【技术实现步骤摘要】
长运动行程推拉舟机构
本技术涉及一种推拉舟机构。
技术介绍
推拉舟机构主要用于例如石英舟在真空炉的装卸料，例如行业标准JC/T2065-2011所规范的“太阳能电池硅片用石英舟”，所要求石英舟尺寸精度高，个体也相对较大，因此用于对其进行取放料的推拉舟机构的负载相对较大。推拉舟机构中有一种称为悬臂式推拉舟机构，典型地，如中国专利文献CN102061456A，其公开了一种用于PECVD装置的悬臂式推拉舟系统，该系统包括悬臂杆机构、侧面连接机构和滚动直线导套副机构，用于作为悬臂杆机构水平运动和垂直运动导向的滚动直线导套副机构设于PECVD设备的机架上，悬臂杆机构固定于侧面连接机构上。由于悬臂杆比较长，即便是没有负载，悬臂杆也会产生自然的挠曲变形，而在承载负载后，悬臂杆杆端要承载不小于25kg（中型负载）的重量，悬臂杆杆端下垂明显，显然与相关规范要求不相适应。适配于中型负载的推拉舟机构属于长运动行程推拉舟机构，其工作行程通常在2m以上。为提高悬臂杆的刚度，在一些实现中，通过对悬臂杆加粗以提高整体刚度，不可避免的会导致
【技术保护点】
1.一种长运动行程推拉舟机构，其特征在于，包括：/n机体，具有机体导轨，该机体导轨为水平的直线导轨；/n滑座，该滑座与机体导轨配合形成机体导轨副，且滑座上安装有立架，立架上设有升降导轨，该升降导轨为竖直的直线导轨；/n竖滑台，该竖滑台与所述升降导轨配合形成升降导轨副；/n俯仰机构，安装在竖滑台上，具有俯仰输出构件；/n悬臂，安装在俯仰输出构件上并在机体导轨延伸的方向上悬伸，为俯仰机构所驱动而能做俯仰调整；/n第一驱动装置，以驱动滑座沿机体导轨运行；/n第二驱动装置，以驱动竖滑台沿升降导轨运行；以及/n第三驱动装置，以驱动俯仰机构做俯仰运动。/n
【技术特征摘要】
1.一种长运动行程推拉舟机构，其特征在于，包括：
机体，具有机体导轨，该机体导轨为水平的直线导轨；
滑座，该滑座与机体导轨配合形成机体导轨副，且滑座上安装有立架，立架上设有升降导轨，该升降导轨为竖直的直线导轨；
竖滑台，该竖滑台与所述升降导轨配合形成升降导轨副；
俯仰机构，安装在竖滑台上，具有俯仰输出构件；
悬臂，安装在俯仰输出构件上并在机体导轨延伸的方向上悬伸，为俯仰机构所驱动而能做俯仰调整；
第一驱动装置，以驱动滑座沿机体导轨运行；
第二驱动装置，以驱动竖滑台沿升降导轨运行；以及
第三驱动装置，以驱动俯仰机构做俯仰运动。
2.根据权利要求1所述的长运动行程推拉舟机构，其特征在于，所述第一驱动装置包括：
丝母丝杠机构，该丝母丝杠机构的丝杠与所述机体导轨平行，且该丝母丝杠机构的螺母安装在所述滑座上；
反馈单元，用于检测螺母的当前位置；以及
第一电机或第一电机减速器，用于输出连接丝母丝杠机构。
3.根据权利要求2所述的长运动行程推拉舟机构，其特征在于，所述反馈单元为安装在丝杠一侧的光栅尺或位于丝杠一端的旋转编码器。
4.根据权利要求2所述的长运动行程推拉舟机构，其特征在于，所述丝母丝杠机构配置为：
为一丝母丝杠机构，该丝母丝杠机构位于构成机体导轨的两条直线导轨中间；或
为两丝母丝杠机构，两丝母丝杠机...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋德鹏，姜良斌，
申请(专利权)人：济南力冠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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