一种非球面面形摆臂式检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种非球面面形摆臂式检测装置。现有摆臂式轮廓仪由于多自由度调整操作困难。本实用新型专利技术包括测量装置和双电容传感器测头；双电容传感器测头固定在加工平台的转动台面上；测量装置包括水平驱动机构、摆臂旋转平台、测量臂、测头竖直调整装置和测头模块；测量臂由转动摆臂和移动摆臂组成；测头竖直调整装置包括绕X轴调整装置和绕Y轴调整装置。本实用新型专利技术将测量装置和双电容传感器测头结合使用，在保证检测精度的同时，又降低了操作技术难度，提高了非球面接触式测头调整过程的效率，降低了非球面制造过程成本。

An aspheric surface swing arm type testing device

【技术实现步骤摘要】
一种非球面面形摆臂式检测装置
本技术涉及光学元件面形检测
，尤其涉及一种非球面面形摆臂式检测装置。
技术介绍
近年来光学非球面零件由于其卓越的光学性能使其无论在军用还是民用中有着越来越重要作用，对于高精度非球面检测技术需求也与日俱增。摆臂式轮廓仪是一种有效的光学镜面加工过程的在位检测仪器，其最大特点是直接安装在待测光学镜面旁，将待测光学镜面加工机床的转台作为摆臂式轮廓仪的工作转台使用，对待测镜面进行在位测量。在使用摆臂式轮廓仪检测时，由于摆臂式轮廓仪自由度较多，测头调整过程复杂，对技术人员要求较高。因此需要对测头位姿调整进行进一步改进以提高非球面加工检测的效率以及降低对技术人员熟练度的要求。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有摆臂式轮廓仪由于多自由度调整操作困难以及对技术人员熟练度要求高的问题，提出一种非球面面形摆臂式检测装置。本技术包括测量装置和双电容传感器测头；所述的双电容传感器测头固定在加工平台的转动台面上；所述的测量装置包括水平驱动机构、摆臂旋转平台、测量臂、测头竖直调整装置和测头模块。所述的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种非球面面形摆臂式检测装置，包括测量装置，其特征在于：还包括双电容传感器测头；所述的双电容传感器测头固定在加工平台的转动台面上；所述的测量装置包括水平驱动机构、摆臂旋转平台、测量臂、测头竖直调整装置和测头模块；所述的测量臂由转动摆臂和移动摆臂组成；移动摆臂固定在直线电机一的输出轴上，并与转动摆臂的燕尾形导轨构成滑动副；直线电机一的底座固定在转动摆臂上；转动摆臂与摆臂旋转平台的转台构成转动副；摆臂旋转平台的座体由水平驱动机构驱动；配重块固定在转动摆臂上，且配重块和移动摆臂分设在转动摆臂两端；移动摆臂的中心轴线与转动摆臂的中心轴线重合，并与摆臂旋转平台的中心轴线垂直；/n所述的测头竖直调整装...

【技术特征摘要】
1.一种非球面面形摆臂式检测装置，包括测量装置，其特征在于：还包括双电容传感器测头；所述的双电容传感器测头固定在加工平台的转动台面上；所述的测量装置包括水平驱动机构、摆臂旋转平台、测量臂、测头竖直调整装置和测头模块；所述的测量臂由转动摆臂和移动摆臂组成；移动摆臂固定在直线电机一的输出轴上，并与转动摆臂的燕尾形导轨构成滑动副；直线电机一的底座固定在转动摆臂上；转动摆臂与摆臂旋转平台的转台构成转动副；摆臂旋转平台的座体由水平驱动机构驱动；配重块固定在转动摆臂上，且配重块和移动摆臂分设在转动摆臂两端；移动摆臂的中心轴线与转动摆臂的中心轴线重合，并与摆臂旋转平台的中心轴线垂直；
所述的测头竖直调整装置包括绕X轴调整装置和绕Y轴调整装置；所述的绕X轴调整装置包括主蜗杆机构和副蜗杆机构；所述的主蜗杆机构包括相互啮合的主蜗杆和主涡轮环；所述的副蜗杆机构包括相互啮合的副蜗杆和副涡轮环；主蜗杆和副蜗杆平行设置，且均与摆臂旋转平台的转台构成转动副；主蜗杆和副蜗杆分别由一个步进电机一驱动；主蜗杆的旋转轴线垂直于转动摆臂的旋转轴线和摆臂旋转平台的转台旋转轴线；所述的主涡轮环和副涡轮环同轴且间距固定在转动摆臂上；所述的绕Y轴调整装置包括步进电机二、摩擦棘轮机构、齿轮、齿条和螺杆机构；所述的螺杆机构由螺杆和螺母块组成；所述步进电机二的底座固定在调整座上；调整座固定在移动摆臂上；螺杆与步进电机二的输出轴通过联轴器固定，并通过轴承支承在支座一上；支座一固定在调整座上；所述的螺母块与螺杆构成螺旋副，并与直线导轨构成滑动副；所述的直线导轨固定在调整座上；...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡违军，王文，卢科青，时光，郭宗福，陈占锋，居冰峰，
申请(专利权)人：杭州电子科技大学，浙江大学，
类型：新型
国别省市：浙江;33