一种载物装置及镀膜设备制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种载物装置及镀膜设备，涉及半导体镀膜技术领域。该载物装置包括固定盘、底盘、载物盘及连杆组件，所述底盘位于所述固定盘的下方；所述载物盘相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘连接；所述连杆组件的上端与所述固定盘连接，下端与所述载物盘连接，所述连杆组件用于调整所述载物盘的倾斜角度。该载物装置中，载物盘的底端与底盘连接，其上端通过连杆组件与固定盘连接，连杆组件通过调整载物盘上端的高度来调整载物盘的倾斜角度，从而获得不同的薄膜覆盖效果。

A loading device and coating equipment

【技术实现步骤摘要】
一种载物装置及镀膜设备
本专利技术涉及半导体镀膜
，尤其涉及一种载物装置及镀膜设备。
技术介绍
真空镀膜技术是一种由物理方法产生薄膜材料的技术，是在真空室内膜料被加热源蒸发镀到需要镀膜物体的表面上。真空镀膜技术被广泛应用于生产光学镜片、唱片镀铝、装饰镀膜、材料表面改性和机械道具镀膜等方面。镀膜设备中，由于生长薄膜的基片表面有台阶的存在，基片放置的角度与台阶上薄膜的覆盖性有关，不同角度下台阶上成膜的覆盖性不同，而现有的镀膜设备中，基片的放置角度单一、不可调，若需要实现不同的镀膜覆盖效果，则需要重新设计镀膜装置，耗时长且花费大。
技术实现思路
本专利技术的一个目的在于提出一种载物装置，可以改变载物盘的放置角度，从而满足不同的薄膜覆盖效果的生产需求。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种载物装置，包括：固定盘；底盘，所述底盘位于所述固定盘的下方；载物盘，所述载物盘相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘连接；及连杆组件，所述连杆组件的上端与所述固定盘连接，下端与所述载物盘连接，所述连杆组件用于调整所述载物盘的倾斜角度。其中，所述连杆组件包括依次连接的第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第一连杆与所述固定盘连接，所述第三连杆与所述载物盘连接，所述第二连杆与所述第一连杆的连接位置、所述第二连杆与所述第三连杆的连接位置均可调。其中，所述第一连杆的下端与所述第二连杆转动连接，并能够沿所述第二连杆滑动；所述第三连杆的上端与所述第二连杆转动连接，并能够沿所述第二连杆滑动。其中，所述第二连杆沿长度方向设置有条形孔；所述第一连杆的下端设置有第一转轴，所述第一转轴能够沿所述条形孔滑动，并通过第一紧固件固定；所述第三连杆的上端设置有第二转轴，所述第二转轴能够沿所述条形孔滑动，并通过第二紧固件固定。其中，所述第一转轴为第一螺栓，所述第一紧固件为第一螺母；所述第二转轴为第二螺栓，所述第二紧固件为第二螺母。其中，所述连杆组件包括依次连接的第一连杆、第二连杆和第三连杆，所述第一连杆与所述固定盘连接，所述第三连杆与所述载物盘连接，所述第二连杆的两端分别与所述第一连杆和所述第二连杆铰接，所述第二连杆为伸缩杆。其中，所述载物装置还包括驱动组件，所述驱动组件与所述固定盘连接，用于驱动所述固定盘转动，所述载物盘与所述底盘滑动连接。其中，所述连杆组件设置有多个，所述载物盘与所述连杆组件一一对应，多个所述连杆组件围绕所述固定盘的转动中心呈放射状分布。其中，所述底盘上设置有滑槽，所述载物盘沿所述滑槽滑动。其中，所述固定盘的中部设置有通孔。本专利技术的另一个目的在于提出一种镀膜设备，可以改变载物盘的放置角度，从而满足不同的薄膜覆盖效果的生产需求。为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：一种镀膜设备，包括容纳腔，还包括如上所述的载物装置，所述载物装置设置于所述容纳腔内。有益效果：本专利技术提供了一种载物装置及镀膜设备。该载物装置中，载物盘的底端与底盘连接，其上端通过连杆组件与固定盘连接，连杆组件通过调整载物盘上端的高度来调整载物盘的倾斜角度，从而获得不同的薄膜覆盖效果。附图说明图1是本专利技术提供的载物装置的主视图；图2是本专利技术提供的载物装置的俯视图；图3是本专利技术提供的载物装置的结构示意图；图4是图3中A处的局部放大图。其中：1、固定盘；2、底盘；3、连杆组件；31、第一连杆；311、第一缺口；32、第二连杆；321、条形孔；33、第三连杆；331、第二缺口；4、载物盘。具体实施方式为使本专利技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本专利技术的技术方案。实施例1本实施例提供了一种镀膜设备，其可以为蒸镀设备。镀膜设备内设置有容纳腔，容纳腔内设置有承载待镀膜的工件的载物装置，待镀膜的工件放入载物装置上后进行蒸镀。如图1和图2所示，载物装置包括固定盘1、底盘2、载物盘4及连杆组件3。固定盘1与底盘2上下设置，载物盘4的底端与底盘2连接，其上端通过连杆组件3与固定盘1连接，从而保证载物盘4相对竖直方向倾斜设置。待镀膜的工件放置在载物盘4上，之后进行蒸镀。载物盘4包括底板以及上盖，上盖设置在底板上，且上盖为环形结构，上盖与底板之间通过弹性件连接。固定工件时，工件位于上盖与底板之间，上盖压紧工件的边缘，工件需要镀膜的位置通过上盖上的通孔外露。弹性件将上盖压向底板，从而将工件固定在载物盘4内。本实施例中，弹性件可以为拉簧，也可以为弹性压片，只要能够将上盖压向底板从而夹紧工件即可。本实施例中，固定盘1可以为圆形，底盘2为环形，且固定盘1的中心与底盘2的中心正对设置。底盘2的内径大于固定盘1的外径，使得连杆组件3及载物盘4整体由上到下向外倾斜设置，保证载物盘4具有一定的倾斜角度，从而保证载物盘4上的工件满足指定的薄膜覆盖效果。为提高载物装置中单次盛放的工件个数，从而提高镀膜设备的镀膜效率，载物装置可以设置有多个载物盘4，多个载物盘4绕底盘2的中心呈圆形排布。对应的，连杆组件3也设置有多个，每个载物盘4对应设置有一个连杆组件3，多个连杆组件3围绕固定盘1的转动中心呈放射状分布。多个载物盘4可以均匀间隔设置，以在提高镀膜效率的基础上，保证载物装置的稳定性，以及多个工件镀膜的均匀性。为进一步提高多个工件镀膜的均匀性，载物装置还包括驱动组件，驱动组件与固定盘1连接，用于驱动固定盘1绕自身中心转动。载物盘4与底盘2滑动连接。在使用该镀膜设备镀膜时，将工件固定在载物盘4上后，启动驱动组件，固定盘1在驱动组件的作用下转动，从而通过连杆组件3带动载物盘4运动，使得载物盘4绕底盘2的中心做圆周运动。通过载物盘4的转动，可以使每个载物盘4上的工件与容纳腔内蒸发的膜料均匀接触，避免因容纳腔内蒸发的膜料不均匀而影响工件的镀膜效果。具体地，驱动组件包括电机，电机与固定盘1连接，用于驱动固定盘1转动。电机的输出端可以直接与固定盘1连接，也可以通过连接减速装置与固定盘1连接，以便获得需要的转速。固定盘1的中部设置有通孔，容纳腔在固定盘1的上方还可以设置检测模块，检测模块用于检测镀膜中成膜的厚度，从而控制容纳腔内蒸发的膜料的浓度，以使工件上成型的膜厚满足使用需求。底盘2上设置有滑槽，滑槽为以底盘2的中心为圆形的圆形槽，载物盘4的底端能够沿滑槽滑动。具体地，载物盘4的底部可以铰接有滑块，滑块与滑槽滑动连接，从而保证倾斜设置的载物盘4与滑槽连接稳定。由于实际加工时，对工件上薄膜的覆盖效果的要求不同，需要使工件在蒸镀过程中具有不同的倾斜角度。为此，本实施例中的载物装置可以根据使用需求调整工件的倾斜角度。具体地，连杆组件3包括依次连接的第一连杆31、第二连杆32和第三连杆33，第一连杆31与固定盘1连接，第三连杆33与载物盘4连本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载物装置，其特征在于，包括：/n固定盘(1)；/n底盘(2)，所述底盘(2)位于所述固定盘(1)的下方；/n载物盘(4)，所述载物盘(4)相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘(2)连接；及/n连杆组件(3)，所述连杆组件(3)的上端与所述固定盘(1)连接，下端与所述载物盘(4)连接，所述连杆组件(3)用于调整所述载物盘(4)的倾斜角度。/n

【技术特征摘要】
1.一种载物装置，其特征在于，包括：
固定盘(1)；
底盘(2)，所述底盘(2)位于所述固定盘(1)的下方；
载物盘(4)，所述载物盘(4)相对竖直方向倾斜设置，且底端与所述底盘(2)连接；及
连杆组件(3)，所述连杆组件(3)的上端与所述固定盘(1)连接，下端与所述载物盘(4)连接，所述连杆组件(3)用于调整所述载物盘(4)的倾斜角度。


2.如权利要求1所述的载物装置，其特征在于，所述连杆组件(3)包括依次连接的第一连杆(31)、第二连杆(32)和第三连杆(33)，所述第一连杆(31)与所述固定盘(1)连接，所述第三连杆(33)与所述载物盘(4)连接，所述第二连杆(32)与所述第一连杆(31)的连接位置、所述第二连杆(32)与所述第三连杆(33)的连接位置均可调。


3.如权利要求2所述的载物装置，其特征在于，所述第一连杆(31)的下端与所述第二连杆(32)转动连接，并能够沿所述第二连杆(32)滑动；
所述第三连杆(33)的上端与所述第二连杆(32)转动连接，并能够沿所述第二连杆(32)滑动。


4.如权利要求3所述的载物装置，其特征在于，所述第二连杆(32)沿长度方向设置有条形孔(321)；
所述第一连杆(31)的下端设置有第一转轴，所述第一转轴能够沿所述条形孔(321)滑动，并通过第一紧固件固定；
所述第三连杆(33)的上端设置有第二转轴，所述第二转轴...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾孛，严鹏，
申请(专利权)人：苏州能讯高能半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32