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本实用新型公开了一种具有除尘功能的硅靶材研磨装置，包括研磨机本体和除尘组件，所述研磨机本体顶部设置有一集气罩，该集气罩顶部两侧对称设置有两组气泵，所述除尘组件设置于该集气罩顶部中心，且所述除尘组件通过所述气泵与所述集气罩连通，所述除尘组件顶...
该专利属于厦门格雷迪科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过厦门格雷迪科技有限公司授权不得商用。

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