【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种真空泵，尤其是优选用于对在半导体器件、液晶面板、led、太阳电池等的制造中使用的处理气体排气的用途的真空泵。
技术介绍
1、在制造半导体器件、液晶面板、led、太阳电池等的制造过程中，将处理气体导入处理腔室内进行蚀刻处理、cvd处理等各种处理。被导入处理腔室的处理气体通过真空泵被排气。一般来说，在需要高清净度的这些制造过程中使用的真空泵是在气体的流路内不使用油的所谓的干式真空泵。作为这样的干式真空泵的代表例，有使配置于转子室内的一对罗茨转子彼此向相反方向旋转来输送气体的容积式真空泵。
2、现有技术文献
3、专利文献
4、专利文献1：日本特开平1-077782号公报
5、专利技术所要解决的技术问题
6、处理气体有时包含由副生成物构成的粉体。这样的粉体与处理气体一起流入真空泵内。另外，根据真空泵内的状态(例如温度、压力)，有时在处理气体流入真空泵后在真空泵内生成粉体。大部分粉体与处理气体一起从真空泵被排出，但部分粉体停留在转子室内，并逐渐堆积在转子室内。尤其是，在相对的两个罗茨转子的凸面和凹面为面接触(实际上不接触)的状态时，由于粉体没有退路，因此粉体被强力地夹在这些罗茨转子的凸面与凹面之间，存在阻碍罗茨转子的旋转的情况。
技术实现思路
1、因此，本专利技术提供一种粉体难以夹在罗茨转子间，而能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵。另外，本专利技术提供一种决定这样的罗茨转子的形状的方法。
2、用于解决
3、在一方式中，提供一种真空泵，具备：泵壳体，该泵壳体在内部具有至少一个转子室；以及第一罗茨转子及第二罗茨转子，该第一罗茨转子及第二罗茨转子在所述转子室内并排配置，所述第一罗茨转子及所述第二罗茨转子分别具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面、与所述渐开线侧面的外侧端部连接的圆弧凸面、以及与所述渐开线侧面的内侧端部连接的圆弧凹面，所述圆弧凸面的曲率半径比所述圆弧凹面的曲率半径小。
4、在一方式中，所述圆弧凸面及所述圆弧凹面分别比所述渐开线侧面长。
5、在一方式中，所述圆弧凸面和所述圆弧凹面相对时的形成于所述圆弧凸面与所述圆弧凹面之间的空间的宽度随着从所述圆弧凸面与所述圆弧凹面的最小间隙的位置离开而增大。
6、在一方式中，所述圆弧凸面的曲率半径是所述圆弧凹面的曲率半径的0.2～0.9倍。
7、在一方式中，提供一种决定罗茨转子的形状的方法，包含：一边改变罗茨转子的各种因素，一边通过运算系统生成具有满足所述各种因素的形状的罗茨转子的多个候选，通过所述运算系统计算与具有所述多个候选中的一个候选的形状的一对罗茨转子的多个旋转角度对应的所述一对罗茨转子间的多个间隙，决定所述多个间隙中的最大间隙，对于所述多个候选，反复进行所述多个间隙的计算和所述最大间隙的决定，从而决定与所述多个候选对应的多个最大间隙，决定与所述多个最大间隙中的最小的最大间隙对应的候选的罗茨转子的形状。
8、在一方式中，所述方法还包含：通过对与所述多个旋转角度对应的所述多个间隙进行插值，计算与多个追加的旋转角度对应的追加的多个间隙，所述最大间隙从所述多个间隙和所述追加的多个间隙中决定。
9、在一方式中，所述罗茨转子具有：具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面；与所述渐开线侧面的外侧端部连接的圆弧凸面；以及与所述渐开线侧面的内侧端部连接的圆弧凹面，所述圆弧凸面的曲率半径比所述圆弧凹面的曲率半径小。
10、在一方式中，罗茨转子的所述各种因素包含一对罗茨转子的中心间距离、罗茨转子的所述渐开线侧面的压力角、罗茨转子的半径、罗茨转子间的间隙、罗茨转子的所述圆弧凸面的曲率半径以及罗茨转子的所述圆弧凹面的曲率半径中的至少一个。
11、专利技术的效果
12、由于第一罗茨转子的圆弧凸面的曲率半径比第二罗茨转子的圆弧凹面的曲率半径小，因此第一罗茨转子的圆弧凸面上的一点与第二罗茨转子的圆弧凹面上的一点形成最小间隙，在该最小间隙的两侧，罗茨转子间的间隙逐渐扩大。因此，粉体难以夹在第一罗茨转子的圆弧凸面与第二罗茨转子的圆弧凹面之间。其结果是，罗茨转子能够维持顺利的旋转。
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1.一种真空泵，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
5.一种决定罗茨转子的形状的方法，其特征在于，包含：
6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，
7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种真空泵，其特征在于，具备：
2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于，
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【专利技术属性】
技术研发人员：杉浦哲郎，长山真己，阿纳加·卡玛特卡尔，堀部悠河，大渕真志，
申请(专利权)人：株式会社荏原制作所，
类型：发明
国别省市：
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