除害装置、除害装置的配管部的更换方法及除害装置的配管的清洗方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够抑制因配管的壁面的腐蚀而导致的装置性能下降、装置整体故障的除害装置和该除害装置的配管部的更换方法及配管的清洗方法。除害装置(100)具有形成供处理气体流动的流路(103)的内壁(104)，还具备：第一配管(130)，形成流路(103)的一部分；能够更换的配管部170，形成流路(103)的一部分，且位于第一配管(130)的流路(103)的下游侧并与第一配管(130)连接，配管部具有对将附着于内壁(104)的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部(174)；及第二配管(150)，形成流路(103)的一部分，且位于配管部(170)的流路(103)的下游侧并与配管部(170)连接。

Replacement method of the piping part of the pest control device and the pest control device and cleaning method of the piping of the pest control device

【技术实现步骤摘要】
除害装置、除害装置的配管部的更换方法及除害装置的配管的清洗方法
本专利技术涉及一种除害装置、除害装置的配管部的更换方法及除害装置的配管的清洗方法。
技术介绍
真空泵装置作为半导体、液晶、太阳能板、LED等的制造设备的一种而被广泛使用。在这些产品的制造工序中，真空泵连接到真空腔室，对真空腔室内的处理气体进行真空吸引。真空泵进行真空吸引的处理气体中，存在含有硅烷气体(SiH4)、二氯硅烷气体(SiH2Cl2)、氨气(NH3)等有害可燃性气体，或者NF3、ClF3、SF6、CHF3、C2F6、CF4等卤素难分解性气体的情况。在该情况下，不能将真空泵进行真空吸引的处理气体这样直接向大气中排放。因此，在真空泵的后段设置除害装置，除害装置对真空吸引的处理气体进行无害化处理。作为处理气体的无害化处理，已知有使处理气体和液体接触从而将异物、水溶性成分等去除的湿式处理，和将处理气体进行燃烧的燃烧式处理等。另外，从真空泵被排气的处理气体中，存在因在真空腔室内的反应等而被凝固的物质或容易凝固的物质作为反应副生成物而混入的情况。这样的生成物如果进入除害装置，可能会导致配管及除害装置堵塞，或者导致除害装置的处理效率降低。因此，存在在真空泵装置和除害装置之间设置用于将异物除掉的异物去除机构的情况。作为异物去除机构一例，已知有风扇洗涤器。风扇洗涤器具备对处理气体进行搅拌的风扇、和对风扇进行驱动的电动机和将液体喷出的喷嘴。风扇洗涤器通过从喷嘴喷出的液体捕捉异物。风扇洗涤器在作为异物去除机构起作用的同时，也作为湿式除害装置而起作用。这里，处理气体中，存在含有氯化铝(AlCl3)、氯化铵(NH4Cl)、四乙硅基酸盐(TEOS)等的情况。由于这些处理气体在常温下的蒸汽压低，在温度下降的除害装置的配管的内部由这些处理气体生成了固体生成物。并且，由于该固体生成物附着于配管的壁面，有可能将配管堵塞。另外，处理气体中，存在含有用于蚀刻Al配线的BCl3、用Cl系气体对多晶硅进行蚀刻的情况下排出的SiCl4等的情况。由于这些处理气体和水反应而生成固体生成物，在除害装置的内部潮湿的情况下，该固体生成物可能将配管阻塞。因此，需要去除附着于配管的壁面的固体生成物，已知有具有去除附着于配管的壁面的固体生成物功能的除害装置。例如，作为包含具有去除配管内的固体生成物功能的除害装置的系统的一例，已知有专利文献1所记载的废气处理系统。专利文献1所记载的废气处理系统具有：半导体制造装置；用于将从自半导体制造装置排出气体(处理气体)排出的真空泵；湿式废气体处理装置；将真空泵与湿式废气体处理装置进行连接的第二管；以及设置于第二管的固体生成物去除装置。该固体生成物去除装置的特征是具备清洗水导入管，该清洗水导入管具有位于第二管内的顶端开口，该清洗水导入管从顶端开口将清洗水向第二管的内面供给。由此，在气体(处理气体)与管内的水分反应并在第二管的内面附着有固体生成物的情况下，固体生成物去除装置能够通过从顶端开口供给的清洗水将该固体生成物洗落。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第4012818号如上所述，专利文献1所记载的废气处理系统利用清洗水将附着于配管的壁面的固体生成物去除。因此，配管的壁面在进行固体生成物的去除时，因清洗水而湿润。另一方面，在不进行固体生成物的去除时，配管的壁面干燥。因此，在清洗水流动的配管的壁面的部分，即在对清洗水进行供给的顶端开口附近的部分，配管的壁面的潮湿干燥频繁地发生。即，在对清洗水进行供给的顶端开口附近的部分，因配管的壁面的潮湿干燥而导致的腐蚀，与其他的配管的部分相比可能会较多的发生。在发生腐蚀的状态下，如果使用除害装置，可能有装置的性能下降、发生装置整体的故障。另外，如果潮湿干燥频繁发生的配管的壁面的部分施加有PFA涂层的话，则认为能够抑制该部分的腐蚀。但是，用于对清洗水进行供给的顶端开口是设置于第二管的内面的用于供清洗水流动的孔。因此，由于使清洗水反复从顶端开口流动，涂层可能以顶端开口的边缘为起点而脱落。并且，可能从该脱落的部分发生配管的壁面的腐蚀。即，无论是否有PFA涂层，对清洗水进行供给的开口附近的部分的腐蚀相比其他的配管的部分发生得早。
技术实现思路
因此，本专利技术鉴于上述的课题，其目的在于提供一种除害装置、除害装置的配管部的更换方法及除害装置的配管的清洗方法，能够抑制因配管的壁面的腐蚀而引起的装置的性能下降、装置整体的故障。本专利技术的除害装置具有形成供处理气体流动的流路的内壁，并且还具备：第一配管，该第一配管形成所述流路的一部分；能够更换的配管部，该配管部形成所述流路的一部分，并且相比所述第一配管位于所述流路的下游侧并与所述第一配管连接，该配管部具有对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部；以及第二配管，该第二配管形成所述流路的一部分，并且相比所述配管部位于所述流路的下游侧并与所述配管部连接。本专利技术的除害装置的配管部的更换方法所使用的除害装置具备：内壁，该内壁形成供处理气体流动的流路；第一配管，该第一配管形成所述流路的一部分；能够更换的配管部，该配管部形成所述流路的一部分，并且相比所述第一配管位于所述流路的下游侧并与所述第一配管连接，该配管部具有对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部；以及第二配管，该第二配管形成所述流路的一部分，并且相比所述配管部位于所述流路的下游侧并与所述配管部连接，所述除害装置的配管部的更换方法具有对所述配管部进行更换的工序。本专利技术的除害装置的配管的清洗方法所使用的除害装置具有形成供处理气体流动的流路的内壁，并且还具备：第一段喷洒部，该第一段喷洒部对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒；第二段喷洒部，该第二段喷洒部位于所述第一段喷洒部的上游侧，对将附着于所述第一段喷洒部的上游侧的所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒；以及压力传感器，该压力传感器对所述第一段喷洒部的上游侧的所述流路内的压力进行测量，所述除害装置的配管的清洗方法具有如下工序：在所述压力传感器测量出比预先设定的阈值高的压力时，所述第一段喷洒部进行喷洒的工序；以及在流动于所述流路的处理气体因固体生成物产生而停止时，所述第二段喷洒部进行喷洒的工序。附图说明图1是具备本专利技术的第一实施方式的除害装置的气体处理系统的框图。图2是表示本专利技术的第一实施方式的除害装置的结构的剖视图。图3是示出在图2表示的除害装置的第一配管、第二配管及配管部的周边的放大剖视图。图4是表示本专利技术的第二实施方式的除害装置的配管部的周边的放大剖视图。符号说明100除害装置101气体吸入口102气体排出口103流路104内壁110风扇洗涤器111外壳112风扇113液体供给路115屏蔽电动机130第一配管150第二配管154PFA涂层170配管部174喷洒部190喷雾器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种除害装置，具有形成供处理气体流动的流路的内壁，所述除害装置的特征在于，具备：/n第一配管，该第一配管形成所述流路的一部分；/n能够更换的配管部，该配管部形成所述流路的一部分，并且相比所述第一配管位于所述流路的下游侧并与所述第一配管连接，该配管部具有对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部；以及/n第二配管，该第二配管形成所述流路的一部分，并且相比所述配管部位于所述流路的下游侧并与所述配管部连接。/n

【技术特征摘要】
20181012 JP 2018-1930421.一种除害装置，具有形成供处理气体流动的流路的内壁，所述除害装置的特征在于，具备：
第一配管，该第一配管形成所述流路的一部分；
能够更换的配管部，该配管部形成所述流路的一部分，并且相比所述第一配管位于所述流路的下游侧并与所述第一配管连接，该配管部具有对将附着于所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒的第一段喷洒部；以及
第二配管，该第二配管形成所述流路的一部分，并且相比所述配管部位于所述流路的下游侧并与所述配管部连接。


2.根据权利要求1所述的除害装置，其特征在于，
还具备加热器，该加热器对所述内壁进行加热。


3.根据权利要求1或2所述的除害装置，其特征在于，
所述配管部由耐腐蚀金属构成。


4.根据权利要求1或2所述的除害装置，其特征在于，
所述内壁中的所述第二配管的部分施加有PFA涂层。


5.根据权利要求1或2所述的除害装置，其特征在于，还具备：
O型圈，该O型圈对所述配管部与所述第一配管或所述第二配管的连接部位进行密封；以及
夹紧装置，该夹紧装置在所述连接部位使所述配管部与所述第一配管或所述第二配管贴紧。


6.根据权利要求1或2所述的除害装置，其特征在于，
还具备第二段喷洒部，该第二段喷洒部位于所述第一段喷洒部的上游侧，对将附着于所述第一段喷洒部的上游侧的所述内壁的固体生成物去除的清洗水进行喷洒。


7.根据权利要求6所述的除害装置，其特征在于，
还具备压力传感器，该压力传感器对所述第一段喷洒部的上游侧的所述流路内的压力进行测量，
所述第一段喷洒部在所述压力传感器检测到比预先设定的阈值高的压力时进行喷洒，
所述第二段喷洒部在流动于所述流路的处理气体因固体生成物的产生而停止时进行喷洒。


8.根据权利要求7所述的除害装置，其特征在于，
所述第二段喷洒部将从设置于所述除害装置的前段或后段的装置接收到加工气体停止信号的时候看作是处理气体因所述固体生成物的产生而停止的时候，并进行喷洒。


9.根据权利要求6所述的除害装置，其特征在于，
所述第二段喷洒部包含于所述配管部。


10.根据权利要求1或2所述的除害装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻田高典，驹井哲夫，杉浦哲郎，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP