一种晶棒检测用防冲击装置制造方法及图纸

技术编号:23349864 阅读:35 留言:0更新日期:2020-02-15 06:08
本实用新型专利技术公开了一种晶棒检测用防冲击装置,包括缓冲装置、位移传感器和测量设备,所述缓冲装置包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分,晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器一侧之间的挡板和缓冲板,所述挡板靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板。本实用新型专利技术在晶棒的两头的下方,布置两组缓冲机构,当晶棒下降时,晶棒两端先接触到缓冲机构,从而降低了晶棒在放置的过程中对设备造成碰撞;在晶棒的两个头部和位移传感器之间,各布置一块挡板,当误操作发生时,先损坏的是挡板,而不是贵重的位移传感器;在晶棒可能会碰到的位置上安装硬度较小的材质,可以保护晶棒的不被破坏。

A kind of anti impact device for crystal bar detection

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒检测用防冲击装置
本技术涉及机械设备
,具体为一种晶棒检测用防冲击装置。
技术介绍
光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而晶棒是由单晶硅的圆柱形段料,是光伏产业和半导体产业的重要加工原料。在生产过程中,每一段晶棒都需要由专门的设备来测量相关尺寸。测量时,晶棒会被机械手放置在测量设备的一对V形块上做测量,其中一个移动的V形块的底部与模组相连接,模组可以控制V形块做来回运动,以适应不同长度的晶棒。晶棒不光长度不一,直径也不统一,而机械手是没有办法知道自己抓的晶棒的直径大小的。这样,就会给机械手放置晶棒(一般是四、五十公斤重)时带去困扰。机械手假定抓到晶棒直径是最大,它放置晶棒的时候就会在比较高的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是最大,晶棒和V型块正好接触,不会给设备带去冲击。但是,如果这时晶棒的直径是最小的,那么,晶棒从比较高位置上掉落下去,给V型块及设备部件很大的冲击,降低设备的可靠性。如果机械手假定抓到晶棒直径是最小的,它放置的晶棒的时候就会在比较低的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是最小的,晶棒和V型块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶棒检测用防冲击装置,包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3),其特征在于:所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分,晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5),所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5),所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面,晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9),所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组,所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔,所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的缓冲垫通过垫块(6)...

【技术特征摘要】
1.一种晶棒检测用防冲击装置,包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3),其特征在于:所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分,晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5),所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5),所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面,晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9),所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组,所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔,所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的缓冲垫通...

【专利技术属性】
技术研发人员:韩锐周意和孟兆鸿
申请(专利权)人:杭州海内自动化设备有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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