真空干燥装置制造方法及图纸

本申请提出了一种真空干燥装置，包括真空腔室以及位于所述真空腔室内的载台、冷却装置和吸附机构，载台用于承载待干燥的基板，冷却装置包括与载台相对设置的第一冷却机构，和位于载台内部或下方的第二冷却机构，其中，第一冷却机构内部设有一空腔，以及面向所述载台的一侧设有与所述空腔相通的通孔。本申请通过在冷却机构内部设置吸附机构，并且在所述冷却机构面向所述载台的一侧设有与所述吸附机构相通的通孔，利用吸附机构吸附基板上挥发出的残留的有机溶剂，从而收避免有机溶剂无法消除而形成的液滴现象。

Vacuum drying device

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置
本申请涉及面板制造
，尤其涉及一种真空干燥装置。
技术介绍
有机电致发光器件(OLED)相对于液晶显示器(LCD)，具有自发光、反应快、视角广、亮度高、色彩艳、轻薄等优点，被认为是最有发展前途的新一代显示技术。目前，OLED的发展趋势逐渐向着喷墨打印的方向进行，但是在喷墨打印的过程中，分别有干燥，烘烤，打印等工序，而打印的膜层最少有三层，分别是空穴注入层，电子传输层及发光层。现有技术中，每一次打印后均需进行干燥，烘烤。目前干燥主要目的是将膜层形状固化定型，因此，在上下表面都需要冷却使内部溶剂可以凝聚在一起，采用真空将其抽干，但是由于真空干燥的过程中需要在较低温度下进行，单一的抽真空方式带走的溶剂量有限，无法将溶剂彻底抽走，常常在真空干燥装置上端有溶剂凝结，溶剂的长期累积会滴落在基板表面，从而污染器件影响制程。
技术实现思路
本申请提供一种真空干燥装置，以解决现有真空干燥技术中，由于真空干燥的过程中需要在较低温度下进行，单一的抽真空方式带走的溶剂量有限，无法将溶剂彻底抽走，导致常常在本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：/n真空腔室；/n位于所述真空腔室内的载台、冷却装置以及吸附机构；/n所述载台位于所述真空腔室的底部，并用于承载待干燥的基板；/n所述冷却装置包括与所述载台相对设置的第一冷却机构，所述第一冷却机构内部设有至少一空腔，并且面向所述载台的一侧设有与所述空腔相通的通孔；/n所述吸附机构设置于所述第一冷却机构内部空腔内；/n其中，所述吸附机构用于通过所述通孔吸附所述基板上挥发出的残留的有机溶剂。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：
真空腔室；
位于所述真空腔室内的载台、冷却装置以及吸附机构；
所述载台位于所述真空腔室的底部，并用于承载待干燥的基板；
所述冷却装置包括与所述载台相对设置的第一冷却机构，所述第一冷却机构内部设有至少一空腔，并且面向所述载台的一侧设有与所述空腔相通的通孔；
所述吸附机构设置于所述第一冷却机构内部空腔内；
其中，所述吸附机构用于通过所述通孔吸附所述基板上挥发出的残留的有机溶剂。


2.如权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，还包括移动机构，所述移动机构的一端与所述真空腔室固定连接，另一端与所述第一冷却机构连接，所述移动机构用于控制所述第一冷却机构移动。


3.如权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一冷却机构包括至少两个间隔设置的所述通孔，且至少两个所述通孔的孔径大小相等。


4.如权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一冷却机构还设置于所述载台...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄辉，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44