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本实用新型公开了一种晶棒外形尺寸测量装置，包括晶棒本体、斜度长度检测机构、安装平台和直径测量机构，所述安装平台的顶部固定安装有对称分布的直径测量机构，所述安装平台顶部的中部固定安装有斜度长度检测机构。本实用新型采用对射式测量仪，对单晶硅棒做...
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