【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置
本技术属于电子生产
,更具体地说,特别涉及一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置。
技术介绍
在半导体预备加工中需要将半导体硅片进行存放和转运,在对半导体硅片进行存放和转运的过程中一般采用硅片运输盒进行存放。例如申请号:CN201820594323.1本技术提供了一种硅片运输包装盒,属于硅片运输
,包括盒体,所述盒体内腔沿长度方向设有隔板,所述隔板与所述盒体围成用于放置硅片的腔体,所述隔板位于所述盒体端部,所述隔板与所述盒体滑动连接,所述隔板通过若干个弹簧与所述盒体内壁连接。本技术提供的硅片运输包装盒,若干个弹簧使得隔板与盒体端部之间的距离可以变动,从盒体内取出硅片之前先推动隔板压缩若干个弹簧,使隔板和硅片分离,从而易于将硅片从腔体内取出,节约时间,提高工作效率。基于上述,现有的半导体硅片在运输中,半导体硅片容易出现滑动或者晃动,容易造成磨损或损坏,同时在对半导体硅片进行夹紧时容易出现夹紧力不均匀的问题,容易出现有些地方夹紧力度过大,有些地方无法进行 ...
【技术保护点】
1.一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置,其特征在于:该一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置包括下盒体(1)、圆轨(101)、盒盖(2)、定位块(201)、隔板(3)、滑动凹槽(301)、滑动凸块(302)、滑动孔(303)、滑槽(304)、取用口(305)、连杆(4)和滚轮(401);所述下盒体(1)的顶部盖有一组所述盒盖(2);所述下盒体(1)的内部滑动连接有多组所述隔板(3);相邻两组所述隔板(3)之间通过两组所述连杆(4)相连接;所述最左侧一组所述隔板(3)与所述下盒体(1)之间通过两组所述连杆(4)相连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置,其特征在于:该一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置包括下盒体(1)、圆轨(101)、盒盖(2)、定位块(201)、隔板(3)、滑动凹槽(301)、滑动凸块(302)、滑动孔(303)、滑槽(304)、取用口(305)、连杆(4)和滚轮(401);所述下盒体(1)的顶部盖有一组所述盒盖(2);所述下盒体(1)的内部滑动连接有多组所述隔板(3);相邻两组所述隔板(3)之间通过两组所述连杆(4)相连接;所述最左侧一组所述隔板(3)与所述下盒体(1)之间通过两组所述连杆(4)相连接。
2.如权利要求1所述一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置,其特征在于:所述盒盖(2)的顶部四角分别设置有一组所述定位块(201),所述定位块(201)为L形结构。
3.如权利要求1所述一种用于半导体预备加工中的原料存放整理装置,其特征在于:所述下盒体(1)的内部下发方设置有一组所述圆轨(101),所述隔板(3)的下部设置有两组所述滑动孔(303),所述滑动孔(303)与所述圆轨(101)滑动连接。
4.如权利要求1所述一种用...
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。