真空腔室推拉门结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空腔室推拉门结构，其包括：导轨，水平地布设在炉体开有炉口的外炉壁、真空腔室座或独立支架上；炉门板体，通过与所述导轨间形成导轨副的滑块安装在导轨上；直线运动副，以所述炉门板体为机架并沿炉门板体法向布设；活动门板，安装在直线运动副的输出构件上。依据本实用新型专利技术的真空腔是推拉门结构操作简便，且能够提供较好密封效果。

Sliding door structure of vacuum chamber

【技术实现步骤摘要】
真空腔室推拉门结构
本技术涉及一种真空腔室推拉门结构。
技术介绍
真空腔室所使用的门主要有侧铰链门、推拉门、闸门，其中侧铰链门使用较广，门板通过侧铰链安装在炉体门口（即炉口）一侧，门板能够绕侧铰链转动而可由此可进行门板的开启或关闭，该种门板的开启或关闭主要只需要一个运动形式，即转动，结构相对简单。然而由于真空腔室所使用的门比较厚重，侧铰链所承受的弯矩非常大，而铰链存在间隙，换言之，门板基于侧铰链而竖直设置，但因铰链间隙的存在而使得门与门板对位并不能达到理想状态，因此，推拉门和闸门在相对大型的真空腔室中应用更广，而侧铰链门则在较小的真空炉等真空腔室中应用较广。推拉门和闸门最大的问题是门板或者闸门到位后，并不能单独形成对炉口的密封，还需要在进出门的方向上有一定的运动量才能够实现较好的密封，在此条件下实现起来相对困难。中国专利文献CN201873750U公开了一种PECVD设备新型开关炉门，其提供了一种普通旋转式PECVD设备开关炉门结构，一种间接旋转方式PECVD设备开关炉门，并进一步提出一种PECVD设备新型开关炉门，其中后者炉门本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空腔室推拉门结构，其特征在于，包括：/n导轨，水平地布设在炉体开有炉口的外炉壁、真空腔室座或独立支架上；/n炉门板体，通过与所述导轨间形成导轨副的滑块安装在导轨上；/n直线运动副，以所述炉门板体为机架并沿炉门板体法向布设；/n活动门板，安装在直线运动副的输出构件上。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空腔室推拉门结构，其特征在于，包括：
导轨，水平地布设在炉体开有炉口的外炉壁、真空腔室座或独立支架上；
炉门板体，通过与所述导轨间形成导轨副的滑块安装在导轨上；
直线运动副，以所述炉门板体为机架并沿炉门板体法向布设；
活动门板，安装在直线运动副的输出构件上。


2.根据权利要求1所述的真空腔室推拉门结构，其特征在于，所述直线运动副构造为：
丝母，与所述活动门板固定连接；
丝杠，与所述丝母配合而形成丝母丝杠副，并回转地安装在炉门板体上；
驱动部，连接在丝杠上，以驱动丝杠旋转。


3.根据权利要求2所述的真空腔室推拉门结构，其特征在于，所述驱动部为手轮。


4.根据权利要求2或3所述的真空腔室推拉门结构，其特征在于，在炉门板体上设有导套，导套的轴线与丝母的轴线平行；
相应地，活动门板上固定有与相应导套配合的导向轴。
<...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋德鹏，于涛，
申请(专利权)人：济南力冠电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37