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本发明公开一种精密线路的外部蚀刻补偿方法，在线路周围形成均匀的空白区域，蚀刻后得到均匀的线路。本发明通过在线路周围设计规则的外部补偿图形使线路周围形成相同的密集度，药水交换速度相同，可消除不同区域、不同类型的线路图形尺寸差异，最终达到相同的...
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