【技术实现步骤摘要】
单向弯曲敏感传感器
本技术涉及传感器
，特别是一种单向弯曲敏感传感器。
技术介绍
目前，许多智能化的检测设备已经大量地采用了各种各样的传感器，其应用早已渗透到诸如工业生产、海洋探测、环境保护、医学诊断、生物工程、智能家居等方方面面。随着信息时代的应用需求越来越高，对被测量信息的范围、精度和稳定情况等各性能参数的期望值和理想化要求逐步提高。针对特殊环境与特殊信号下气体、压力、湿度的测量需求，对普通传感器提出了新的挑战和要求。现阶段，各类新型传感器层出不穷。其中，能对外界环境的刺激做出准确而迅速反应的柔性传感器成为研究的热点。柔性传感器主要渗透到以下四个领域：可穿戴设备，植入传感器设备，电子皮肤及功能化器件。其中，用于弯曲测量的传感器中，单向弯曲测量在多轴伺服控制系统中至关重要，特别是对于与人类相互作用的机器人。由于对正弯曲和负弯曲的敏感性，为弯曲测量开发的大多数柔性传感器仅具有有限的应用。而且，这些传感器通常具有对压力的响应，这意味着需要额外的校准，以及由压力带来的对测量结果的干扰。
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种单向弯曲敏感传感器，其特征在于，包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层；所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面；所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列，并覆盖在所述叉指电极的表面。/n
【技术特征摘要】
1.一种单向弯曲敏感传感器，其特征在于，包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层；所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面；所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列，并覆盖在所述叉指电极的表面。
2.如权利要求1所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述聚合物弹性体介电层的微结构包括锥形、截顶锥形和球形中的至少一种。
3.如权利要求2所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述微结构的锥形包括圆锥形或棱锥形，所述微结构的截顶锥形包括截顶圆锥形或截顶棱锥形，所述锥形或所述截顶锥形的锥度在30°-90°之间。
4.如权利要求2至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，所述微结构凸起的底面尺寸为直径10-60μm或底边边长为10-60μm。
5.如权利要求1至3任一所述的单向弯曲敏感传感器，其特征在于，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张旻，李萌萌，梁家铭，
申请(专利权)人：清华大学深圳研究生院，
类型：新型
国别省市：广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。