一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，包括顶针，所述顶针连接在驱动机构上，所述顶针的下部具有针头，所述针头抵接在用于携带待加工的晶片的金属工具盘上，且所述针头与测试电极线的信号输入端连接，所述测试电极线缠绕在所述针头上方的所述顶针上，所述测试电极线的信号输出端与测频仪连接，所述测频仪与研磨控制器连接。本发明专利技术通过施加频率信号与晶片固有压电频率谐振，并把这个晶片压电频率谐振，通过针头实时监测并经过测试电极线将监测信号传输至测频仪测出频率值再反馈给研磨控制器，当频率达到设定的目标频率时研磨控制器就控制停止研磨，这个频率检测与反馈一直贯穿整个研磨过程，从而实现凸面研磨频率实时监测。

A real-time monitoring device for grinding frequency of piezoelectric quartz wafer

【技术实现步骤摘要】
一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置
本专利技术涉及石英晶片
，具体地说，涉及一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置。
技术介绍
一般石英晶片研磨生产过程中研磨盘相对于石英晶片是不断滑动的，探测头下并不是始终存在石英晶片，谐振信号是间断的；另外，不同频率的石英晶片所需要的射频激励功率大小是不同的，不同频段谐振信号的幅度也是不同的，无法监测石英晶片研磨频率。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，解决了相关技术中的无法监测石英晶片研磨频率的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术提供了一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，包括顶针，所述顶针连接在驱动机构上，所述顶针的下部具有针头，所述针头抵接在用于携带待加工的晶片的金属工具盘上，且所述针头与测试电极线的信号输入端连接，所述测试电极线缠绕在所述针头上方的所述顶针上，所述测试电极线的信号输出端与测频仪连接，所述测频仪与研磨控制器连接。所述顶针垂直于水平面。所述驱动机构包括连接件、旋转臂、固定件本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，包括顶针(1)，其特征在于，所述顶针(1)连接在驱动机构(2)上，所述顶针(1)的下部具有针头(3)，所述针头(3)抵接在用于携带待加工的晶片的金属工具盘(4)上，且所述针头(3)与测试电极线(5)的信号输入端连接，所述测试电极线(5)缠绕在所述针头(3)上方的所述顶针(1)上，所述测试电极线(5)的信号输出端与测频仪(6)连接，所述测频仪(6)与研磨控制器连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，包括顶针(1)，其特征在于，所述顶针(1)连接在驱动机构(2)上，所述顶针(1)的下部具有针头(3)，所述针头(3)抵接在用于携带待加工的晶片的金属工具盘(4)上，且所述针头(3)与测试电极线(5)的信号输入端连接，所述测试电极线(5)缠绕在所述针头(3)上方的所述顶针(1)上，所述测试电极线(5)的信号输出端与测频仪(6)连接，所述测频仪(6)与研磨控制器连接。


2.如权利要求1所述的压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，其特征在于，
所述顶针(1)垂直于水平面；
所述驱动机构(2)包括连接件(2-1)、旋转臂(2-2)、固定件(2-3)；
所述连接件(2-1)具有通孔，所述顶针(1)竖直地插设于所述通孔内，所述连接件(2-1)通过旋紧第一螺栓(2-1-1)夹紧所述顶针(1)；
所述旋转臂(2-2)平行于水平面；
所述旋转臂(2-2)的一端具有槽孔，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李剑，
申请(专利权)人：唐山万士和电子有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13