一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，涉及PECVD辅助设备技术领域，本实用新型专利技术包括托板本体，托板本体的材质为铝合金，托板本体的一侧面设置有若干散热片，托板本体内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道，冷却通道整体呈曲折线型布置，本实用新型专利技术具有散热功能、承重能力强、实用性高的优点。

A kind of multi-functional support plate for the inner part of tubular PECVD machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板
本技术涉及PECVD辅助设备
，更具体的是涉及一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板。
技术介绍
目前，由于化石能源的日益枯竭，太阳能光伏发电作为一种新型能源，在传统能源逐渐消耗的同时，用于从太阳能中产生电能的太阳能电池受到了格外的重视。太阳能属于可再生能源的一种，具有储量大、永久性、清洁无污染、可再生、就地可取等特点，因此成为目前人类所知可利用的最佳能源选择。自上世纪五十年代美国贝尔实验室三位科学家研制成功单晶硅电池以来，光伏电池技术经过不断改进与发展，目前已经形成一套完整而成熟的技术，随着全球可持续发展战略的实施，该技术得到了许多国家政府的大力支持，在全球范围内广泛使用，尤其在二十一世纪，光伏产业以令世人惊叹的速度向前发展。PECVD镀膜机是制造电池片的工艺设备之一，此工艺中电池片放在石墨舟内，石墨舟位于机台内部托板的上方，此处的托板结构简单，仅仅为一块较薄的金属板，用于收集石墨舟中掉出的电池片，因此存在以下缺陷：(1)不具有散热功能，在高温环境下容易造成机台内部元器件及线路老化，若单独设置散热装置，又会增加设备成本，且导致机台内部操作空间减小，不便于工作人员进行内部操作；(2)不具备承载重物的能力，当通过碳化硅桨把石墨舟拖出来时，由于碳化硅桨的材质脆性较大，碳化硅桨用久之后可能会出现隐裂，当发生这种情况时，碳化硅桨在取出石墨舟时可能会出现突然断裂，石墨舟从高空坠落在托板上，导致石墨舟和托板都直接报废，造成两万元以上的经济损失，同时，整机维修造成的宕机会造成产量的严重缺失，对企业造成极大的经济损失。故如何解决上述技术问题，对于本领域技术人员来说很有现实意义。
技术实现思路
本技术的目的在于：为了解决现有用于PECVD镀膜机内收集电池片的托板不具有散热功能，在高温环境下容易造成机台内部元器件及线路老化，若单独设置散热装置，又会增加设备成本，且导致机台内部操作空间减小，不便于工作人员进行内部操作的技术问题，本技术提供一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板。本技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，包括托板本体，托板本体的材质为铝合金，托板本体的一侧面设置有若干散热片，托板本体内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道，冷却通道整体呈曲折线型布置。进一步地，托板本体有散热片的一侧面设置有至少三个承重支架，其中两个承重支架分别设置在托板本体边缘，散热片分布在每相邻两承重支架之间。进一步地，承重支架包括连接在托板本体上的承重板和安装板，承重板为直角三角形，承重板斜边朝上，安装板通过若干螺钉垂直连接在承重板的直角边。进一步地，承重支架的材质为铝合金。进一步地，散热片的材质为铝合金或/和铜。进一步地，冷却通道内的冷却介质为水或风。本技术的有益效果如下：1、首先将托板本体设置成铝合金材质，使得托板本体就具有一定的散热性，然后在托板本体的一面设置若干散热片，加强散热功能，同时在托板本体内部开设有一条冷却通道，再往冷却通道内通入冷却介质，进一步加强整个托板的散热性，冷却通道呈曲折线型布置，增大散热面积，通过散热片和冷却介质的共同作用使托板本体具有了很高的散热性能，能有效吸收管式PECVD机台内部多余的热量，从而延缓机台内部元器件及线路老化速度，又不用单独设置散热装置，保证机台内部操作空间足够大，结构设计巧妙新颖，实用性高。2、在托板本体有散热片的一侧面设置有至少三个承重支架，使得托板本体具备了一定承重功能，同时承重支架的材质为铝合金，可减轻整个托板重量，又具有一定强度和导热性，当石墨舟掉落在托板本体上时，使得托板本体不会轻易报废，延长了使用寿命，同时托板本体上可以站操作人员，具备承受至少两个成年人的重量，便于操作人员在机台内部进行操作。附图说明图1是本技术一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板的结构示意图；图2是托板本体内部冷却通道处的剖视结构示意图。附图标记：1-托板本体，2-散热片，3-冷却通道，4-承重支架，4.1-承重板，4.2-安装板。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术，即所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本技术的范围，而是仅仅表示本技术的选定实施例。基于本技术的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。需要说明的是，术语“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。以下结合实施例对本技术的特征和性能作进一步的详细描述。实施例1如图1到2所示，本实施例提供一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，包括托板本体1，托板本体1的材质为铝合金，托板本体1的一侧面设置有若干散热片2，散热片2的材质为铝合金或/和铜，托板本体1内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道3，冷却介质为水或风，冷却通道3整体呈曲折线型布置。本实施例中，首先将托板本体设置成铝合金材质，使得托板本体就具有一定的散热性，然后在托板本体的一面设置若干散热片，加强散热功能，同时在托板本体内部开设有一条冷却通道，冷却通道呈曲折线型布置，增大散热面积，再往冷却通道内通入冷却介质，冷却介质为水或风，清洁环保，通过水冷或风冷进一步加强整个托板的散热性，通过散热片和冷却介质的共同作用使托板本体具有了很高的散热性能，能有效吸收管式PECVD机台内部多余的热量，从而延缓机台内部元器件及线路老化速度，又不用单独设置散热装置，保证机台内部操作空间足够大，结构设计巧妙新颖，实用性高。散热片的材质可以都是铝合金，也可以都是铜，也可以为铝合金和铜组合，当采用铝合金和铜组合时，将两种材质的散热片交错布置为佳。实施例2如图1到2所示，本实施例是在实施例1的基础上做了进一步优化，具体是，托板本体1有散热片2的一侧面设置有至少三个承重支架4，其本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，包括托板本体(1)，其特征在于，托板本体(1)的材质为铝合金，托板本体(1)的一侧面设置有若干散热片(2)，托板本体(1)内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道(3)，冷却通道(3)整体呈曲折线型布置。/n

【技术特征摘要】
1.一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，包括托板本体(1)，其特征在于，托板本体(1)的材质为铝合金，托板本体(1)的一侧面设置有若干散热片(2)，托板本体(1)内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道(3)，冷却通道(3)整体呈曲折线型布置。


2.根据权利要求1所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在于，托板本体(1)有散热片(2)的一侧面设置有至少三个承重支架(4)，其中两个承重支架(4)分别设置在托板本体(1)边缘，散热片(2)分布在每相邻两承重支架(4)之间。


3.根据权利要求2所述的一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，
申请(专利权)人：通威太阳能成都有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51