【技术实现步骤摘要】
一种平面靶材背面金属化检测装置
本技术涉及平面靶材生产辅助装置
,具体涉及一种平面靶材背面金属化检测装置。
技术介绍
靶材是磁控溅射镀膜的原材料。靶材使用时一般是与背板(通常是铜板)焊接在一起的,这个过程在行业内叫做绑定。目前普遍使用的绑定材料是金属铟,为了让靶材能与金属背板牢固的焊接在一起,通常会在靶材的背面先镀上一层金属铟,这个过程在行业内叫靶材金属化。金属化效果不佳容易导致靶材在使用过程中脱落,造成严重的损失。为了保证靶材金属化的质量,金属化完成后需要对靶材金属化效果进行检测。但是,目前针对靶材金属化效果的检测并无有效且标准的方法。
技术实现思路
本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种平面靶材背面金属化检测装置,以解决现有技术中目前的针对靶材金属化效果检测的不足。本技术提供的诸多技术方案中优选的技术方案通过输送带对靶材进行输送,配合弹性伸缩杆将刮刀压紧在靶材表面,通过刮刀对靶材表面金属层刮清,实现对靶材金属层结合强度的自动百分百全检,有助于提高检测效率;通过夹紧组件对靶材进行夹紧固定,能够满足不同大小的靶材的夹紧固定,通过调节调高杆的高度实现弹性伸缩杆的高度调节,能够满足不同厚度的靶材的使用需求,适用范围广等技术效果,详见下文阐述。为实现上述目的,本技术提供了以下技术方案:本技术提供的一种平面靶材背面金属化检测装置,包括机架,所述机架内部对称安装有两根输送轴,所述输送轴外侧包裹有输送带,所述机架外侧安装有输送电机,所述输送电机的输送端与任一根所述输送轴相连接;所述输送 ...
【技术保护点】
1.一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)内部对称安装有两根输送轴(5),所述输送轴(5)外侧包裹有输送带(4),所述机架(1)外侧安装有输送电机(3),所述输送电机(3)的输送端与任一根所述输送轴(5)相连接;所述输送带(4)表面均匀设置有放置板(6),所述放置板(6)表面设置有夹紧组件(7),用于将靶材夹紧固定在所述放置板(6)表面;/n所述机架(1)上端安装有门型架(2),所述门型架(2)上表面竖直贯穿安装有调高杆(8),所述调高杆(8)的伸缩端伸入所述门型架(2)内部且安装有弹性伸缩杆(9),所述弹性伸缩杆(9)的伸缩端竖直向下且安装有承载架(10),所述承载架(10)呈“n”字型结构,且内部转动安装有升降辊(11),所述升降辊(11)沿着所述输送带(4)宽度方向延伸,所述承载架(10)靠近所述输送带(4)输送尾端的侧面安装有固定架(12),所述固定架(12)内部倾斜安装有刮刀(13),所述刮刀(13)的底部刀刃与所述升降辊(11)底部外圆面平齐。/n
【技术特征摘要】
1.一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:包括机架(1),所述机架(1)内部对称安装有两根输送轴(5),所述输送轴(5)外侧包裹有输送带(4),所述机架(1)外侧安装有输送电机(3),所述输送电机(3)的输送端与任一根所述输送轴(5)相连接;所述输送带(4)表面均匀设置有放置板(6),所述放置板(6)表面设置有夹紧组件(7),用于将靶材夹紧固定在所述放置板(6)表面;
所述机架(1)上端安装有门型架(2),所述门型架(2)上表面竖直贯穿安装有调高杆(8),所述调高杆(8)的伸缩端伸入所述门型架(2)内部且安装有弹性伸缩杆(9),所述弹性伸缩杆(9)的伸缩端竖直向下且安装有承载架(10),所述承载架(10)呈“n”字型结构,且内部转动安装有升降辊(11),所述升降辊(11)沿着所述输送带(4)宽度方向延伸,所述承载架(10)靠近所述输送带(4)输送尾端的侧面安装有固定架(12),所述固定架(12)内部倾斜安装有刮刀(13),所述刮刀(13)的底部刀刃与所述升降辊(11)底部外圆面平齐。
2.根据权利要求1所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述夹紧组件(7)包括承载立板(703),所述承载立板(703)共有两块,且以所述输送带(4)宽度中线对称分布在所述放置板(6)上表面,所述承载立板(703)表面贯穿设置有滑动孔(707),所述滑动孔(707)内部滑动安装有滑动柱(706),所述滑动柱(706)外端安装有拉板(702),所述滑动柱(706)内端伸入两块所述承载立板(703)之间且安装有夹紧板(705),所述滑动柱(706)外侧套装有夹紧弹簧(704),所述夹紧弹簧(704)位于所述夹紧板(705)和所述承载立板(703)之间。
3.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述滑动柱(706)和所述滑动孔(707)的截面均为方形,且所述滑动柱(706)与所述滑动孔(707)间隙配合。
4.根据权利要求2所述一种平面靶材背面金属化检测装置,其特征在于:所述拉板(702)...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈华鑫,高毅,陈小梅,
申请(专利权)人:厦门格雷迪科技有限公司,
类型:新型
国别省市:福建;35
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