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一种多晶硅生产中回收冷凝的装置制造方法及图纸
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下载一种多晶硅生产中回收冷凝的装置的技术资料
文档序号:23244039
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本实用新型属于多晶硅生产领域,尤其是一种多晶硅生产中回收冷凝的装置,针对现有的冷凝时颗粒沉积而堵塞管线的问题,现提出如下方案,其包括尾气出口和冷凝装置,所述冷凝装置包括第一冷凝器、第二冷凝器、第三冷凝器和第四冷凝器,尾气出口分别连接有第一冷...
该专利属于浙江明峰电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江明峰电子科技有限公司授权不得商用。
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