一种超薄石英晶片的镀膜治具框制造技术

本发明专利技术涉及一种石英晶片镀膜技术领域，尤其涉及一种超薄石英晶片的镀膜治具框，包括：一对固定基板，晶片工位槽设置于固定基板的中部；一对电极板设置于一对固定基板之间；第一工位槽，与固定基板上的每个晶片工位槽相对应，每个第一工位槽上设一定位部，每个定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；中间定位框上设置有复数个第二工位槽，分别与固定基板上每个晶片工位槽相对应，每个第二工位槽分别与电极板上的每个第一工位槽相对应。有益效果在于：对现有的电极板进行改造，第一工位槽上设一定位部和一对固定部件组成一卡槽，从而增加夹持力，用以阻止金属膜偏移，有效防止治具镀膜后电路板短路现象。

A coating jig frame for ultra-thin quartz wafer

【技术实现步骤摘要】
一种超薄石英晶片的镀膜治具框
本专利技术涉及一种石英晶片镀膜
，尤其涉及一种超薄石英晶片的镀膜治具框。
技术介绍
石英晶体器件的频率与石英晶片的厚度成反比，比如100MHz的频率，基本波石英晶片的厚度约16um，而人体的头发丝的直径约80um，薄到头发丝的1/5，可以想象加工制造此类高频的石英晶体的难度。因此，市场上高于100MHz以上石英频率器件，几乎都采用基本波的3次高谐波来实现，石英晶片的厚度可提高3倍便于生产加工，但是在对低抖动低噪音高稳定性的应用方向上，谐波产品明显次于基本波产品；另外基本波产品具有较大的牵引力，一直以来具有频率调谐功能的压控振荡器VCXO都选择基本波产品。市场上现有的成套石英晶体镀膜治具框，包含1片晶片定位框Spacer，2片电极MASK以及两片夹具盖板Holder，其中晶片定位框Spacer的厚度是根据石英晶片的厚度设计的，以10um厚度的石英晶片为例，最直接的方案：就是制造10um厚度的定位框Spacer，但是这样超薄的治具很容易翘曲、弯折、变形，无论制造加工还是后续使用操作性不强。MASK电极板和Spacer定位框一体化的模式，但由于槽位过深，放置石英晶片后夹具出现较大空隙，后续镀膜工序易产生金属膜偏位，虚影不良现象。
技术实现思路
利用半蚀刻技术制造两片凸形电极板夹具，配合中间石英晶片定位框完成该超薄石英晶片镀膜治具框的设计，MASK电极板和Spacer定位框一体化的模式，但由于槽位过深，放置石英晶片后夹具出现较大空隙，后续镀膜工序易产生金属膜偏位，虚影不良现象，现提供一种超薄石英晶片的镀膜治具框可以解决上述问题，具体技术方案如下：一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其中，所述镀膜治具框包括：一对固定基板，每一个固定基板包括：复数个晶片工位槽，复数个所述晶片工位槽设置于所述固定基板的中部；一对电极板，一对所述电极板设置于一对所述固定基板之间，每个所述电极板包括：复数个第一工位槽，每个所述第一工位槽与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第一工位槽上设一定位部，每个所述定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个所述固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；一中间定位框，所述中间定位框设置于一对所述电极板之间，所述中间定位框上设置有复数个第二工位槽，每个所述第二工位槽分别与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第二工位槽分别与所述电极板上的每个第一工位槽一一相对应。优选的，所述固定基板上还包括复数个磁铁工位槽，复数个所述磁铁工位槽设置于所述固定基板的四周边缘部，以放置磁铁。优选的，于每个所述电极板、所述中间定位框中，相对应于所述固定基板上的复数个磁铁工位槽的位置，分别贯穿所述电极板和所述中间定位框，设置复数个相应的磁铁工位槽孔，以加强磁铁吸附力。优选的，每个所述电极板还包括复数个第三工位槽，每个所述第三工位槽与所述固定基板上的每个磁铁工位槽一一相对应。优选的，所述固定基板的边缘还包括两个定位销，于每个所述电极板和所述中间定位框相对应所述定位销的位置，贯穿设置复数个定位孔，以固定所述固定基板、所述电极板和所述中间定位框。优选的，所述镀膜治具框包括复数个矩形窗，复数个所述矩形窗设置于所述固定基板的边角，用于显示电极板的信息。优选的，每个所述第一工位槽的尺寸小于每个所述晶片工位槽的尺寸。有益效果在于：对现有的电极板进行改造，第一工位槽上设一定位部和一对固定部件组成一卡槽，从而增加夹持力，用以阻止金属膜偏移，有效防止治具镀膜后电路板短路现象。附图说明图1为本专利技术一种超薄石英晶片的镀膜治具框实施例的组装平面图；图2为本专利技术一种超薄石英晶片的镀膜治具框实施例的电极板平面图；图2A为本专利技术一种超薄石英晶片镀膜治具框实施例第一工位槽局部放大图；图3为本专利技术一种超薄石英晶片的镀膜治具框实施例的中间定位框平面图；图3A为本专利技术一种超薄石英晶片镀膜治具框实施例第二工位槽局部放大图；图4为本专利技术一种超薄石英晶片的镀膜治具框实施例的固定基板平面图；固定基板1；晶片工位槽11；磁铁工位槽12；电极板2；第一工位槽21；定位部211；固定部件212；第三工位槽22；中间定位框3；第二工位槽31；定位销4；矩形窗5。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。需要说明的是，在不冲突的情况下，本专利技术中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面结合附图和具体实施例对本专利技术作进一步说明，但不作为本专利技术的限定。针对现有技术中出现的上述问题，现提供一种超薄石英晶片的镀膜治具框可以解决上述问题，具体技术方案如下：一种超薄石英晶片的镀膜治具框，镀膜治具框包括：一对固定基板1，每一个固定基板1包括：复数个晶片工位槽11，复数个晶片工位槽11设置于固定基板1的中部；一对电极板2，一对电极板2设置于一对固定基板1之间，每个电极板2包括：复数个第一工位槽21，每个第一工位槽21与固定基板1上的每个晶片工位槽11一一相对应，每个第一工位槽21上设一定位部211，每个定位部的每个边缘上设一固定部件212，每两个固定部件212组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；一中间定位框3，中间定位框3设置于一对电极板2之间，中间定位框3上设置有复数个第二工位槽31，每个第二工位槽31分别与固定基板1上的每个晶片工位槽11一一相对应，每个第二工位槽31分别与电极板2上的每个第一工位槽21一一相对应。具体的，在本技术方案中，如图1所示，一对固定基板1包括上层固定基板和下层固定基板，一对电极板2包括上层电极板和下层电极板，镀膜治具框是下层固定基板、下层电极板、中间定位框3、上层电极板和上层固定基板共五层依次自下而上铺设，依靠定位销4定位，多排列有序的磁铁吸附固定成一套完整的镀膜治具框。具体的，如图2所示，为本技术方案中电极板2的平面图，一对电极板2中一个电极板2是作为石英晶片镀膜时的掩膜板，为石英晶片提供谐振回路参数，另一个电极板2是起到固定石英晶片的作用，利用现有独特的凸台设计，本技术方案中进行改进，在第一工位槽21中增加一定位部211，每个定位部的每个边缘上设一固定部件212，每两个固定部件212组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移，如图2A所示，包括电极板2，电极引线和点胶PAD，其具体的形状、尺寸可以利用专有的电极板2的设计理论模拟设计，反面的定位部211的尺寸设计要小于中间定位框3中第二工位槽31的尺寸。本技术方案中如图2A所示，阴影部分经过单面半蚀刻腐蚀成电极板2的平台；空白部分通过双面蚀刻成贯穿孔形成电极板2中第一工位槽21形状，电本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述镀膜治具框包括：/n一对固定基板，每一个固定基板包括：/n复数个晶片工位槽，复数个所述晶片工位槽设置于所述固定基板的中部；/n一对电极板，一对所述电极板设置于一对所述固定基板之间，每个所述电极板包括：/n复数个第一工位槽，每个所述第一工位槽与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第一工位槽上设一定位部，每个所述定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个所述固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；/n一中间定位框，所述中间定位框设置于一对所述电极板之间，所述中间定位框上设置有复数个第二工位槽，每个所述第二工位槽分别与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第二工位槽分别与所述电极板上的每个第一工位槽一一相对应。/n

【技术特征摘要】
1.一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述镀膜治具框包括：
一对固定基板，每一个固定基板包括：
复数个晶片工位槽，复数个所述晶片工位槽设置于所述固定基板的中部；
一对电极板，一对所述电极板设置于一对所述固定基板之间，每个所述电极板包括：
复数个第一工位槽，每个所述第一工位槽与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第一工位槽上设一定位部，每个所述定位部的每个边缘上设一固定部件，每两个所述固定部件组成一卡槽，用以阻止金属膜偏移；
一中间定位框，所述中间定位框设置于一对所述电极板之间，所述中间定位框上设置有复数个第二工位槽，每个所述第二工位槽分别与所述固定基板上的每个晶片工位槽一一相对应，每个所述第二工位槽分别与所述电极板上的每个第一工位槽一一相对应。


2.根据权利要求1所述一种超薄石英晶片的镀膜治具框，其特征在于，所述固定基板上还包括复数个磁铁工位槽，复数个所述磁铁工位槽设置于所述固定基板的四周边缘部，以放置磁铁。


3.根据权利要求2所述一种超薄石英晶片...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭正江，
申请(专利权)人：杭州鸿星电子有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33