陶瓷盘搬运装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上的机械手机构，机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，定位板固定在第二导轨上。该陶瓷盘搬运装置能够自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，同时可以实现二次伸缩，从而大大提高了整个装置的抓取范围。

【技术实现步骤摘要】
陶瓷盘搬运装置
本技术涉及电子产品加工
，尤其涉及一种陶瓷盘搬运装置。
技术介绍
中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片(下片)处理，铲片后的晶圆片经收集后进入下一工位，而陶瓷盘也被转移至其他设备进行清洗、烘干等操作。现有技术中，陶瓷盘的存放和抓取都是通过人工操作，费时费力，很容易对陶瓷盘表面损伤，影响后续使用。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺点，本技术提供一种抓取范围广、自动化程度高、能够保证陶瓷盘的产品质量的陶瓷盘搬运装置。本技术是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上并可沿轨道机构上下、左右移动的机械手机构，所述机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。为了便于机械手机构全方位移动，所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机及纵向轨道，所述机械手机构设置在纵向轨道上，机械手机构与升降电机连接，升降电机可驱动机械手机构沿纵向轨道上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机及横向轨道，所述纵向轨道设置在横向轨道上，纵向轨道与驱动电机连接，驱动电机可驱动纵向轨道沿横向轨道左右移动。作为优选，所述纵向轨道顶端固定有移动架，所述移动架可沿横向轨道左右移动。作为优选，所述移动架上固定有两升降电机，所述两升降电机同时驱动机械手机构沿纵向轨道上下移动。为了避免陶瓷盘在搬运过程中从定位板上脱出，所述定位板呈U型，其具有4个定位块，用于对陶瓷盘定位。为了便于整个装置可沿导轨移动，所述端板两侧固定有可沿导轨移动的滑块。本技术的有益效果是：该陶瓷盘搬运装置能够全方位自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，同时可以实现二次伸缩，从而大大提高了整个装置的抓取范围，本技术自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤陶瓷盘，保证了产品质量。附图说明图1为本技术的陶瓷盘搬运装置的立体结构示意图；图2为本技术的机械手机构的立体结构示意图；图3为本技术的定位板的结构示意图。具体实施方式下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定。如图1所示的陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上并可沿轨道机构上下、左右移动的机械手机构6，用于抓取陶瓷盘并将陶瓷盘送入或取出。所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机3及纵向轨道4，所述机械手机构6设置在纵向轨道4上，机械手机构6与升降电机3连接，升降电机3可驱动机械手机构6沿纵向轨道4上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机5及横向轨道1，所述纵向轨道4设置在横向轨道1上，纵向轨道4与驱动电机5连接，驱动电机5可驱动纵向轨道4沿横向轨道1左右移动。具体地，所述纵向轨道4顶端固定有移动架2，所述移动架2可沿横向轨道1左右移动；所述移动架2上固定有两升降电机3，所述两升降电机3同时驱动机械手机构6沿纵向轨道上下移动。如图2所示的机械手机构6，包括可沿轨道移动的端板61、安装在端板61上的第一驱动气缸62、第二驱动气缸63、第一导轨65、第二导轨66、定位板67、推板68，端板61两侧固定有可沿纵向轨道移动的滑块611，两第二驱动气缸63设置在滑槽64内，两第二驱动气缸63与推板68固定连接，第二驱动气缸63的伸缩杆与定位板67连接，定位板67呈U型，其具有4个定位块69，用于对陶瓷盘定位，第一驱动气缸62的伸缩杆与推板68连接，第一导轨65可沿着端板61内壁移动，第二导轨66可沿着第一导轨65移动，定位板67固定在第二导轨66上。第一驱动气缸62的伸缩杆伸出时驱动推板68移动，带动第二驱动气缸63顺着滑槽64移动，并带动第一导轨65顺着端板61内壁移动，实现第一次伸缩，当第一驱动气缸62伸至最大距离时，两第二驱动气缸63的伸缩杆伸出，第二导轨66沿着第一导轨65移动，从而带动定位板67伸出，实现第二次伸缩，然后配合端板61的上下左右移动即可进行大范围移动，从而便于抓取或存放陶瓷盘。如图3所示的定位板67，其整体上呈U型，具有两条臂，两条臂上分别固定有2个定位块69，各定位块69上分别具有用于支撑陶瓷盘边缘的凹槽691，4个定位块69即可支撑并限位陶瓷盘的4个角，从而避免其在搬运过程中从定位板7上脱出。加工时，上一工位的陶瓷盘经运输机构传输至对应位置，陶瓷盘搬运装置通过轨道机构移动至陶瓷盘下方，此时第一驱动气缸62的伸缩杆伸出时驱动推板68移动，带动第二驱动气缸63顺着滑槽64移动，并带动第一导轨65顺着端板61内壁移动，实现第一次伸缩，当第一驱动气缸62伸至最大距离时，两第二驱动气缸63的伸缩杆伸出，第二导轨66沿着第一导轨65移动，从而带动定位板67伸出，实现第二次伸缩，定位板67即插入陶瓷盘下方，定位块69将其限位，此时陶瓷盘搬运装置整体上升即可将陶瓷盘托起，然后经轨道机构将陶瓷盘运送至对应位置。在本技术实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本技术的具体实施方式，用以说明本技术的技术方案，而非对其限制，本技术的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，本领域的普通技本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上并可沿轨道机构上下、左右移动的机械手机构，其特征在于：所述机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。/n

【技术特征摘要】
1.一种陶瓷盘搬运装置，包括轨道机构及设置在轨道机构上并可沿轨道机构上下、左右移动的机械手机构，其特征在于：所述机械手机构包括端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。


2.根据权利要求1所述的陶瓷盘搬运装置，其特征在于：所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包...

【专利技术属性】
技术研发人员：李继忠，李述周，朱春，
申请(专利权)人：常州科沛达清洗技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32