筒状进气装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的筒状进气装置及镀膜设备，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，在内筒体(31)中设置有至少一组出气组，其包括多个出气孔(311)；还包括匀气结构，其设置在外筒体(32)的内周壁与内筒体(31)的外周壁之间，包括至少一条匀气通道，其数量与出气组的数量相同，且一一对应地设置；匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个出气端(3212)和相应的出气组中的各个出气孔(311)连通；匀气通道被设置为进气端(3211)与各个出气端(3212)之间的通道距离一致；在外筒体(32)中还设置有用于向各个匀气通道输送气体的进气通道(322)。本实用新型专利技术提供的筒状进气装置，其可以简化进气管路的结构，有效提高气体分布均匀性。

Cylinder type air intake device and coating equipment

【技术实现步骤摘要】
筒状进气装置及镀膜设备
本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种筒状进气装置及镀膜设备。
技术介绍
在砷化镓太阳能电池的生产过程中，通过使用金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-OrganicChemicalVapourDeposition，以下简称MOCVD)设备在电池的基片上形成金属聚合物膜层。MOCVD设备主要由反应腔体、气体喷淋圆筒、圆筒型基片载台及圆筒型加热器组成。在工艺时，反应气体由横向和纵向的多处进气管进入反应腔体，然后通过气体喷淋圆筒进入与圆筒型基片载台之间的空间，同时通过加热器加热基片载台及其上的基片，以使反应气体发生反应，并在电池的基片上沉积形成金属聚合物膜层。在实际应用中，为了尽可能地提高反应腔体内的气体分布均匀性，就需要在反应腔体的横向和纵向上布置大量的进气管，这不仅会导致进气管路的结构复杂化，给维护带来困难，且成本也较高，而且提高反应腔体内的气体分布均匀性的效果有限，往往无法满足工艺对均匀性的要求。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种筒状进气装置及镀膜设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒状进气装置，其特征在于，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；/n还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；...

【技术特征摘要】
1.一种筒状进气装置，其特征在于，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；
还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；
在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。


2.根据权利要求1所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述外筒体(32)的内周壁上设置有至少一条第一匀气流道(321)，所述第一匀气流道(321)与所述内筒体(31)的外周壁贴合形成闭合的所述匀气通道；
每个所述出气孔(311)为沿所述内筒体(31)的径向贯通所述内筒体(31)的通孔。


3.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述内筒体(31)的轴向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同；并且，在所述内筒体(31)的圆周方向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同。


4.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，所述匀气通道包括沿进气方向依次设置的多级分支，其中，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支串联，且同一级所述分支并联，并且下一级...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志升，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11