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单向弯曲敏感传感器制造技术
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文档序号:23543190
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一种单向弯曲敏感传感器,包括聚合物基底、叉指电极以及聚合物弹性体介电层;所述叉指电极覆盖在所述聚合物基底的表面;所述聚合物弹性体介电层具有向上凸起的微结构阵列,并覆盖在所述叉指电极的表面。此传感器结构简单,可实现对弯曲的方向和角度的测量,同...
该专利属于清华大学深圳研究生院所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学深圳研究生院授权不得商用。
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