膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法。一种用于在基板上形成膜的膜形成装置包括：驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合平坦表面；以及固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。

Membrane forming device, membrane forming method and article manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法
本专利技术涉及一种膜形成装置、膜形成方法以及物品的制造方法。
技术介绍
光刻技术用于制造诸如半导体器件的物品。光刻技术包括以下工序：通过使用曝光装置将原版的图案转印到布置在基板上的光致抗蚀剂膜来形成潜像图案，以及通过对潜像图案进行显影来形成抗蚀剂图案。随着曝光装置的分辨率的提高，曝光装置的投影光学系统的焦深已经变得极其狭窄。例如，在用于形成5nm至7nm的线和间隔图案的扫描曝光装置中，曝光狭缝所需的三维精度为4nm或更低。因此，在存在于基板的表面上的下层图案上形成平坦化膜，并且可以在平坦化膜上布置光致抗蚀剂膜。美国专利No.7455955公开了一种方法，其中在包括形貌特征的基板上形成平坦化层，并且通过使平坦表面与平坦化层接触而固化平坦化层。在足以将平坦表面的平坦度转印到平坦化表面上的压力和温度下进行一段时间的平坦化层与平坦表面之间的接触。美国专利No.7455955公开了接触时的温度通常落入环境温度至350℃的范围内。然而，美国专利No.7455955没有公开在使平坦表面与平坦化层接触的工序中可以使用哪种方法来加热平坦化层。
技术实现思路
本专利技术提供一种有利于在基板上有效地形成平坦化膜的技术。本专利技术的第一方面提供了一种在基板上形成膜的膜形成装置，所述膜形成装置包括：驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合(conformto)所述平坦表面；以及，固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。本专利技术的第二方面提供了一种在基板上形成膜的膜形成装置，所述膜形成装置包括：基板保持器，被配置为保持基板；驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；加热器，被设置到基板保持器，且被配置为经由基板加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；以及，固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。本专利技术的第三方面提供一种物品的制造方法，所述方法包括：通过本专利技术的第一或第二方面中所限定的膜形成装置，在基板上形成由可固化组合物的固化产物制成的膜；在所述膜上布置光敏材料；通过对光敏材料进行曝光来形成图案；以及，通过使用所述图案来加工基板，其中，所述物品是从该基板制造的。本专利技术的第四方面提供了一种用于在基板上形成膜的膜形成方法，所述方法包括：使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；以及，通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。本专利技术的第五方面提供了一种用于在基板上形成膜的膜形成方法，所述方法包括：加热被配置为保持基板的基板保持器；将基板布置在基板保持器上；使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；以及，通过在已经在基板保持器的加热中经由基板加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦平面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。本专利技术的第六方面提供一种物品的制造方法，所述方法包括：通过本专利技术的第四或第五方面中所限定的膜形成方法在基板上形成由可固化组合物的固化产物制成的膜；在所述膜上布置光敏材料；通过对光敏材料进行曝光来形成图案；以及，通过使用所述图案来加工基板，其中，所述物品是从该基板制造的。根据下面参照附图对示例性实施例的描述，本专利技术的进一步特征将变得清晰。附图说明图1是示出根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置的布置的图；图2A至图2C是示例性地示出可以由根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置执行的膜形成方法的图；图3A至图3C是示例性地示出可以由根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置执行的膜形成方法的图；图4A至图4C是示例性地示出可以由根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置执行的膜形成方法中的基板的结构、可固化组合物的变化、可固化组合物与平坦构件的平坦表面之间的接触和分离等的图；图5A至图5C是示例性地示出可以由根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置执行的膜形成方法中的基板的结构、可固化组合物的变化、可固化组合物与平坦构件的平坦表面之间的接触和分离等的图；图6是示出根据本专利技术的第二实施例的膜形成装置的布置的图；图7是示出通过根据本专利技术的第二实施例的膜形成装置的分配器将可固化组合物涂布在基板上的示例的图；图8是示出根据本专利技术的第三实施例的膜形成装置的布置的图；图9是示例性地示出根据本专利技术的第一至第三实施例的可固化组合物的粘度变化的图；图10是用于说明根据本专利技术的第一至第三实施例的膜形成装置的变型的图；以及图11是示例性地示出可以通过根据本专利技术的第一至第三实施例的膜形成装置的变型执行的膜形成方法的图。具体实施方式以下，将参照附图描述本专利技术的膜形成装置和膜形成方法的示例性实施例。图1示出了根据本专利技术的第一实施例的膜形成装置100的布置。膜形成装置100在基板S上形成由可固化组合物CM制成的膜。膜形成装置100例如可以包括驱动器40、加热器50以及固化设备60。虽然该膜是平坦化膜，但它不必完全平坦。驱动器40驱动基板S和平坦构件FM中的至少一个，以使布置在基板S上的可固化组合物CM与平坦构件FM的平坦表面FS相互接触。另外，驱动器40可以驱动基板S和平坦构件FM中的至少一个，以在可固化组合物CM已经固化后，将由可固化组合物CM的固化产物制成的膜与平坦构件FM的平坦表面FS分离。在图1所示的示例中，形成驱动器40以通过驱动平坦构件FM来执行可固化组合物CM与平坦表面FS之间的接触操作和分离操作。此外，尽管在图1中省略了描述，但是平坦构件FM可以由保持头保持。驱动器40可以通过驱动保持头来驱动平坦构件FM。加热器50可以使用电磁波加热可固化组合物CM，以降低可固化组合物CM的粘度，并使可固化组合物CM贴合平坦表面FS。通过加热器50对可固化组合物CM的加热可以在驱动器40使可固化组合物CM和平坦构件FM的平坦表面FS相互接触之前开始，或者可以在驱动器40已经使可固化组合物CM和平坦构件FM的平坦表面FS相互接触之后开始。加热器50可以至少在可固化组合物CM与平坦构件FM的平坦表面FS接触的时段期间加热可固化组合物CM。加热器50可以包括磁控管。磁控管可以产生例如频率为2.45GHz或0.915GHz的电磁波。膜形成装置100包括可以覆盖整个基板S并具有开口部的盖构件70，并且加热器50可以被布置成通过盖构件70的开口部用电磁波照射基板S上的可固化组合物CM。盖构件70可以由例如金属等导电构件制成。盖构件70的至少一部分可以形成用于传输电磁波本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在基板上形成膜的膜形成装置，其特征在于，包括：/n驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；/n加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；以及/n固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。/n

【技术特征摘要】
20181011 JP 2018-1928121.一种在基板上形成膜的膜形成装置，其特征在于，包括：
驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；
加热器，被配置为通过电磁波加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；以及
固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。


2.根据权利要求1所述的装置，其中，加热器包括磁控管。


3.根据权利要求2所述的装置，其中，磁控管产生具有2.45GHz或0.915GHz的频率的电磁波。


4.一种在基板上形成膜的膜形成装置，其特征在于，包括：
基板保持器，被配置为保持基板；
驱动器，被配置为使布置在基板上的可固化组合物与平坦表面相互接触；
加热器，被设置到基板保持器，且被配置为经由基板加热可固化组合物以降低可固化组合物的粘度并使可固化组合物贴合所述平坦表面；以及
固化设备，被配置为通过在可固化组合物贴合所述平坦表面的状态下使可固化组合物固化来形成由可固化组合物的固化产物制成的膜。


5.根据权利要求4所述的装置，还包括：
移动机构，被配置为将基板保持器布置在第一位置和第二位置，
其中，第一位置是基板保持器接收基板的位置，并且第二位置是固化设备使可固化组合物固化的位置。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其中，加热器将可固化组合物加热至落入100℃至200℃的温度范围内的温度。


7.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，其中，基板包括多个投射区域，并且所述平坦表面的尺寸能够全部覆盖所述多个投射区域。


8.根据权利要求1至5中任一项所述的装置，还包括：
供应器，被配置为在基板上供应可固化组合物。


9.根据权利要求8所述的装置，其中，供应器包括被配置为排出可固化组合物的孔口，并且通过在改变基板和孔口之间的相对位置的同时从孔口排出可固化组合物来将可固化组合物布置在基板上。


10.根据权利要求8所述的装置，其中，供应器包括旋涂机，旋涂机被配置为用可固化组合物旋涂基板。...

【专利技术属性】
技术研发人员：黑泽博史，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP