【技术实现步骤摘要】
一种晶棒检测用防冲击装置
本技术涉及机械设备
,具体为一种晶棒检测用防冲击装置。
技术介绍
光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而晶棒是由单晶硅的圆柱形段料,是光伏产业和半导体产业的重要加工原料。在生产过程中,每一段晶棒都需要由专门的设备来测量相关尺寸。测量时,晶棒会被机械手放置在测量设备的一对V形块上做测量,其中一个移动的V形块的底部与模组相连接,模组可以控制V形块做来回运动,以适应不同长度的晶棒。晶棒不光长度不一,直径也不统一,而机械手是没有办法知道自己抓的晶棒的直径大小的。这样,就会给机械手放置晶棒(一般是四、五十公斤重)时带去困扰。机械手假定抓到晶棒直径是最大,它放置晶棒的时候就会在比较高的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是最大,晶棒和V型块正好接触,不会给设备带去冲击。但是,如果这时晶棒的直径是最小的,那么,晶棒从比较高位置上掉落下去,给V型块及设备部件很大的冲击,降低设备的可靠性。如果机械手假定抓到晶棒直径是最小的,它放置的晶棒的时候就会在比较低的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是 ...
【技术保护点】
1.一种晶棒检测用防冲击装置,包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3),其特征在于:所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分,晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5),所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5),所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面,晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9),所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组,所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔,所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的 ...
【技术特征摘要】
1.一种晶棒检测用防冲击装置,包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3),其特征在于:所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分,晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5),所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5),所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面,晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9),所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组,所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔,所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的缓冲垫通...
【专利技术属性】
技术研发人员:韩锐,周意和,孟兆鸿,
申请(专利权)人:杭州海内自动化设备有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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