【技术实现步骤摘要】
陶瓷盘清洗机械手
本技术涉及电子产品加工
，尤其涉及一种陶瓷盘清洗机械手。
技术介绍
中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片在贴片前需要对陶瓷盘进行清洗，现有技术中一般都是采用超声波清洗。清洗时，陶瓷盘水平进入清洗装置内进行清洗，然而由于陶瓷盘尺寸较大，水平清洗需要占用较大的空间，因此，现有的陶瓷盘清洗机械手在抓取和存放陶瓷盘时，需要进行精确定位，结构较为复杂，占用空间也较大。
技术实现思路
为了克服现有技术的缺点，本技术提供一种结构简单、抓取准确牢固、便于清洗的陶瓷盘清洗机械手。本技术是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动...
【技术保护点】
1.一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，其特征在于：所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动力件与移动托架连接，升降动力件可驱动移动托架沿升降导轨上下移动，所述托块为一对，两托块固定在移动托架底端，两托块之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道。/n
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷盘清洗机械手，包括导轨组件及设置在导轨组件上并可沿导轨组件移动的机械手组件，其特征在于：所述机械手组件包括升降动力件、升降导轨、移动托架及托块，所述移动托架设置在升降导轨上，所述升降动力件与移动托架连接，升降动力件可驱动移动托架沿升降导轨上下移动，所述托块为一对，两托块固定在移动托架底端，两托块之间形成用于垂直托起陶瓷盘边缘并避免其掉落的通道。
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘清洗机械手，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：李继忠，李述周，朱春，
申请(专利权)人：常州科沛达清洗技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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