温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种用于单晶硅片生产的烤箱，涉及单晶硅片生产技术领域。本实用新型包括箱体、托板、鼓风机、集尘箱和储气瓶，箱体一内壁开有第一槽孔，箱体一表面开有一组第二槽孔，第二槽孔与第一槽孔相互连通，箱体内部开有第四槽孔。本实用新型通过气流...
该专利属于浙江明峰电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江明峰电子科技有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。