一种晶棒检测用防冲击装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置、位移传感器和测量设备，所述缓冲装置包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器一侧之间的挡板和缓冲板，所述挡板靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板。本实用新型专利技术在晶棒的两头的下方，布置两组缓冲机构，当晶棒下降时，晶棒两端先接触到缓冲机构，从而降低了晶棒在放置的过程中对设备造成碰撞；在晶棒的两个头部和位移传感器之间，各布置一块挡板，当误操作发生时，先损坏的是挡板，而不是贵重的位移传感器；在晶棒可能会碰到的位置上安装硬度较小的材质，可以保护晶棒的不被破坏。

A kind of anti impact device for crystal bar detection

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒检测用防冲击装置
本技术涉及机械设备
，具体为一种晶棒检测用防冲击装置。
技术介绍
光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而晶棒是由单晶硅的圆柱形段料，是光伏产业和半导体产业的重要加工原料。在生产过程中，每一段晶棒都需要由专门的设备来测量相关尺寸。测量时，晶棒会被机械手放置在测量设备的一对V形块上做测量，其中一个移动的V形块的底部与模组相连接，模组可以控制V形块做来回运动，以适应不同长度的晶棒。晶棒不光长度不一，直径也不统一，而机械手是没有办法知道自己抓的晶棒的直径大小的。这样，就会给机械手放置晶棒(一般是四、五十公斤重)时带去困扰。机械手假定抓到晶棒直径是最大，它放置晶棒的时候就会在比较高的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是最大，晶棒和V型块正好接触，不会给设备带去冲击。但是，如果这时晶棒的直径是最小的，那么，晶棒从比较高位置上掉落下去，给V型块及设备部件很大的冲击，降低设备的可靠性。如果机械手假定抓到晶棒直径是最小的，它放置的晶棒的时候就会在比较低的位置放置晶棒。如果抓的晶棒恰好是最小的，晶棒和V型块正好接触，不会给设备带去冲击，但是，如果这时的晶棒的直径是最大的，那么，机械手就会压向设备，也会给设备带去冲击，降低设备的可靠性。另外，如果机械手误操作，笨重的晶棒就有可能撞坏贵重的位移传感器。再有，不光是要保护设备，也要保护晶棒，晶棒比较脆，撞到硬的金属材料上，会崩边，磕花晶棒，影响晶片的成品率。为了避免这些无谓的损伤，需要给设备设计一些机构来消减这种冲击。现有产品、
的缺陷：1.容易造成设备的损坏；2.容易对晶棒造成损伤，为此，我们提出一种晶棒检测用防冲击装置。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种晶棒检测用防冲击装置，以解决现有技术中的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置、位移传感器和测量设备，所述缓冲装置包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器一侧之间的挡板和缓冲板，所述挡板靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板，所述挡板的底部固定安装于测量设备的表面，晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块、液压缓冲器连接板、液压缓冲器上部固定板、液压缓冲器，所述液压缓冲器设置为对称分布的两组，所述垫块的底部开设有两组盲孔，所述液压缓冲器的活塞杆端部的缓冲垫通过垫块底部的盲孔与垫块连接，所述液压缓冲器外表面的中上部均固定安装有液压缓冲器上部固定板，所述液压缓冲器上部固定板的一端通过螺母夹紧条块与液压缓冲器相互固定，所述液压缓冲器上部固定板的另一端与挡板固定连接，所述液压缓冲器设置有螺纹，可与测量设备底板螺纹连接。优选的，所述垫块的表面设置有圆弧缺口。优选的，所述垫块的底部通过螺钉固定安装有液压缓冲器连接板。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：1、在晶棒的两头的下方，布置两组缓冲机构，当晶棒下降时，晶棒两端先接触到缓冲机构，从而降低了晶棒在放置的过程中对设备造成碰撞；2、在晶棒的两个头部和位移传感器之间，各布置一块挡板，当误操作发生时，先损坏的是挡板，而不是贵重的位移传感器；3、在晶棒可能会碰到的位置上安装硬度较小的材质，可以保护晶棒的不被破坏。附图说明图1为本技术立体图结构示意图；图2为本技术缓冲装置结构示意图；图3为本技术垫块俯视图结构示意图。图中：1缓冲装置、2位移传感器、3测量设备、4挡板、5缓冲板、6垫块、7液压缓冲器连接板、8液压缓冲器上部固定板、9液压缓冲器。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1-3，本技术提供一种技术方案：一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置1、位移传感器2和测量设备3，所述缓冲装置1包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器2一侧之间的挡板4和缓冲板5，所述挡板4靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板5，所述挡板4的底部固定安装于测量设备3的表面，晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块6、液压缓冲器连接板7、液压缓冲器上部固定板8、液压缓冲器9，所述液压缓冲器9设置为对称分布的两组，所述垫块6的底部开设有两组盲孔，所述液压缓冲器9的活塞杆端部的缓冲垫通过垫块6底部的盲孔与垫块6连接，所述液压缓冲器9外表面的中上部均固定安装有液压缓冲器上部固定板8，所述液压缓冲器上部固定板8的一端通过螺母夹紧条块与液压缓冲器9相互固定，所述液压缓冲器上部固定板8的另一端与挡板4固定连接，所述液压缓冲器9设置有螺纹，可与测量设备3底板螺纹连接。所述垫块7的表面设置有圆弧缺口。所述垫块6的底部通过螺钉固定安装有液压缓冲器连接板7，所述液压缓冲连接板7的设置保证液压缓冲器9和带圆弧缺口垫块6连接的可靠性。使用时：当机械手夹持着晶棒下移，到一定高度后，晶棒被机械手释放，晶棒的两个端先接触到带圆弧缺口垫块6圆弧位置，带圆弧缺口垫块6将晶棒的冲击动能传递到液压缓冲器9上，液压缓冲器9吸收晶棒的动能，迫使晶棒缓慢下移，从而使晶棒与V形块缓慢接触，保证晶棒不会被磕碰伤；当误操作发生时，晶棒的某个端面可能会与本装置中的某个挡板4相碰撞时，因为挡板4上固定缓冲板5，缓冲板5的硬度很低，不能磕碰伤晶棒，同时，晶棒也接触不到位移传感器2，从而保护了晶棒和位移传感器2不被损伤。尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3)，其特征在于：所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5)，所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5)，所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面，晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9)，所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组，所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔，所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的缓冲垫通过垫块(6)底部的盲孔与垫块(6)连接，所述液压缓冲器(9)外表面的中上部均固定安装有液压缓冲器上部固定板(8)，所述液压缓冲器上部固定板(8)的一端通过螺母夹紧条块与液压缓冲器(9)相互固定，所述液压缓冲器上部固定板(8)的另一端与挡板(4)固定连接，所述液压缓冲器(9)设置有螺纹，可与测量设备(3)底板螺纹连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置(1)、位移传感器(2)和测量设备(3)，其特征在于：所述缓冲装置(1)包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器(2)一侧之间的挡板(4)和缓冲板(5)，所述挡板(4)靠近晶棒端面的一侧固定安装有缓冲板(5)，所述挡板(4)的底部固定安装于测量设备(3)的表面，晶棒下部缓冲撞击部分包括垫块(6)、液压缓冲器连接板(7)、液压缓冲器上部固定板(8)、液压缓冲器(9)，所述液压缓冲器(9)设置为对称分布的两组，所述垫块(6)的底部开设有两组盲孔，所述液压缓冲器(9)的活塞杆端部的缓冲垫通...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩锐，周意和，孟兆鸿，
申请(专利权)人：杭州海内自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33