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本申请提出了一种真空干燥装置，包括真空腔室以及位于所述真空腔室内的载台、冷却装置和吸附机构，载台用于承载待干燥的基板，冷却装置包括与载台相对设置的第一冷却机构，和位于载台内部或下方的第二冷却机构，其中，第一冷却机构内部设有一空腔，以及面向所...
该专利属于TCL华星光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过TCL华星光电技术有限公司授权不得商用。

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