【技术实现步骤摘要】
一种精密线路的外部蚀刻补偿方法
本专利技术涉及一种精密线路的外部蚀刻补偿方法。
技术介绍
受IC芯片引脚排布的影响，线路前端并不是处于一条直线，而是呈长短交错排布。长引脚前端密集度较小，为空旷区；短引脚处密集度较大，为密集区。蚀刻时，线路板的线路分布疏密情况会导致药水交换速度有差异，在空旷区的位置，药水无阻碍，交换快，蚀刻量多，而在密集区，因线路之间间隙小，药水交换慢，蚀刻量少，因此导致蚀刻不均匀，线路板在不同区域内形成不同的蚀刻效果。常规蚀刻补偿方法难以满足线路精度要求，出现不同区域、不同类型的线路，不同类型图形的成品图形尺寸差异较大，精度能力比较低，不能满足终端需求。为了满足线路精度要求，减小成品图形尺寸差异，传统方法在对线路整体作常规补偿后，还需要在线路本体上对线路前端做特殊补偿。具体如图1所示，由于空旷区域蚀刻速度较快，蚀刻量比其他地方大，所以在长引脚的空旷区域进行特殊补偿3，将此处线路变宽，当蚀刻后，由于蚀刻过量，把补偿的部分蚀刻掉，得到需要的理想线路1。传统方法中，对线路整体进行常规补偿2后，需要...
【技术保护点】
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。/n
【技术特征摘要】
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。
2.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，当存在交错排布的长短线路时，先对线路整体进行常规补偿(2)，然后在各线路的前端及长线路的侧面一定距离的位置，进行外部补偿一(5)，蚀刻后得到均匀的线路。
3.根据权利要求2所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述线路整体包括长线路和短线路。
4.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻...
【专利技术属性】
技术研发人员：方磊，王健，孙彬，沈洪，李晓华，
申请(专利权)人：江苏上达电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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