筒状载台装置及半导体设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种筒状载台装置及半导体设备，该筒状载台装置包括筒状载台(3)、间隔设置在筒状载台(3)内侧的加热筒体(41)，及环绕设置在该加热筒体(41)的外周壁与筒状载台(3)的内周壁之间的加热组件(42)，其中，该加热组件(42)包括分布在筒状载台(3)的不同区域的多组加热管组，每组加热管组包括与加热筒体(41)连接的多根加热管，该加热管用于朝筒状载台(3)辐射热量。

Cylinder carrier and semiconductor equipment

【技术实现步骤摘要】
筒状载台装置及半导体设备
本技术涉及半导体制造
，特别涉及一种筒状载台装置及半导体设备。
技术介绍
在砷化镓太阳能电池的生产过程中，通过使用金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-OrganicChemicalVapourDeposition，以下简称MOCVD)设备在电池的基片上形成金属聚合物膜层。MOCVD设备主要由反应腔体、气体喷淋圆筒、圆筒型基片载台及圆筒型加热器组成。在工艺时，反应气体由横向和纵向的多处进气管路进入反应腔体，然后通过气体喷淋圆筒进入与圆筒型基片载台之间的空间，同时通过加热器加热基片载台及其上的基片，以使反应气体发生反应，并在电池的基片上沉积形成金属聚合物膜层。上述加热器通常由多根加热管围绕形成圆筒状，这在实际应用中不可避免地存在以下问题：其一，每根加热管需要单独安装和维护，安装和维护过程繁琐，增加了人力成本。其二，多根加热管发出的一部分热量会向背离基片载台的内侧方向辐射，热量损耗较大，影响了加热效率。其三，由于圆筒型基片载台在不同区域的温度往往存在差异，例如，基片载台的中间区域的温本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒状载台装置，包括筒状载台(3)，其特征在于，还包括间隔设置在所述筒状载台(3)内侧的加热筒体(41)，及环绕设置在所述加热筒体(41)的外周壁与所述筒状载台(3)的内周壁之间的加热组件(42)，其中，所述加热组件(42)包括分布在所述筒状载台(3)的不同区域的多组加热管组，每组加热管组包括与所述加热筒体(41)连接的多根加热管，所述加热管用于朝所述筒状载台(3)辐射热量。/n

【技术特征摘要】
1.一种筒状载台装置，包括筒状载台(3)，其特征在于，还包括间隔设置在所述筒状载台(3)内侧的加热筒体(41)，及环绕设置在所述加热筒体(41)的外周壁与所述筒状载台(3)的内周壁之间的加热组件(42)，其中，所述加热组件(42)包括分布在所述筒状载台(3)的不同区域的多组加热管组，每组加热管组包括与所述加热筒体(41)连接的多根加热管，所述加热管用于朝所述筒状载台(3)辐射热量。


2.根据权利要求1所述的筒状载台装置，其特征在于，多组所述加热管组与所述加热筒体(41)的轴向上的不同区域对应设置，且每组所述加热管组中的多个所述加热管沿所述加热筒体(41)的周向排布。


3.根据权利要求2所述的筒状载台装置，其特征在于，所述加热管组为三组，三组所述加热管组与所述加热筒体(41)的轴向上的中间区域和位于该中间区域两侧的两个边缘区域对应设置。


4.根据权利要求1所述的筒状载台装置，其特征在于，还包括多个温度检测单元和温度控制单元，其中，
多个所述温度检测单元用于一一对应地检测所述筒状载台(3)的各组所述加热管组所在区域的温度，并将其发送至所述温度控制单元；
所述温度控制单元根据所述筒状载台(3)的各组所述加热管组所在区域的温度分布控制各组所述加热管组中的加热管的输出功率。


5.根据权利要求1-4任意一项所述的筒状载台装置，其特征在于，每根所述加热管...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志升，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11