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本实用新型公开了一种用于管式PECVD机台内部的多功能托板，涉及PECVD辅助设备技术领域，本实用新型包括托板本体，托板本体的材质为铝合金，托板本体的一侧面设置有若干散热片，托板本体内部开设有一条可通入冷却介质的冷却通道，冷却通道整体呈曲折...
该专利属于通威太阳能(成都)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过通威太阳能(成都)有限公司授权不得商用。

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