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真空泵及决定罗茨转子的形状的方法技术
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文档序号:42308943
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提供一种粉体难以夹在罗茨转子间,能够维持罗茨转子的顺利的旋转的真空泵及决定罗茨转子的形状的方法。第一罗茨转子(8)及第二罗茨转子(9)分别具有:具有由渐开线曲线构成的形状的渐开线侧面(31)、与渐开线侧面(31)的外侧端部连接的圆弧凸面(3...
该专利属于株式会社荏原制作所所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社荏原制作所授权不得商用。
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