一种晶棒外形尺寸测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶棒外形尺寸测量装置，包括晶棒本体、斜度长度检测机构、安装平台和直径测量机构，所述安装平台的顶部固定安装有对称分布的直径测量机构，所述安装平台顶部的中部固定安装有斜度长度检测机构。本实用新型专利技术采用对射式测量仪，对单晶硅棒做直线式扫描，进行全区段的直径检测，数据全面，准确，降低工人的劳动强度；采用自动化的方式检测，利用数学算法，可以准确地计算出单晶硅棒的长度和斜度；自动化记录，保证数据不会错误记录和漏记，保证数据的准确可靠；采用自动化的方式进行检测，能够实现全检，大大提高了检测效率；可以实现无人值守，保证操作者不会被粉尘伤害。

A device for measuring the shape and dimension of crystal rod

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒外形尺寸测量装置
本技术涉及机械设备
，具体为一种晶棒外形尺寸测量装置。
技术介绍
光伏产业和半导体产业是我们国家的重要产业。而单晶硅是这些产业的重要原材料。单晶硅棒是单晶硅通过电炉熔炼而成的。单晶硅棒的制造过程是单晶硅从熔炉里出来后，被挤压成圆柱体，在挤压的过程中，其外部形成了不规则的波纹状的结构。为了便于制造、运输，挤压成型的单晶硅棒要被切割机床切割成小段，由于单晶硅棒比较重，在切割的过程中，单晶硅棒的两个端面都会有一定程度的斜度。为了减少浪费，一般都需要把每根单晶硅棒的具体尺寸测量出来，方便下一道工序根据单晶硅棒的尺寸情况，制定相应的加工方案，以求最大限度多生产出芯片基材来。目前，生产上，单晶硅棒的尺寸测量主要还是采用人工利用大的游标卡尺和其他专用工具来测量，手工记录数据在记录卡上，记录卡随棒转入下一道工序。单晶硅棒一般有四五十公斤重，人工搬动，劳动强度很大。而且，测量现场一般和切割现场连在一起，切割单晶硅棒，会产生大量的粉尘。工人的工作环境非常恶劣，影响身心健康。由于上述的制造原因，会有如下的问题：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶棒外形尺寸测量装置，包括晶棒本体(1)、斜度长度检测机构(2)、安装平台(3)和直径测量机构(4)，其特征在于：所述安装平台(3)的顶部固定安装有对称分布的直径测量机构(4)，所述安装平台(3)顶部的中部固定安装有斜度长度检测机构(2)，所述斜度长度检测机构(2)的顶部固定安装有固定端V形支撑块(5)，所述安装平台(3)的顶部且位于固定端V形支撑块(5)的背面固定安装有距离测量传感器(13)，所述斜度长度检测机构(2)的两端均固定安装有直径测量机构(4)；/n所述斜度长度检测机构(2)包括固定部分和活动部分，活动部分包括活动端支架(6)、V形支撑块连接板(7)、斜度长度检测模组(8)...

【技术特征摘要】
1.一种晶棒外形尺寸测量装置，包括晶棒本体(1)、斜度长度检测机构(2)、安装平台(3)和直径测量机构(4)，其特征在于：所述安装平台(3)的顶部固定安装有对称分布的直径测量机构(4)，所述安装平台(3)顶部的中部固定安装有斜度长度检测机构(2)，所述斜度长度检测机构(2)的顶部固定安装有固定端V形支撑块(5)，所述安装平台(3)的顶部且位于固定端V形支撑块(5)的背面固定安装有距离测量传感器(13)，所述斜度长度检测机构(2)的两端均固定安装有直径测量机构(4)；
所述斜度长度检测机构(2)包括固定部分和活动部分，活动部分包括活动端支架(6)、V形支撑块连接板(7)、斜度长度检测模组(8)、距离测量传感器(13)和活动端V形支撑块(14)，所述斜度长度检测模组(8)安装于安装平台(3)顶部的中间位置，所述斜度长度检测模组(8)的顶部与V形支撑块连接板(7)通过滑块(16)滑动连接，所述V形支撑块连接板(7)的左右两端分别固定连接有活动端V形支撑块(14)和活动端支架(6)，所述活动端支架(6)设置为十字结构，所述活动端支架(6)十字形触面的每一面均安装有距离测量传感器(13)，固定部分包括固定端V形支撑块...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩锐，周意和，
申请(专利权)人：杭州海内自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33