一种超薄石英晶片的镀膜治具框制造技术

本发明专利技术涉及一种石英晶片镀膜技术领域，尤其涉及一种超薄石英晶片的镀膜治具框，包括：一对固定基板，晶片工位槽设置于固定基板的中部；一对电极板设置于一对固定基板之间；第一工位槽，与固定基板上的每个晶片工位槽相对应，每个第一工位槽上设一定位部，每个定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；中间定位框上设置有复数个第二工位槽，分别与固定基板上每个晶片工位槽相对应，每个第二工位槽分别与电极板上的每个第一工位槽相对应。有益效果在于：对现有的电极板进行改造，第一工位槽上设一定位部和一对固定部件组成一卡槽，从而增加夹持力，用以阻止金属膜偏移，有效防止治具镀膜后电路板短路现象。

A coating jig frame for ultra-thin quartz wafer

【技术实现步骤摘要】
一种超薄石英晶片的镀膜治具框
本专利技术涉及一种石英晶片镀膜
，尤其涉及一种超薄石英晶片的镀膜治具框。
技术介绍
石英晶体器件的频率与石英晶片的厚度成反比，比如100MHz的频率，基本波石英晶片的厚度约16um，而人体的头发丝的直径约80um，薄到头发丝的1/5，可以想象加工制造此类高频的石英晶体的难度。因此，市场上高于100MHz以上石英频率器件，几乎都采用基本波的3次高谐波来实现，石英晶片的厚度可提高3倍便于生产加工，但是在对低抖动低噪音高稳定性的应用方向上，谐波产品明显次于基本波产品；另外基本波产品具有较大的牵引力，一直以来具有频率调谐功能的压控振荡器VCXO都选择基本波产品。市场上现有的成套石英晶体镀膜治具框，包含1片晶片定位框Spacer，2片电极MASK以及两片夹具盖板Holder，其中晶片定位框Spacer的厚度是根据石英晶片的厚度设计的，以10um厚度的石英晶片为例，最直接的方案：就是制造10um厚度的定位框Spacer，但是这样超薄的治具很容易翘曲、弯折、变形，无论制造加工还是后续使用操作性不强。MASK电极板和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述镀膜治具框包括：/n一对固定基板，每一个固定基板包括：/n复数个晶片工位槽，复数个所述晶片工位槽设置于所述固定基板的中部；/n一对电极板，一对所述电极板设置于一对所述固定基板之间，每个所述电极板包括：/n复数个第一工位槽，每个所述第一工位槽与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第一工位槽上设一定位部，每个所述定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个所述固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；/n一中间定位框，所述中间定位框设置于一对所述电极板之间，所述中间定位框上设置有复数个第二工位槽，每个所述第二工位槽分别与所述固定基板上的每个晶...

【技术特征摘要】
1.一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述镀膜治具框包括：
一对固定基板，每一个固定基板包括：
复数个晶片工位槽，复数个所述晶片工位槽设置于所述固定基板的中部；
一对电极板，一对所述电极板设置于一对所述固定基板之间，每个所述电极板包括：
复数个第一工位槽，每个所述第一工位槽与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第一工位槽上设一定位部，每个所述定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个所述固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；
一中间定位框，所述中间定位框设置于一对所述电极板之间，所述中间定位框上设置有复数个第二工位槽，每个所述第二工位槽分别与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第二工位槽分别与所述电极板上的每个第一工位槽一一相对应。


2.根据权利要求1所述一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述固定基板上还包括复数个磁铁工位槽，复数个所述磁铁工位槽设置于所述固定基板的四周边缘部，以放置磁铁。


3.根据权利要求2所述一种超薄石英晶片...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭正江，
申请(专利权)人：杭州鸿星电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33