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本发明提供了一种压电石英晶片凸面研磨频率实时监测装置，包括顶针，所述顶针连接在驱动机构上，所述顶针的下部具有针头，所述针头抵接在用于携带待加工的晶片的金属工具盘上，且所述针头与测试电极线的信号输入端连接，所述测试电极线缠绕在所述针头上方的所...
该专利属于唐山万士和电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过唐山万士和电子有限公司授权不得商用。

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