一种用于单晶硅片生产的烤箱制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，涉及单晶硅片生产技术领域。本实用新型专利技术包括箱体、托板、鼓风机、集尘箱和储气瓶，箱体一内壁开有第一槽孔，箱体一表面开有一组第二槽孔，第二槽孔与第一槽孔相互连通，箱体内部开有第四槽孔。本实用新型专利技术通过气流将单晶硅片生产过程产生的杂质吹送至集尘箱中，带有热量的气流经过过滤网的过滤，会被鼓风机再次输送至第四管体中加热，再次回流到箱体中，从而使得该装置热量流失更少，降低了单晶硅片的生产成本，通过第二槽孔向箱体中上卸料，并在第一槽孔中设有挡板可以随时封闭第二槽孔与箱体内部的连通，从而降低了热量的流失，使得单晶硅片的生产效率得以提高。

An oven for monocrystalline silicon production

【技术实现步骤摘要】
一种用于单晶硅片生产的烤箱
本技术属于单晶硅片生产
，特别是涉及一种用于单晶硅片生产的烤箱。
技术介绍
单晶硅片是硅的单晶体，是一种具有基本完整的点阵结构的晶体。不同的方向具有不同的性质，是一种良好的半导材料。单晶硅具有准金属的物理性质，有较弱的导电性，其电导率随温度的升高而增加，有显著的半导电性，主要用于制造半导体器件、太阳能电池等。现有的单晶硅片生产用烤箱在对单晶硅进行加热的过程中，大量的热能随着排污的过程而流失，使得单晶硅片的生产成本增大，不利于单晶硅片的销售；同时，现有的单晶硅片生产用烤箱开口较大，使得单晶硅在上卸料的过程中，烤箱内热量散失较大，造成一定的资源浪费，且影响单晶硅片的生产效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于单晶硅片生产的烤箱，通过气流将单晶硅片生产过程产生的杂质吹送至集尘箱中，带有热量的气流经过过滤网的过滤，会被鼓风机再次输送至箱体中，从而使得该装置热量流失更少，解决了现有的单晶硅片生产用烤箱在对单晶硅进行加热的过程中，大量的热能随着排污过程而流失的问题。r>为解决上述技术问本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体(1)，其特征在于：还包括托板(13)、鼓风机(21)、集尘箱(28)和储气瓶(31)，所述箱体(1)一内壁开有第一槽孔(2)，所述箱体(1)一表面开有一组第二槽孔(3)，所述第二槽孔(3)与第一槽孔(2)相互连通，所述箱体(1)内部开有第四槽孔(5)，所述箱体(1)一内壁开有第五槽孔(6)，所述第四槽孔(5)与第五槽孔(6)相互连通，所述箱体(1)一相对内壁均固定有一组第一固定板(7)；/n所述第一槽孔(2)内壁固定有一组第二固定板(8)，所述第二固定板(8)一表面固定有一组弹簧(10)，两所述弹簧(10)另一端固定有挡板(11)，所述托板(13)一表...

【技术特征摘要】
1.一种用于单晶硅片生产的烤箱，包括箱体(1)，其特征在于：还包括托板(13)、鼓风机(21)、集尘箱(28)和储气瓶(31)，所述箱体(1)一内壁开有第一槽孔(2)，所述箱体(1)一表面开有一组第二槽孔(3)，所述第二槽孔(3)与第一槽孔(2)相互连通，所述箱体(1)内部开有第四槽孔(5)，所述箱体(1)一内壁开有第五槽孔(6)，所述第四槽孔(5)与第五槽孔(6)相互连通，所述箱体(1)一相对内壁均固定有一组第一固定板(7)；
所述第一槽孔(2)内壁固定有一组第二固定板(8)，所述第二固定板(8)一表面固定有一组弹簧(10)，两所述弹簧(10)另一端固定有挡板(11)，所述托板(13)一表面开有第七槽孔(14)，所述托板(13)另一表面开有第八槽孔(15)，所述第七槽孔(14)与第八槽孔(15)相互连通，所述托板(13)一相对侧面均固定有挡块(16)，所述托板(13)与第二槽孔(3)内壁滑动配合，所述挡块(16)与第二槽孔(3)内壁间隙配合，所述挡板(11)一表面和托板(13)一表面均开有倒角(17)；
所述箱体(1)一表面固定连通有料斗(19)，所述料斗(19)另一表面固定连通有第一管体(20)，所述鼓风机(21)进风口一端固定有第二管体(22)，所述第二管体(22)另一端贯穿第一管体(20)一表面且固定有过滤网(23)，所述鼓风机(21)出风口一端固定有第三管体(24)，所述箱体(1)一表面贯穿固定有第四管体(25)，所述第四管体(25)与第四槽孔(5)相互连通，所述第四管体(25)另一端固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：方伟建，陆贤辉，
申请(专利权)人：浙江明峰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33