【技术实现步骤摘要】
一种无缝钢管用退火炉运料装置
本技术属于退火炉运料设备
，具体涉及一种无缝钢管用退火炉运料装置。
技术介绍
退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。目前在把无缝钢管放入退火炉时，操作员常常由于自身操作不当导致手臂被烫伤，不能保证操作员的身体安全；而且退火炉的密闭门关闭起来过于复杂，大大的降低了工作效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种无缝钢管用退火炉运料装置，以解决目前在把无缝钢管放入退火炉时，操作员常常由于自身操作不当导致手臂被烫伤，不能保证操作员的身体安全；而且退火炉的密闭门关闭起来过于复杂，大大的降低了工作效率的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种无缝钢管用退火炉运料装置，包括退火炉，所述退火炉的...
【技术保护点】
1.一种无缝钢管用退火炉运料装置，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)的侧壁上焊接连接有第一支撑板(2)，所述第一支撑板(2)的上表面通过螺栓固定安装有两组第一伺服电机(3)，两组所述第一伺服电机(3)的输出轴上通过联轴器固定安装有两组第一螺纹杆(4)，所述退火炉(1)的内腔焊接有两组第一轴承座(9)和两组滑杆(5)，两组所述第一螺纹杆(4)的末端与两组第一轴承座(9)的内环焊接连接在一起，两组所述第一螺纹杆(4)上螺纹连接有四组第一螺纹套(6)，两组所述滑杆(5)上滑动连接有四组滑套(8)，所述滑套(8)和第一螺纹套(6)之间焊接连接有连接杆(7)，四组所述第一...
【技术特征摘要】
1.一种无缝钢管用退火炉运料装置，包括退火炉(1)，其特征在于：所述退火炉(1)的侧壁上焊接连接有第一支撑板(2)，所述第一支撑板(2)的上表面通过螺栓固定安装有两组第一伺服电机(3)，两组所述第一伺服电机(3)的输出轴上通过联轴器固定安装有两组第一螺纹杆(4)，所述退火炉(1)的内腔焊接有两组第一轴承座(9)和两组滑杆(5)，两组所述第一螺纹杆(4)的末端与两组第一轴承座(9)的内环焊接连接在一起，两组所述第一螺纹杆(4)上螺纹连接有四组第一螺纹套(6)，两组所述滑杆(5)上滑动连接有四组滑套(8)，所述滑套(8)和第一螺纹套(6)之间焊接连接有连接杆(7)，四组所述第一螺纹套(6)的上表面焊接连接有第二支撑板(10)，所述退火炉(1)的上表面焊接连接有第一支撑柱(11)和第一斜杆(12)，所述第一斜杆(12)的自由端端部焊接连接在第一支撑柱(11)上，所述第一支撑柱(11)的上表面焊接连接有第三支撑板(13)，所述第三支撑板(13)的上表面通过螺栓固定安装有两组第二伺服电机(14)，所述第一支撑柱(11)和退火炉(1)上开设有两组凹槽(19)，两组所述凹槽(19)的底端固定安装有两组第二轴承座(18)，两组所述第二伺服电机(14)的输出轴通过联轴器固定安装有两组第二螺纹杆(15)，两组所述第二螺纹杆(15)的末端与两组第...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴科，
申请(专利权)人：无锡市前洲无缝钢管有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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