一种精密线路的外部蚀刻补偿方法技术

本发明专利技术公开一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。本发明专利技术通过在线路周围设计规则的外部补偿图形使线路周围形成相同的密集度，药水交换速度相同，可消除不同区域、不同类型的线路图形尺寸差异，最终达到相同的蚀刻效果，得到均匀的线路。另外，由于采用的外部补偿图形是规则图形，设计工作难度低，补偿规则简单，设计方便，且外部补偿图形设计的宽度较小，在蚀刻过程中被侧蚀蚀刻掉，无需再做其他特殊处理。

An external etching compensation method for precision circuits

【技术实现步骤摘要】
一种精密线路的外部蚀刻补偿方法
本专利技术涉及一种精密线路的外部蚀刻补偿方法。
技术介绍
受IC芯片引脚排布的影响，线路前端并不是处于一条直线，而是呈长短交错排布。长引脚前端密集度较小，为空旷区；短引脚处密集度较大，为密集区。蚀刻时，线路板的线路分布疏密情况会导致药水交换速度有差异，在空旷区的位置，药水无阻碍，交换快，蚀刻量多，而在密集区，因线路之间间隙小，药水交换慢，蚀刻量少，因此导致蚀刻不均匀，线路板在不同区域内形成不同的蚀刻效果。常规蚀刻补偿方法难以满足线路精度要求，出现不同区域、不同类型的线路，不同类型图形的成品图形尺寸差异较大，精度能力比较低，不能满足终端需求。为了满足线路精度要求，减小成品图形尺寸差异，传统方法在对线路整体作常规补偿后，还需要在线路本体上对线路前端做特殊补偿。具体如图1所示，由于空旷区域蚀刻速度较快，蚀刻量比其他地方大，所以在长引脚的空旷区域进行特殊补偿3，将此处线路变宽，当蚀刻后，由于蚀刻过量，把补偿的部分蚀刻掉，得到需要的理想线路1。传统方法中，对线路整体进行常规补偿2后，需要根据长线路前端所处的空旷程度，设计不同尺寸的特殊补偿3。由于不同产品的长线路前端所处的空旷程度不同，或者同一产品的不同区域的长线路前端所处的空旷程度不同，需要根据空旷程度设计多个对应的特殊补偿规则，操作非常复杂。此外，如果如图1所示进行规则图形的特殊补偿，由于特殊补偿部分受到空旷区域的强烈腐蚀，结果会如图2所示，蚀刻掉特殊补偿区域后的实际线路4与理想线路1间差异明显。除非对线路做形状复杂的异形补偿，然后再根据蚀刻效果来调整补偿的形状及尺寸，此方法更加复杂，难度也大。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题，本专利技术提供一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，消除空旷区域对线路的强蚀刻作用，得到蚀刻效果均匀的线路。为了实现上述目的，本专利技术采用的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。作为优选，当存在交错排布的长短线路时，先对线路整体进行常规补偿，然后在各线路的前端及长线路的侧面一定距离的位置，进行外部补偿一，蚀刻后得到均匀的线路。作为优选，所述线路整体包括长线路和短线路。作为优选，当存在整齐的线路时，在各线路的前端一定距离的位置，进行外部补偿二，蚀刻后得到均匀的线路。作为优选，所述的一定距离是指常规补偿后的一个线距的长度。作为优选，所述的进行外部补偿是设计线形外部补偿图形。作为优选，所述的线形外部补偿图形为1-15μm宽。与现有技术相比，本专利技术通过在线路周围设计规则的外部补偿图形使线路周围形成相同的密集度，药水交换速度相同，可消除不同区域、不同类型的线路图形尺寸差异，最终达到相同的蚀刻效果，得到均匀的线路。另外，由于采用的外部补偿图形是规则图形，设计工作难度低，补偿规则简单，设计方便，且外部补偿图形设计的宽度较小，在蚀刻过程中被侧蚀蚀刻掉，无需再做其他特殊处理。附图说明图1为现有的理想线路的补偿示意图；图2为现有的蚀刻掉特殊补偿区域后得到的实际线路；图3为本专利技术的补偿示意图一；图4为本专利技术的补偿示意图二。图中：1、理想线路，2、常规补偿，3、特殊补偿，4、实际线路，5、外部补偿一，6、外部补偿二。具体实施方式为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面对本专利技术进行进一步详细说明。但是应该理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限制本专利技术的范围。一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，先在线路周围形成均匀的空白区域，在蚀刻时，线路所处区域的密集程度相同，蚀刻效果一致，蚀刻后得到均匀的线路。具体的，如图3所示，当存在交错排布的长短线路时，先对线路整体进行常规补偿2，然后在各线路的前端及长线路的侧面一定距离的位置，进行外部补偿一5，蚀刻后得到均匀的线路。作为实施例的进一步改进，上述线路整体包括长线路和短线路。另外，当存在整齐的线路时，如图4所示，在各线路的前端一定距离的位置，进行外部补偿二6，蚀刻后得到均匀的线路。其中，上述的外部补偿一5和外部补偿二6的处理过程相同，此处仅是为了表述方便才区分为外部补偿一5和外部补偿二6。作为实施例的改进，所述的一定距离是指常规补偿后的一个线距的长度。作为实施例的改进，所述的进行外部补偿是设计线形外部补偿图形，所述的线形外部补偿图形为1-15μm宽。如图3、图4中所述，是采用直线形的外部补偿图形，由于采用的外部补偿图形是规则图形，设计工作难度低，补偿规则简单，设计方便，且外部补偿图形设计的宽度较小，在蚀刻过程中易被侧蚀蚀刻掉，无需再做其他特殊处理。当然，本专利技术的方法还可用于其他各种图形(如mark点有些是圆形)，只需在图案轮廓外一个线距长度的位置处设置外部补偿图案，即可消除空旷区的强蚀刻效果，得到稳定的图形。以上所述仅为本专利技术的较佳实施例而已，并不用以限制本专利技术，凡在本专利技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换或改进等，均应包含在本专利技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。/n

【技术特征摘要】
1.一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。


2.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，当存在交错排布的长短线路时，先对线路整体进行常规补偿(2)，然后在各线路的前端及长线路的侧面一定距离的位置，进行外部补偿一(5)，蚀刻后得到均匀的线路。


3.根据权利要求2所述的一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，其特征在于，所述线路整体包括长线路和短线路。


4.根据权利要求1所述的一种精密线路的外部蚀刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：方磊，王健，孙彬，沈洪，李晓华，
申请(专利权)人：江苏上达电子有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32