一种晶片生产用冲裁装置制造方法及图纸

技术编号:45003764 阅读:17 留言:0更新日期:2025-04-15 17:18
本发明专利技术涉及冲裁装置技术领域,本发明专利技术提供了一种晶片生产用冲裁装置,包括安装机架和激光切割设备,还包括弧形支撑座、安装筒体和安装座,弧形支撑座的数量设为多个,弧形支撑座的中部设置有弧形凸起,多个弧形支撑座与安装机架之间设置有圆周调整组件,弧形支撑座上设置有支撑下落组件,安装筒体与安装机架的顶部之间设置有XY轴移动机构,激光切割设备设置在安装筒体内,安装座与弧形支撑座一一对应。通过上述技术方案,解决了现有技术中对晶圆的外侧区域进行切割过程中,容易因为晶圆质地较薄,因此在对晶圆的外侧区域进行连续切割时,容易出现晶圆废料向下倾斜的现象,造成晶圆切割端面不平的技术问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的实施例涉及冲裁装置,具体地,涉及一种晶片生产用冲裁装置


技术介绍

1、晶片是led最主要的原物料之一,是led的发光部件,是led最核心的部分,而晶片在生产过程中,首先需要进行多晶硅制备和晶体生长两道工序,来制备出多晶硅锭,然后将多晶硅锭进行切片,制成晶圆,然后对晶圆的表面进行研磨和侵蚀,减少晶圆表面的机械缺陷,然后对晶圆的表面进行抛光作业,再对晶圆进行各种前端工艺,使晶圆内部上形成多个单独的电路图案,按照晶圆表面的多个电路图案,使用激光切割设备对晶圆的表面进行裁切,将晶圆分隔成多个矩形的芯片,每一个芯片上均设有单独的电路图案,然后在对芯片进行封装作业,完整的完成晶片生产作业。

2、而在使用激光切割设备对晶圆进行裁切时,因为每一个芯片的外形普遍为矩形,所以在对晶圆进行切割时,首先就需要将晶圆的最外侧区域进行裁切,而在对晶圆的外侧区域进行切割时,会使用激光切割设备对晶圆的外侧进行环形切割,但是在对晶圆的部分区域进行切割时,因为晶圆质地较薄,会出现晶圆切割下来的废料向下倾斜的现象,而此时对晶圆的剩余区域进行切割过程中,很容易出现晶圆废本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶片生产用冲裁装置,包括安装机架(1)和激光切割设备(2),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述圆周调整组件包括:

3.根据权利要求2所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述支撑下落组件包括:

4.根据权利要求3所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述弧形凸起(4)的一侧固定连接有弧形支撑板(12),所述弧形凸起(4)的顶端与所述弧形支撑板(12)的顶端平齐。

5.根据权利要求4所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述XY轴移动机构包括:

6.根据权利要...

【技术特征摘要】

1.一种晶片生产用冲裁装置,包括安装机架(1)和激光切割设备(2),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述圆周调整组件包括:

3.根据权利要求2所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述支撑下落组件包括:

4.根据权利要求3所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述弧形凸起(4)的一侧固定连接有弧形支撑板(12),所述弧形凸起(4)的顶端与所述弧形支撑板(12)的顶端平齐。

5.根据权利要求4所述的一种晶片生产用冲裁装置,其特征在于,所述xy轴移动机构包括:

6.根据权利要求5所...

【专利技术属性】
技术研发人员:段洪伟常丽敏袁庆祝李剑荆学顺湛彩凤
申请(专利权)人:唐山万士和电子有限公司
类型:发明
国别省市:

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