筒状进气装置及镀膜设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的筒状进气装置及镀膜设备，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，在内筒体(31)中设置有至少一组出气组，其包括多个出气孔(311)；还包括匀气结构，其设置在外筒体(32)的内周壁与内筒体(31)的外周壁之间，包括至少一条匀气通道，其数量与出气组的数量相同，且一一对应地设置；匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个出气端(3212)和相应的出气组中的各个出气孔(311)连通；匀气通道被设置为进气端(3211)与各个出气端(3212)之间的通道距离一致；在外筒体(32)中还设置有用于向各个匀气通道输送气体的进气通道(322)。本实用新型专利技术提供的筒状进气装置，其可以简化进气管路的结构，有效提高气体分布均匀性。

Cylinder type air intake device and coating equipment

【技术实现步骤摘要】
筒状进气装置及镀膜设备
本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种筒状进气装置及镀膜设备。
技术介绍
在砷化镓太阳能电池的生产过程中，通过使用金属有机化合物化学气相沉淀(Metal-OrganicChemicalVapourDeposition，以下简称MOCVD)设备在电池的基片上形成金属聚合物膜层。MOCVD设备主要由反应腔体、气体喷淋圆筒、圆筒型基片载台及圆筒型加热器组成。在工艺时，反应气体由横向和纵向的多处进气管进入反应腔体，然后通过气体喷淋圆筒进入与圆筒型基片载台之间的空间，同时通过加热器加热基片载台及其上的基片，以使反应气体发生反应，并在电池的基片上沉积形成金属聚合物膜层。在实际应用中，为了尽可能地提高反应腔体内的气体分布均匀性，就需要在反应腔体的横向和纵向上布置大量的进气管，这不仅会导致进气管路的结构复杂化，给维护带来困难，且成本也较高，而且提高反应腔体内的气体分布均匀性的效果有限，往往无法满足工艺对均匀性的要求。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种筒状进气装置及镀膜设备，其不仅可以简化进气管路的结构，降低维护难度和成本，而且还可以有效提高气体分布均匀性，从而可以提高工艺均匀性。为实现本技术的目的而提供一种筒状进气装置，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。可选的，在所述外筒体(32)的内周壁上设置有至少一条第一匀气流道(321)，所述第一匀气流道(321)与所述内筒体(31)的外周壁贴合形成闭合的所述匀气通道；每个所述出气孔(311)为沿所述内筒体(31)的径向贯通所述内筒体(31)的通孔。可选的，在所述内筒体(31)的轴向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同；并且，在所述内筒体(31)的圆周方向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同。可选的，所述匀气通道包括沿进气方向依次设置的多级分支，其中，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支串联，且同一级所述分支并联，并且下一级所述分支的数量是与之相邻的上一级所述分支的数量的两倍。可选的，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支相互垂直。可选的，第一级所述分支沿所述外筒体(32)的圆周方向设置，且与所述外筒体(32)的径向截面相互平行。可选的，所述内筒体(31)为多个，且沿所述内筒体(31)的轴向首尾贴合；所述外筒体(32)的数量与所述内筒体(31)的数量相同，且一一对应地设置。可选的，所述外筒体(32)的轴向长度是所述外筒体(32)的内径的π倍。作为另一个技术方案，本技术还提供一种镀膜设备，包括反应腔体(1)、设置在所述反应腔体(1)中的进气管(2)、设置在所述反应腔体(1)内侧，且与所述进气管(2)连接的筒状进气装置(3)、设置在所述筒状进气装置(3)内侧的气体喷淋筒(4)、设置在所述气体喷淋筒(4)内侧的筒状载台(5)，其特征在于，所述筒状进气装置(3)采用权利要求1-11任意一项所述的筒状进气装置。可选的，所述内筒体(31)为多个，且沿所述内筒体(31)的轴向首尾贴合，并且不同的所述内筒体(31)对应所述气体喷淋筒(4)的轴向上的不同区域设置；所述外筒体(32)的数量与所述内筒体(31)的数量相同，且一一对应地设置；所述进气管(2)的数量与所述外筒体(32)的数量相同，且各个所述进气管(2)一一对应地与各个所述进气通道(322)连通。本技术具有以下有益效果：本技术提供的筒状进气装置及镀膜设备的技术方案中，筒状进气装置采用内、外双筒设计，在内筒体中设置由多个出气孔组成的至少一组出气组，并在外筒体的内周壁与所述内筒体的外周壁之间设置有匀气结构，该匀气结构包括至少一条匀气通道及向其输送气体的进气通道。并且，匀气通道的多个出气端与多个出气孔一一对应地连通。气体可以依次经由进气通道、匀气通道和多个出气孔流入内筒体的内侧。同时，由于匀气通道被设置为进气端与各个出气端之间的通道距离一致，这可以保证匀气通道中气体能够同时达到各个出气孔，从而可以确保气体从各个出气孔均匀地流出。由此，本技术提供的筒状进气装置，其出气孔的数量可以自由设置，而不受限制管路结构和维护的限制，而且无需在反应腔体中布置大量的进气管路，从而既可以简化进气管路的结构，降低维护难度和成本，又可以提高反应腔体内的气体分布均匀性，从而可以提高工艺均匀性。附图说明图1为本技术实施例提供的镀膜设备的剖视图；图2为本技术实施例提供的镀膜设备的立体图；图3为本技术实施例采用的筒状进气装置的立体图；图4为本技术实施例采用的内筒体的立体图；图5为本技术实施例采用的外筒体的立体图；图6为本技术实施例采用的外筒体的轴向截面图；图7为本技术实施例采用的外筒体的局部剖视图。具体实施方式为使本领域的技术人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合附图来对本技术提供的筒状进气装置及镀膜设备进行详细描述。请参阅图1，本技术实施例提供的镀膜设备，其例如为MOVCD设备，具体包括反应腔体1、设置在该反应腔体1上的进气管2、设置在该反应腔体1内，且与该进气管2连通的筒状进气装置3、设置在该筒状进气装置3内侧的气体喷淋筒4、设置在该气体喷淋筒4内侧的筒状载台5及设置在该筒状载台5内侧的加热装置6。在进行工艺时，由进气管2输出的反应气体依次经由筒状进气装置3和气体喷淋筒2中的多个进气口均匀地流入气体喷淋筒2与筒状载台3之间的环形空间中，同时加热装置6对筒状载台5及其上的基片进行加热，以使反应气体发生反应，并在基片上沉积形成相应的膜层。请一并参阅图2和图3，在本实施例中，筒状进气装置3为两套，分别为第一筒状进气装置3a和第二筒状进气装置3b，二者沿气体喷淋筒2的轴向贴合设置。对应的，进气管2为两根，分别为第一进气管2a和第二进气管2b，二者分别与第一筒状进气装置3a和第二筒状进气装置3b连接。这样，可以利用第一进气管2a和第二进气管2b独立地分别向第一筒状进气装置3a和第二筒状进气装置3b提供气体，从而可以实现流量的分区控制，以提高不同筒状进气装置对应的区域之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种筒状进气装置，其特征在于，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；/n还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；/n在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。/n

【技术特征摘要】
1.一种筒状进气装置，其特征在于，包括相互嵌套的内筒体(31)和外筒体(32)，其中，在所述内筒体(31)中设置有至少一组出气组，每组所述出气组包括多个出气孔(311)；
还包括匀气结构，所述匀气结构设置在所述外筒体(32)的内周壁与所述内筒体(31)的外周壁之间，且包括至少一条匀气通道，所述匀气通道的数量与所述出气组的数量相同，且一一对应地设置；所述匀气通道具有一个进气端(3211)和多个出气端(3212)，各个所述出气端(3212)和相应的所述出气组中的各个所述出气孔(311)一一对应地连通；并且，所述匀气通道被设置为所述进气端(3211)与各个所述出气端(3212)之间的通道距离一致；
在所述外筒体(32)中还设置有用于向各个所述匀气通道输送气体的进气通道(322)。


2.根据权利要求1所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述外筒体(32)的内周壁上设置有至少一条第一匀气流道(321)，所述第一匀气流道(321)与所述内筒体(31)的外周壁贴合形成闭合的所述匀气通道；
每个所述出气孔(311)为沿所述内筒体(31)的径向贯通所述内筒体(31)的通孔。


3.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，在所述内筒体(31)的轴向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同；并且，在所述内筒体(31)的圆周方向上，各个相邻的两个所述出气孔(311)之间的中心距相同。


4.根据权利要求1或2所述的筒状进气装置，其特征在于，所述匀气通道包括沿进气方向依次设置的多级分支，其中，下一级所述分支和与之相邻的上一级所述分支串联，且同一级所述分支并联，并且下一级...

【专利技术属性】
技术研发人员：王志升，
申请(专利权)人：东泰高科装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11