一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架。有益效果在于：本实用新型专利技术通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转，从而将集尘袋内外壁进行调换，以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动，从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除，集尘袋的清洁过程无需开启箱体，实用性强。

A silicon target grinding device with dust removal function

【技术实现步骤摘要】
一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置
本技术涉及硅靶材生产设备领域，具体涉及一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置。
技术介绍
硅靶材是一种重要的磁控溅射镀膜靶材，在太阳能光伏、平面显示和触控等领域都有广泛应用。硅靶材在生产过程中，须使用研磨机对靶材表面进行研磨处理，使表面粗糙度达到Ra3.2甚至更高要求，以满足镀膜需求。本申请人发现现有技术中至少存在以下技术问题：在研磨过程中会产生大量的粉尘飞屑，目前所使用的研磨设备不具有粉尘收集功能，对操作人员健康以及环境造成较大危害，实用性差。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，对研磨产生的粉尘混合空气进行收集过滤，且可在不开启过滤设备的前提下对滤尘袋进行清洁，实用性强，详见下文阐述。为实现上述目的，本技术提供了以下技术方案：本技术提供的一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶部设置有定位架；所述除尘组件包括箱体和设置于该箱体内部的多个集尘袋，所述集尘袋开口端与所述箱体顶部相接，且所述集尘袋封闭端伸出所述箱体顶部，所述集尘袋顶端设置有一顶杆，所述集尘袋外侧的所述箱体上对称设置有两条连杆，所述连杆顶部均设置有提手，且两条所述连杆底部通过刮板相连，且所述刮板上对应多组所述集尘袋设置有多组刷毛孔。采用上述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，在硅靶材研磨过程中，通过集气罩将研磨机本体产生的含尘气体进行收集，且通过气泵将含尘气体导入箱体内，不断进入所述箱体内的含尘气流通过集尘袋导出箱体，同时气体流过集尘袋过程中对粉尘进行过滤，粉尘被集尘袋阻挡收集，当需要对集尘袋内粘附余留的粉尘进行清理时，向下按压所述顶杆，通过顶杆带动集尘袋封闭端穿过所述箱体顶部，从而通过顶杆带动集尘袋向下移动，且在此过程中集尘袋内外壁产生翻转调换，粘附于集尘袋内壁的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下拉动所述连杆，通过连杆带动刮板移动，从而通过刮板上刷毛孔内的刷毛对集尘袋外侧壁上的灰尘进行扫除，之后向上提起所述顶杆，通过顶杆带动集尘袋向上翻转复位，完成集尘袋内粉尘的刮除过程。作为优选，所述顶杆顶部设置有一握把，所述定位架顶部对应所述握把处设置有可与该顶杆卡接的限位槽，且该限位槽宽度小于所述握把长度。作为优选，所述箱体顶部对应所述集尘袋设置有多组通孔，该通孔下方的所述箱体顶部内侧壁上均设置有安装环，所述集尘袋开口端通过该安装环粘接固定于所述箱体内侧顶部。作为优选，所述刷毛孔为一圆孔结构，该圆孔结构内径大于所述集尘袋外径，且所述圆孔结构内侧沿其周向均匀粘接有硬质刷毛。作为优选，所述集尘袋为纱质丝线编织制成，且所述集尘袋顶部与所述顶杆粘接固定。作为优选，所述气泵进气端通过导气管与所述集气罩相连通，且所述气泵出气端通过波纹管与所述箱体侧壁相连通。有益效果在于：本技术通过下压顶杆以带动集尘袋进入箱体内并实现翻转，从而将集尘袋内外壁进行调换，以将集尘袋内粘附的粉尘翻转到集尘袋外侧，而后通过上下抽动连杆以带动刮板移动，从而通过刮板上的刷毛孔对集尘袋上粘附的粉尘进行扫除，集尘袋的清洁过程无需开启箱体，实用性强。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1是本技术的主视内部结构图；图2是本技术清扫状态的结构图；图3是本技术除尘组件的内部结构图；图4是本技术除尘组件的清扫状态结构图；图5是本技术刮板的俯视结构图；图6是本技术的主视结构图。附图标记说明如下：1、研磨机本体；2、集气罩；3、气泵；4、除尘组件；401、箱体；402、集尘袋；403、顶杆；404、握把；405、连杆；405a、提手；406、刮板；407、刷毛孔；5、定位架；501、限位槽。具体实施方式为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将对本技术的技术方案进行详细的描述。显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所得到的所有其它实施方式，都属于本技术所保护的范围。参见图1-图6所示，本技术提供了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体1和除尘组件4，研磨机本体1顶部设置有一集气罩2，集气罩2用以对研磨机本体1产生的粉尘空气进行收集，该研磨机本体1为现有自动研磨机设备，为本领域技术人员所熟知，其结构在此不做赘述，仅对研磨机粉尘清洁结构进行描述，该集气罩2顶部两侧对称设置有两组气泵3，除尘组件4设置于该集气罩2顶部中心，且除尘组件4通过气泵3与集气罩2连通，除尘组件4顶部设置有定位架5。除尘组件4包括箱体401和设置于该箱体401内部的多个集尘袋402，集尘袋402开口端与箱体401顶部相接，且集尘袋402封闭端伸出箱体401顶部，集尘袋402顶端设置有一顶杆403，集尘袋402外侧的箱体401上对称设置有两条连杆405，连杆405顶部均设置有提手405a，且两条连杆405底部通过刮板406相连，且刮板406上对应多组集尘袋402设置有多组刷毛孔407，通过按压顶杆403以带动集尘袋402伸入箱体401内，从而将集尘袋402内外翻转，以将集尘袋402内的灰尘翻出到集尘袋402外，而后通过上下抽动连杆405以带动刮板406对集尘袋402上的粉尘进行扫除，完成集尘袋402内粉尘的去除动作，该箱体401正面设置有箱门，通过开启该箱门对箱体401内聚集的粉尘进行取出，且该箱门与箱体401开口相接处通过密封条密封，以防止除尘过程中粉尘泄露飞出。作为可选的实施方式，顶杆403顶部设置有一握把404，定位架5顶部对应握把404处设置有可与该顶杆403卡接的限位槽501，且该限位槽501宽度小于握把404长度，通过将顶杆403卡入该限位槽501内，从而通过限位槽501对握把404进行阻挡支撑，以防止除尘过程中顶杆403向下掉落，箱体401顶部对应集尘袋402设置有多组通孔，该通孔下方的箱体401顶部内侧壁上均设置有安装环，集尘袋402开口端通过该安装环粘接固定于箱体401内侧顶部。刷毛孔407为一圆孔结构，该圆孔结构内径大于集尘袋402外径，且圆孔结构内侧沿其周向均匀粘接有硬质刷毛，通过刷毛孔407内的硬质刷毛对集尘袋402上的灰尘进行刮除，以在未开启箱体401过程中实现集尘袋402的清洁动作，集尘袋402为纱质丝线编织制成，且集尘袋402顶部与顶杆403粘接固定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：包括研磨机本体(1)和除尘组件(4)，所述研磨机本体(1)顶部设置有一集气罩(2)，该集气罩(2)顶部两侧对称设置有两组气泵(3)，所述除尘组件(4)设置于该集气罩(2)顶部中心，且所述除尘组件(4)通过所述气泵(3)与所述集气罩(2)连通，所述除尘组件(4)顶部设置有定位架(5)；/n所述除尘组件(4)包括箱体(401)和设置于该箱体(401)内部的多个集尘袋(402)，所述集尘袋(402)开口端与所述箱体(401)顶部相接，且所述集尘袋(402)封闭端伸出所述箱体(401)顶部，所述集尘袋(402)顶端设置有一顶杆(403)，所述集尘袋(402)外侧的所述箱体(401)上对称设置有两条连杆(405)，所述连杆(405)顶部均设置有提手(405a)，且两条所述连杆(405)底部通过刮板(406)相连，且所述刮板(406)上对应多组所述集尘袋(402)设置有多组刷毛孔(407)。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：包括研磨机本体(1)和除尘组件(4)，所述研磨机本体(1)顶部设置有一集气罩(2)，该集气罩(2)顶部两侧对称设置有两组气泵(3)，所述除尘组件(4)设置于该集气罩(2)顶部中心，且所述除尘组件(4)通过所述气泵(3)与所述集气罩(2)连通，所述除尘组件(4)顶部设置有定位架(5)；
所述除尘组件(4)包括箱体(401)和设置于该箱体(401)内部的多个集尘袋(402)，所述集尘袋(402)开口端与所述箱体(401)顶部相接，且所述集尘袋(402)封闭端伸出所述箱体(401)顶部，所述集尘袋(402)顶端设置有一顶杆(403)，所述集尘袋(402)外侧的所述箱体(401)上对称设置有两条连杆(405)，所述连杆(405)顶部均设置有提手(405a)，且两条所述连杆(405)底部通过刮板(406)相连，且所述刮板(406)上对应多组所述集尘袋(402)设置有多组刷毛孔(407)。


2.根据权利要求1所述一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，其特征在于：所述顶杆(403)顶部设置有一握把(404)，所述定位架(5)顶部对应所述握把(...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈华鑫，高毅，苏志民，杨开怀，
申请(专利权)人：厦门格雷迪科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35