一种水平载片舟及其托架结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种水平载片舟及其托架结构，所述水平载片舟包括载片舟本体，所述载片舟本体上端面设有若干内凹的凹槽，所述凹槽尺寸略大约硅片的尺寸；所述水平载片舟托架结构包括托架本体，所述托架本体包括左右设置的侧板，所述侧板相对的内侧设有卡槽。本实用新型专利技术通过将载片舟及其托架结构设计为水平结构，能够使得放置在载片舟本体内凹槽内的硅片的背面不会被镀上Al

A horizontal film carrier and its bracket structure

【技术实现步骤摘要】
一种水平载片舟及其托架结构
本技术涉及太阳能电池片生产中的原子沉积设备零部件
，特别涉及一种水平载片舟及其托架结构。
技术介绍
在生产太阳能电池片的管式原子层沉积设备(ALD)中，需要使用载片舟来装载硅片进入加热腔室内进行原子沉积。目前，通常使用的方法是将硅片批量垂直放置在载片舟上，使硅片平行于加热腔室内气体流动方向，蒸镀后的硅片正反两面均匀镀上Al2O3膜，为了进一步提升电池片的转化效率，需要对镀膜后的硅片进行背钝化工艺，即使用浆料将硅片背面的Al2O3膜去除，采用此方法处理后的硅片在后续的丝网印刷步骤中需要特定的浆料进行处理，否则效率就很难提升，这就大大增加了生产成本。因此需要提供一种能够直接在硅片表面蒸镀单面Al2O3膜的载片舟。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种能够直接在硅片表面蒸镀单面Al2O3膜的水平载片舟及其托架结构。为了解决上述技术问题，本技术的技术方案为：一种水平载片舟，包括载片舟本体，所述载片舟本体上端面设有若干内凹的凹槽，所述凹槽尺寸略大约硅片的尺寸。优选的，所述载片舟本体为航空铝材、碳纤维材质或石墨材质。优选的，所述载片舟本体厚度为1-8mm。优选的，所述凹槽深度为0.2-1mm。优选的，所述载片舟本体上端面设有并列的四个内凹的凹槽。一种水平载片舟的托架结构，包括托架本体，所述托架本体包括左右设置的侧板，所述侧板相对的内侧设有卡槽。优选的，所述托架本体为航空铝材、碳纤维材质或石墨材质。优选的，所述卡槽上下间的间距为1-8mm。优选的，所述托架本体为垂直设置的三列，列与列之间共用一块侧板。采用上述技术方案，通过将载片舟及其托架结构设计为水平结构，能够使得放置在载片舟本体内凹槽内的硅片的背面不会被镀上Al2O3膜，从而就不需要后续的背钝化工艺，且在后续丝网印刷的工艺过程中只需要使用普通的浆料即能达到较佳的效果，大大降低了生产成本。附图说明图1为本技术的水平载片舟的主视图；图2为本技术的水平载片舟的左视图；图3为图2中A部分放大的结构示意图；图4为本技术的水平载片舟的托架结构主视图。图中，1-载片舟本体，2-凹槽，4-侧板，5-硅片。具体实施方式下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步说明。在此需要说明的是，对于这些实施方式的说明用于帮助理解本技术，但并不构成对本技术的限定。此外，下面所描述的本技术各个实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互组合。如图1-3所示，一种水平载片舟，包括载片舟本体1，优选的，所述载片舟本体1为航空铝材、碳纤维材质或石墨材质，使得能够保证有效的支撑力、质量轻且在高温下不会发生变形等情况，优选的，所述载片舟本体1厚度为1-8mm，通过将载片舟本体1设计成较薄的结构能够节约加热腔室内的空间，所述载片舟本体1上端面设有若干内凹的凹槽2，所述凹槽2尺寸略大约硅片5的尺寸，使用时，硅片5水平放置在所述凹槽2内，优选的，所述凹槽2深度为0.2-1mm之间，优选的，所述载片舟本体1上端面设有并列的四个内凹的凹槽2，即所述载片舟本体1能容纳四片硅片5，通过将载片舟本体1设计为能容纳四片硅片5的结构，能够在最大化利用加热腔室内空间的前提下，保证每片硅片5的蒸镀质量，不会出现相邻硅片5蒸镀不均匀的情况。如图4所示，一种水平载片舟的托架结构，包括托架本体，优选的，所述托架本体为航空铝材、碳纤维材质或石墨材质，使得能够保证有效的支撑力、质量轻且在高温下不会发生变形等情况，所述托架本体包括左右设置的侧板4，所述侧板4相对的内侧设有卡槽，所述载片舟本体1通过左右两侧的卡槽水平放置在所述托架本体内，优选的，所述卡槽上下间的间距为1-8mm，所述托架本体为垂直设置的三列，列与列之间共用一块侧板4，通过这种结构设计能够在最大化利用加热腔室内空间的前提下，保证每片硅片5的蒸镀质量。本技术通过将载片舟及其托架结构设计为水平结构，能够使得放置在载片舟本体1内凹槽2内的硅片5的背面不会被镀上Al2O3膜，从而就不需要后续的背钝化工艺，且在后续丝网印刷的工艺过程中只需要使用普通的浆料即能达到较佳的效果，大大降低了生产成本。以上结合附图对本技术的实施方式作了详细说明，但本技术不限于所描述的实施方式。对于本领域的技术人员而言，在不脱离本技术原理和精神的情况下，对这些实施方式进行多种变化、修改、替换和变型，仍落入本技术的保护范围内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种水平载片舟，其特征在于：包括载片舟本体(1)，所述载片舟本体(1)上端面设有若干内凹的凹槽(2)，所述凹槽(2)尺寸略大约硅片(5)的尺寸，所述载片舟本体(1)上端面设有并列的四个内凹的凹槽(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种水平载片舟，其特征在于：包括载片舟本体(1)，所述载片舟本体(1)上端面设有若干内凹的凹槽(2)，所述凹槽(2)尺寸略大约硅片(5)的尺寸，所述载片舟本体(1)上端面设有并列的四个内凹的凹槽(2)。


2.根据权利要求1所述的水平载片舟，其特征在于：所述载片舟本体(1)为航空铝材、碳纤维材质或石墨材质。


3.根据权利要求1所述的水平载片舟，其特征在于：所述载片舟本体(1)厚度为1-8mm。


4.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：李丙科，
申请(专利权)人：无锡松煜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32