一种多晶硅生产中回收冷凝的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于多晶硅生产领域，尤其是一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，针对现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题，现提出如下方案，其包括尾气出口和冷凝装置，所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器，尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口，第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐，第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐，第一储罐的出口连接有第一回收塔，第二储罐的出口连接有第二回收塔。本实用新型专利技术结构简单，设计新颖，有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理，防止其堵塞管线，保证了尾气的冷凝效果，值得推广。

A device for recovering condensation in polysilicon production

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产中回收冷凝的装置
本技术涉及多晶硅生产
，尤其涉及一种多晶硅生产中回收冷凝的装置。
技术介绍
生产多晶硅是一个提纯过程，主要原料是三氯氢硅，再用氢气进行一次高温还原，这个过程中约有25％的三氯氢硅转化为多晶硅，剩余大量气体进入尾气排放。在这个过程中，如果不能对其产生的尾气进行回收，排出的三氯氢硅、四氯氢硅、氯化氢、氢气等有害物质不但会对操作人员的身体造成严重伤害，而且还会污染环境。尾气进入尾气回收冷凝系统，利用低温介质换热降温将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体，从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的，在此过程中尾气中的固体颗粒也沉积下来，造成多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线堵塞，降低尾气冷凝效果。
技术实现思路
本技术提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，解决了现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，包括尾气出口和冷凝装置，所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器，尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口，第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐，第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐，第一储罐的出口连接有第一回收塔，第二储罐的出口连接有第二回收塔，第一储罐和第二储罐之间固定有安装板，安装板上表面焊接有支架，支架上安装有双轴电机，第一储罐和第二储罐结构相同且对称设置，第一储罐内设置有出液斗和滤网，且滤网位于出液斗的上方，第一储罐的一侧内壁上转动安装有丝杆，丝杆上螺纹连接有移动块，移动块的下表面安装有刮板，丝杆的一端贯穿第一储罐的侧壁连接在双轴电机的输出轴上，安装板的上表面对称设置有集料箱。优选的，所述支架包括支撑杆和支撑板，支撑杆的顶端焊接在支撑板的下表面，支撑杆的底端焊接在安装板上，且支撑杆与支撑板相互垂直。优选的，所述第一储罐和第二储罐相靠近的侧壁上均设置有出料口，且出料口位于集料箱的上方。优选的，所述滤网的横截面积和第一储罐的横截面积相同，且刮板的长度和滤网的宽度相同。优选的，所述集料箱为顶部设置有敞口的长方体结构。与现有技术相比，本技术的有益效果是：在对多晶硅生产的尾气进行回收时，先通过冷凝装置进行冷凝，对各个冷凝器中的尾气采取不同的冷凝温度进行单独冷凝，便于优化各个冷凝器的参数达到最佳冷凝效果，第一储罐和第二储罐实现了对冷凝器回收的氯硅烷进行分类和处理，然后将沉积下的颗粒在第一储罐和第二储罐中处理，防止对管线造成堵塞，保证了冷凝效果，最终通过第一回收塔和第二回收塔将氯硅烷回收，提高了原料利用率，有效的节省了生产成本。本技术结构简单，设计新颖，有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理，防止其堵塞管线，保证了尾气的冷凝效果，值得推广。附图说明图1为本技术提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置的结构示意图。图2为本技术提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置的第一储罐和第二储罐的剖视图。图中标号：1尾气出口、2第一冷凝器、3第二冷凝器、4第三冷凝器、5第四冷凝器、6第一储罐、7第二储罐、8第一回收塔、9第二回收塔、10出液斗、11滤网、12安装板、13支架、14双轴电机、15丝杆、16移动块、17刮板、18集料箱。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。参照图1-2，一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，包括尾气出口1和冷凝装置，冷凝装置包括第一冷凝器2、第二冷凝器3、第三冷凝器4和第四冷凝器5，尾气出口1分别连接有第一冷凝器2、第二冷凝器3、第三冷凝器4和第四冷凝器5的入口，第一冷凝器2和第二冷凝器3的出口连接有第一储罐6，第三冷凝器4和第四冷凝器5的出口连接有第二储罐7，第一储罐6的出口连接有第一回收塔8，第二储罐7的出口连接有第二回收塔9，第一储罐6和第二储罐7之间固定有安装板12，安装板12上表面焊接有支架13，支架13包括支撑杆和支撑板，支撑杆的顶端焊接在支撑板的下表面，支撑杆的底端焊接在安装板12上，且支撑杆与支撑板相互垂直，支架13上安装有双轴电机14，第一储罐6和第二储罐7结构相同且对称设置，第一储罐6内设置有出液斗10和滤网11，且滤网11位于出液斗10的上方，第一储罐6的一侧内壁上转动安装有丝杆15，丝杆15上螺纹连接有移动块16，移动块16的下表面安装有刮板17，滤网11的横截面积和第一储罐6的横截面积相同，且刮板17的长度和滤网11的宽度相同，丝杆15的一端贯穿第一储罐6的侧壁连接在双轴电机14的输出轴上，安装板12的上表面对称设置有集料箱18，集料箱18为顶部设置有敞口的长方体结构，第一储罐6和第二储罐7相靠近的侧壁上均设置有出料口，且出料口位于集料箱18的上方，本技术结构简单，设计新颖，有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理，防止其堵塞管线，保证了尾气的冷凝效果，值得推广。在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。实施例：操作时，将多晶硅生产时产生的尾气通过尾气出口1送入第一冷凝器2、第二冷凝器3、第三冷凝器4和第四冷凝器5中，四个冷凝器内采用不同的温度，对各个冷凝器中的尾气采取不同的冷凝温度进行单独冷凝，便于优化各个冷凝器的参数达到最佳冷凝效果，多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体，从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的，此时沉积的固体颗粒随着液体分别进入第一储罐6和第二储罐7内，打开双轴电机14带动两根丝杆15转动，两根丝杆15的螺纹旋向相反，使得移动块16进行相向运动，移动块16在移动的过程中带动刮板17移动，刮板17将滤网11表面的固定颗粒刮走，通过出料口送入到集料箱18内，防止固体颗粒堵塞管线，保证了冷凝效果，最终通过第一回收塔和第二回收塔将氯硅烷回收，提高了原料利用率，有效的节省了生产成本，值得推广。以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，包括尾气出口(1)和冷凝装置，其特征在于，所述冷凝装置包括第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)，尾气出口(1)分别连接有第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的入口，第一冷凝器(2)和第二冷凝器(3)的出口连接有第一储罐(6)，第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的出口连接有第二储罐(7)，第一储罐(6)的出口连接有第一回收塔(8)，第二储罐(7)的出口连接有第二回收塔(9)，第一储罐(6)和第二储罐(7)之间固定有安装板(12)，安装板(12)上表面焊接有支架(13)，支架(13)上安装有双轴电机(14)，第一储罐(6)和第二储罐(7)结构相同且对称设置，第一储罐(6)内设置有出液斗(10)和滤网(11)，且滤网(11)位于出液斗(10)的上方，第一储罐(6)的一侧内壁上转动安装有丝杆(15)，丝杆(15)上螺纹连接有移动块(16)，移动块(16)的下表面安装有刮板(17)，丝杆(15)的一端贯穿第一储罐(6)的侧壁连接在双轴电机(14)的输出轴上，安装板(12)的上表面对称设置有集料箱(18)。/n...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产中回收冷凝的装置，包括尾气出口(1)和冷凝装置，其特征在于，所述冷凝装置包括第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)，尾气出口(1)分别连接有第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的入口，第一冷凝器(2)和第二冷凝器(3)的出口连接有第一储罐(6)，第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的出口连接有第二储罐(7)，第一储罐(6)的出口连接有第一回收塔(8)，第二储罐(7)的出口连接有第二回收塔(9)，第一储罐(6)和第二储罐(7)之间固定有安装板(12)，安装板(12)上表面焊接有支架(13)，支架(13)上安装有双轴电机(14)，第一储罐(6)和第二储罐(7)结构相同且对称设置，第一储罐(6)内设置有出液斗(10)和滤网(11)，且滤网(11)位于出液斗(10)的上方，第一储罐(6)的一侧内壁上转动安装有丝杆(15)，丝杆(15)上螺纹连接有移动块(16)，移动块(16)的下表面安装有刮板(...

【专利技术属性】
技术研发人员：周建明，谷红梅，
申请(专利权)人：浙江明峰电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33