温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种晶棒检测用防冲击装置，包括缓冲装置、位移传感器和测量设备，所述缓冲装置包括晶棒端面防撞击部分和晶棒下部缓冲撞击部分，晶棒端面防撞击部分包括安装于晶棒两个端面和位移传感器一侧之间的挡板和缓冲板，所述挡板靠近晶棒端面的一侧固...
该专利属于杭州海内自动化设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州海内自动化设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。