【技术实现步骤摘要】
一种膜片移载作业机构
本技术涉及移载机构，具体涉及一种膜片移载作业机构。
技术介绍
半导体器件在生产作业过程中，通常需要将晶粒整齐的排列在膜片上，以进行高效的批量作业。但半导体器件因其电路极其细微，在滑动摩擦产生的强静电的作用下，很容易造成击穿。但在作业时，为保证作业的品质，又要求晶粒全部处于同一平面上。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种膜片移载作业机构，其能够为膜片提供良好的保护，晶粒水平度高，可靠性强，作业品质高。为了解决上述技术问题，本技术提供了一种膜片移载作业机构，包括底座、移载单元、作业平台和托举单元；所述移载单元包括设置在底座上的移载驱动源，所述移载驱动源的自由端设置有平台底座；所述作业平台包括设置在平台底座上的两条分立的平台支架，所述平台支架上设置有夹板驱动源和平行于平台支架的下夹板，所述夹板驱动源的自由端设置有上夹板，所述上夹板位于下夹板上方；所述托举单元包括设置在平台底座上的托举驱动源，所述托举驱动源的自由端设置有托举平台，所述托举平台位于两个平台支架之间。作为...
【技术保护点】
1.一种膜片移载作业机构，其特征在于，包括底座、移载单元、作业平台和托举单元；/n所述移载单元包括设置在底座上的移载驱动源，所述移载驱动源的自由端设置有平台底座；/n所述作业平台包括设置在平台底座上的两条分立的平台支架，所述平台支架上设置有夹板驱动源和平行于平台支架的下夹板，所述夹板驱动源的自由端设置有上夹板，所述上夹板位于下夹板上方；/n所述托举单元包括设置在平台底座上的托举驱动源，所述托举驱动源的自由端设置有托举平台，所述托举平台位于两个平台支架之间。/n
【技术特征摘要】
1.一种膜片移载作业机构，其特征在于，包括底座、移载单元、作业平台和托举单元；
所述移载单元包括设置在底座上的移载驱动源，所述移载驱动源的自由端设置有平台底座；
所述作业平台包括设置在平台底座上的两条分立的平台支架，所述平台支架上设置有夹板驱动源和平行于平台支架的下夹板，所述夹板驱动源的自由端设置有上夹板，所述上夹板位于下夹板上方；
所述托举单元包括设置在平台底座上的托举驱动源，所述托举驱动源的自由端设置有托举平台，所述托举平台位于两个平台支架之间。
2.如权利要求1所述的膜片移载作业机构，其特征在于，包括横移单元，所述横移单元包括横移滑轨、固定板和固定销，所述横移滑轨和固定板均沿垂直于上夹板的方向设置在平台底座上，其中一个平台支架设置在横移滑轨上，所述固定板上沿横移滑轨的方向设置有多个销孔，所述固定销设置在位于横移滑轨上的平台支架上，所述固定销插在一个销孔内。
3.如权利要求2所述的膜片移载作业机构，其特征在于，所述横移滑轨上的平台支架上设置有球头弹簧柱塞，所述固定板上沿横移滑轨的方向开设有多个塞孔，所述球头弹簧柱塞的球头卡嵌在一个塞孔内。
4.如权利要求3所述的膜片移载作业机构，其特征在于，所述横移滑轨上的平台...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱小和，
申请(专利权)人：苏州隆格尔精密自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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