气闸室平衡系统，其特征在于，
所述过滤器可拆卸的固定连接在所述平衡管道上。


4.根据权利要求1所述的气闸室平衡系统，其特征在于，
所述逆止阀组件还包括至少一个排气管道，所述排气管道与平衡管道连通，所述排气管道与所述平衡管道的连接点位于所述第一逆止阀远离所述气闸室的一侧。


5.根据权利要求4所述的气闸室平衡系统，其特征在于，
所述排气管道上安装有第二逆止阀，所述第二逆止阀用于控制所述排气管道内的气...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34