集成电路测试系统及测试方法技术方案

本申请公开了一种集成电路测试系统及测试方法。所述集成电路测试系统，包括：探针卡，用于与待测目标相连；图形信号产生模块，与探针卡相连，用于产生测试信号；人机交互模块，与图形信号产生模块相连；其中，图形信号产生模块包括单片机和FPGA单元，通过人机交互模块将测试指令传递给单片机，单片机控制FPGA单元产生相应的测试信号，并将测试信号通过探针卡传递至待测目标。采用图形信号产生模块作为核心部件，以该模块中的单片机作为控制单元，控制FPGA单元产生相应的测试信号，从而可以大幅度缩减测试系统的体积，降低成本，增强其可靠性和易用性。

Integrated circuit test system and test method

【技术实现步骤摘要】
集成电路测试系统及测试方法
本专利技术涉及半导体测试分析
，更具体地，涉及一种过程失效测试系统及测试方法。
技术介绍
现有技术中，通常在半导体材料晶片上以管芯的形式一次制造多个IC，并在制造完成后将半导体晶片分割，以获取多个独立的IC芯片。因此，在被分割封装以及安装在各电子系统中之前，需要对IC进行测试以评估其功能，特别是保证其不是具有缺陷的。现有的晶圆测试机台通常体积较大，占用空间且搬运不便，无法携带，仅能支持固定场合下的测试，灵活性和便捷性不足，且该测试机台无法单独使用，需要通过PC进行人机交互，具有一定的网络风险，操作界面也较为复杂，操作人员需要经过多次培训后才可熟练使用。设备成本及人力成本高昂，无法大面积应用。期望进一步改进晶圆测试机台，以降低测试系统的成本，增强其可靠性和易用性，减少测试系统所占用的空间。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种便携式的集成电路测试系统及测试方法，其中，采用图形信号产生模块作为核心部件，以该模块中的单片机作为控制单元，控制FPGA单元产生相应的测试信号，从而可以缩减测试系统的体积，降低成本，增强其易用性。根据本专利技术的一方面，提供一种集成电路测试系统，其特征在于，包括：探针卡，用于与待测目标相连；图形信号产生模块，与探针卡相连，用于产生测试信号；人机交互模块，与图形信号产生模块相连；其中，所述图形信号产生模块包括单片机和FPGA单元，通过所述人机交互模块将测试指令传递给所述单片机，所述单片机控制所述FPGA单元产生相应的测试信号，并将所述测试信号通过所述探针卡传递至待测目标。优选地，所述图形信号产生模块还包括时钟单元和存储单元，所述时钟单元用于产生时钟信号，所述存储单元用于存储测试结果以及预设的测试指令。优选地，所述探针卡适用于多种待测目标，所述预设的测试指令也包括多种，分别适用于多种待测目标。优选地，所述图形信号产生模块还包括通信单元，所述通信单元包括多个I/O接口，分别用于与所述探针卡、所述人机交互模块以及外部装置进行通讯。优选地，所述通讯单元包括网口，所述人机交互模块与所述图形信号产生模块通过网口相连。优选地，所述网口为多个，至少一个所述网口用于外部设备相连，使外部设备获取所述测试结果。优选地，所述探针卡与所述图形信号产生模块通过排线相连。优选地，所述人机交互模块包括显示单元和输入单元，所述输入单元用于输入测试指令，所述显示单元用于显示输入信息、相关参数及测试结果。优选地，所述图形信号产生模块与所述人机交互模块为一体化设计。根据本专利技术的另一方面，提供一种集成电路测试方法，该方法包括以下步骤：初始化图形信号产生模块；输入测试所对应的命令提示符；FPGA单元生成测试信号并通过探针卡传入待测目标；待测目标接收测试信号并执行，将产生的反馈信息传递给单片机；单片机将测试结果传递给人机交互模块以供显示。优选地，所述单片机根据所述命令提示符产生相应的测试指令，并将所述测试指令传递给FPGA单元，使FPGA单元生成相应的测试信号。优选地，所述图形信号产生模块还包括存储单元，所述测试结果存储在所述存储单元中，根据需要可通过I/O接口将存储单元中的测试结果提取至其他外部设备。本专利技术实施例提供的集成电路测试系统及测试方法，采用了图形信号产生模块作为核心部件，以该模块中的单片机作为控制单元，控制该模块上的FPGA单元产生相应的测试信号，从而可以有效缩减测试系统的体积，并极大程度地降低测设系统的成本，且本专利技术实施例所提供的测试系统自身带有人机交互模块，无需依赖PC，也消除了相应的网络风险。进一步地，由于该测试系统采用嵌入式设计，可预先将大量复杂的设置参数等信息设置在测试系统中，操作人员仅需进行极少量的操作即可完成对待测目标的测试，测试方法简单稳定，操作人员仅需简单的培训即可熟练使用，该测试系统及测试方法具有很强的易用性和稳定性，便于大规模应用。附图说明通过以下参照附图对本专利技术实施例的描述，本专利技术的上述以及其他目的、特征和优点将更为清楚。图1示出本专利技术第一实施例的集成电路测试系统的示意图。图2示出本专利技术第二实施例的集成电路测试系统的示意图。图3示出本专利技术集成电路测试方法的流程图。具体实施方式以下将参照附图更详细地描述本专利技术。在各个附图中，相同的元件采用类似的附图标记来表示。为了清楚起见，附图中的各个部分没有按比例绘制。此外，可能未示出某些公知的部分。在下文中描述了本专利技术的许多特定的细节，例如单片机及FPGA单元的具体型号、通信接口的具体样式等，以便更清楚地理解本专利技术。但正如本领域的技术人员能够理解的那样，可以不按照这些特定的细节来实现本专利技术。在现有技术中，测试系统通常为大型的机台，成本高昂且占地面积较大，使用起来十分不便捷，进一步地，该机台还需与PC相连，依赖于PC进行人机交互以及相应的测试操作，存在一定的网络风险。本申请的专利技术人注意到上述问题，因而提出了一种便携式的集成电路测试系统及测试方法。本专利技术可以多种形式呈现，以下将描述其中一些示例。图1示出本专利技术第一实施例的集成电路测试系统的示意图。在该实施例中集成电路测试系统包括：探针卡110、图形信号产生模块120和人机交互模块130。图中仅示出了具有1个探针卡110的情形，应当理解本专利技术不限于此，该集成电路测试系统可以包括多个探针卡110，多个探针卡110与同一个图形信号产生模块120相连，此种情形也应纳入本专利技术的保护范围。探针卡110与待测目标相连，探针卡110例如包括多个测试头，可以适用于多种待测目标，探针卡110与图形信号产生模块120例如通过排线相连，以获取所需的测试信号，并将测试信号传递给待测目标。图形信号产生模块120例如包括单片机121、FPGA单元122、时钟单元123、存储单元124和通信单元125，其中，时钟单元123用于产生供该图形信号产生模块120使用的时钟信号；存储单元124用于存储测试结果以及预设的测试指令，预设的测试指令例如包括多种，分别适用于多种待测目标；通信单元125例如包括多个I/O接口，具体地，例如包括排线接口、网口、USB接口等，图形信号产生模块120通过通信单元125分别探针卡110和人机交互模块130进行通信。单片机121例如作为整个图形信号产生模块120的控制单元，单片机121例如选用STM32系列；FPGA单元122用于产生测试信号，FPGA单元例如选用Xilinx公司的FPGA单元，由单片机121控制产生相应的测试信号。人机交互模块130例如包括输出单元131和输入单元132；人机交互模块130例如通过网口与图形信号产生模块120相连，输出单元131例如为LCD显示器，输入单元132例如为键盘按键，人机交互模块130例如选用51单片机驱动LCD显示器及键盘按键，操作人员可以通过键盘按键输入相应的命令提示符以控制图形信号产生模块120，使图形信号产生模块1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种集成电路测试系统，其特征在于，包括：/n探针卡，用于与待测目标相连；/n图形信号产生模块，与探针卡相连，用于产生测试信号；/n人机交互模块，与图形信号产生模块相连；/n其中，所述图形信号产生模块包括单片机和FPGA单元，通过所述人机交互模块将测试指令传递给所述单片机，所述单片机控制所述FPGA单元产生相应的测试信号，并将所述测试信号通过所述探针卡传递至待测目标。/n

【技术特征摘要】
1.一种集成电路测试系统，其特征在于，包括：
探针卡，用于与待测目标相连；
图形信号产生模块，与探针卡相连，用于产生测试信号；
人机交互模块，与图形信号产生模块相连；
其中，所述图形信号产生模块包括单片机和FPGA单元，通过所述人机交互模块将测试指令传递给所述单片机，所述单片机控制所述FPGA单元产生相应的测试信号，并将所述测试信号通过所述探针卡传递至待测目标。


2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述图形信号产生模块还包括时钟单元和存储单元，所述时钟单元用于产生时钟信号，所述存储单元用于存储测试结果以及预设的测试指令。


3.根据权利要求2所述的测试系统，其特征装置与，所述探针卡适用于多种待测目标，所述预设的测试指令也包括多种，分别适用于多种待测目标。


4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述图形信号产生模块还包括通信单元，所述通信单元包括多个I/O接口，分别用于与所述探针卡、所述人机交互模块以及外部装置进行通讯。


5.根据权利要求4所述的测试系统，其特征在于，所述通讯单元包括网口，所述人机交互模块与所述图形信号产生模块通过网口相连。


6.根据权利要求5所述的测试系统，其特征在于，所述网口为多个，至少一个所述网口用于外...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱本强，
申请(专利权)人：长江存储科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：湖北;42