一种多晶硅生产中回收冷凝的装置制造方法及图纸

技术编号:23244039 阅读:37 留言:0更新日期:2020-02-04 21:41
本实用新型专利技术属于多晶硅生产领域,尤其是一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,针对现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题,现提出如下方案,其包括尾气出口和冷凝装置,所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器,尾气出口分别连接有第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器的入口,第一冷凝器和第二冷凝器的出口连接有第一储罐,第三冷凝器和第四冷凝器的出口连接有第二储罐,第一储罐的出口连接有第一回收塔,第二储罐的出口连接有第二回收塔。本实用新型专利技术结构简单,设计新颖,有效的将冷凝中沉积的固体颗粒过滤处理,防止其堵塞管线,保证了尾气的冷凝效果,值得推广。

A device for recovering condensation in polysilicon production

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅生产中回收冷凝的装置
本技术涉及多晶硅生产
,尤其涉及一种多晶硅生产中回收冷凝的装置。
技术介绍
生产多晶硅是一个提纯过程,主要原料是三氯氢硅,再用氢气进行一次高温还原,这个过程中约有25%的三氯氢硅转化为多晶硅,剩余大量气体进入尾气排放。在这个过程中,如果不能对其产生的尾气进行回收,排出的三氯氢硅、四氯氢硅、氯化氢、氢气等有害物质不但会对操作人员的身体造成严重伤害,而且还会污染环境。尾气进入尾气回收冷凝系统,利用低温介质换热降温将多晶硅生产中的尾气中的氯硅烷冷凝成液体,从而达到氢气、氯化氢与氯硅烷分离的目的,在此过程中尾气中的固体颗粒也沉积下来,造成多晶硅生产中的尾气回收冷凝系统的冷凝设备以及管线堵塞,降低尾气冷凝效果。
技术实现思路
本技术提出的一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,解决了现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题。为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,包括尾气出口和冷凝装置,所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器,尾气本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,包括尾气出口(1)和冷凝装置,其特征在于,所述冷凝装置包括第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5),尾气出口(1)分别连接有第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的入口,第一冷凝器(2)和第二冷凝器(3)的出口连接有第一储罐(6),第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的出口连接有第二储罐(7),第一储罐(6)的出口连接有第一回收塔(8),第二储罐(7)的出口连接有第二回收塔(9),第一储罐(6)和第二储罐(7)之间固定有安装板(12),安装板(12)上表面焊接有支架(13),支架(13)上安装有双轴...

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,包括尾气出口(1)和冷凝装置,其特征在于,所述冷凝装置包括第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5),尾气出口(1)分别连接有第一冷凝器(2)、第二冷凝器(3)、第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的入口,第一冷凝器(2)和第二冷凝器(3)的出口连接有第一储罐(6),第三冷凝器(4)和第四冷凝器(5)的出口连接有第二储罐(7),第一储罐(6)的出口连接有第一回收塔(8),第二储罐(7)的出口连接有第二回收塔(9),第一储罐(6)和第二储罐(7)之间固定有安装板(12),安装板(12)上表面焊接有支架(13),支架(13)上安装有双轴电机(14),第一储罐(6)和第二储罐(7)结构相同且对称设置,第一储罐(6)内设置有出液斗(10)和滤网(11),且滤网(11)位于出液斗(10)的上方,第一储罐(6)的一侧内壁上转动安装有丝杆(15),丝杆(15)上螺纹连接有移动块(16),移动块(16)的下表面安装有刮板(...

【专利技术属性】
技术研发人员:周建明谷红梅
申请(专利权)人:浙江明峰电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:浙江;33

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