对基板作业系统技术方案

标记配置部件(80、82)配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记并跨供第一作业头(28a)移动的第一作业区域(R1)和供第二作业头(28b)移动的第二作业区域(R2)而设置，在对以跨上述两个区域的状态被保持的一个基板(S

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对基板作业系统
本说明书公开具有作业头并通过该作业头对基板进行作业的对基板作业系统。
技术介绍
下述专利文献1构成为，作为两个对基板作业机的元件安装机相邻地并列设置，能够通过这两个元件安装机各自具备的基板输送装置这两者对一个基板进行固定保持，并通过两个元件安装机各自具备的元件安装头这两者对该一个基板安装元件。也就是说，下述专利文献1记载有使用两个作业头对一个基板进行作业的对基板作业系统。现有技术文献专利文献1：日本特开2004-39818号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题在上述专利文献1记载的对基板作业系统中，为了对于一个基板使用两个作业头，需要使这两个作业头各自的动作协作。例如，需要掌握对两个作业头各自在基板上的位置进行控制的坐标系的关系。鉴于这样的实际情况，本申请课题在于在使用两个作业头对一个基板进行作业的对基板作业系统中，使这两个作业头的动作适当地协作。用于解决课题的技术方案为了解决上述课题，本说明书公开一种对基板作业系统，其构成为，具备标记配置部件，上述标记配置部件跨供第一作业头移动的第一作业区域和供第二作业头移动的第二作业区域而设置，并配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记，在对由基板保持装置以跨第一作业区域和第二作业区域的状态保持的一个基板进行作业时，根据(i)基于与第一作业头一起移动的第一拍摄装置的拍摄数据而测定出的存在于第一作业区域的标记的位置和(ii)基于与第二作业头一起移动的第二拍摄装置的拍摄数据而测定出的存在于第二作业区域的标记的位置，对在作业中第一作业头的应通过第一头移动装置而移动的位置和第二作业头的应通过第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。专利技术效果本说明书公开的对基板作业系统跨两个作业头各自的作业区域地配置有标记配置部件，通过利用两个拍摄装置对处于被设定了的相互位置关系的多个标记的位置按照存在于各区域的标记来进行测定，从而能够掌握两个作业头的位置关系，能够优化对于一块基板的作业位置。附图说明图1是表示作为本实施例的对基板作业系统的元件安装系统的一部分的立体图。图2是图1所示的元件安装机的侧视图。图3是图1所示的元件安装机所具备的头移动装置的立体图。图4是在图1所示的元件安装系统中表示元件安装机内的俯视图。图5是表示配置于图4所示的标记板的标记的测定出的位置与推定出的位置之间的偏差的概念图。具体实施方式以下，参照附图来对一个实施例的对基板作业系统进行说明。另外，除了下述实施例以外，还能够以基于本领域技术人员的知识而实施了各种变更的方式实施。图1示出作为一个实施例的对基板作业系统的元件安装系统10。另外，向基板安装元件的作业为了向基板安装多种元件，而元件安装系统10构成为包含作为对基板作业机的多个元件安装机12。图1示出上述多个元件安装机12中的两个元件安装机12即第一元件安装机12a、第二元件安装机12b，第二元件安装机12b示出拆下了外装面板后的状态。另外，在以下的说明中，在需要对第一元件安装机12a与第二元件安装机12b各自的构成要素进行区分时，有时对各构成要素的附图标记附上a、b。元件安装机12构成为包括：基座20；梁22，固定地设于基座20；基板输送装置24，配置于基座20；多个元件供料器26，在该元件安装机12的正面侧以可更换的方式安装于基座20；作为作业头的元件安装头28，保持从多个元件供料器26中的任一个元件供料器26供给的元件并且使该元件为了向基板安装而脱离；头移动装置30，配置于梁22并使元件安装头28在与基板平行的一个平面上移动；及控制装置32，负责自身的控制。另外，在以下的说明中，将通过基板输送装置24输送基材的方向称为左右方向(X方向)，将在水平面上与该左右方向正交的方向称为前后方向(Y方向)，将与上述左右方向及前后方向正交的方向称为上下方向(Z方向)。图2示出元件安装机12的侧视图。也如该图2所示那样，基板输送装置24具备在前后方向上排列的两列输送装置40、42。前方侧的输送装置40被设为如下的构造：具有相互相向的一对输送机44、45，通过利用输送马达使上述一对输送机44、45各自的输送带46旋转，从而沿着左右方向输送载置在一对输送机44、45各自的输送带46上的基板。在输送装置40中，后方侧的输送机45能够相对于前方侧的输送机44沿着前后方向移动，从而能够应对各种宽度的基板。另外，输送装置40通过使支撑台48上升，而该支撑台48使闸门50、51上升，能够在该闸门50、51与设于一对输送机44、45各自的上方的凸缘部52之间夹入并固定基板。另外，后方侧的输送装置42成为与前方侧的输送装置40几乎相同的结构，具有相互相向的一对输送机54、55。其中，能够使上述一对输送机54、55这两者沿着前后方向移动。另外，能够通过使前方侧的输送装置40具有的后方侧的输送机45及后方侧的输送装置42具有的一对输送机54、55向后方侧移动，而仅使用前方侧的输送装置40来形成单一的输送装置。因此，基板输送装置24也能够应对比较大的宽度的基板。在多个元件供料器26中的各元件供料器26上安设有卷绕有元件保持带(将多个元件保持于带的结构，也被称为“元件带”)的带盘，多个元件供料器26中的各元件供料器26间歇性地送出该元件保持带，在预定的元件供给部位，依次逐个供给元件。元件的补给也可以更换带盘并且将元件带连在一起而进行(拼接)，另外也可以与元件供料器26一起更换带盘。此外，该元件安装机12也可以取代多个元件供料器26而安装所谓的托盘型的元件供给装置。图3示出头移动装置30的立体图。头移动装置30是所谓的XY型移动装置，构成为包括使元件安装头28沿着X方向移动的X方向移动机构60及使元件安装头28沿着Y方向移动的Y方向移动机构62。详细而言，Y方向移动机构62支撑于梁22，使X方向移动机构60遍及元件供料器26和基板地移动。X方向移动机构60对供元件安装头28以可拆装的方式安装的头安装体64进行支撑，并使其沿着X方向移动。另外，如图3所示，在头安装体64的下部固定有作为进行基板的表面的拍摄等的拍摄装置的相机66。元件安装头28是所谓的旋转式安装头。也就是说，元件安装头28分别具有通过负压的供给而在下端部吸附保持元件的八个吸嘴70，它们被保持于旋转头72。该旋转头72间歇旋转，位于特定位置的一个吸嘴70能够通过吸嘴升降装置进行升降，也就是说能够沿着上下方向移动。位于特定位置的吸嘴70在下降时通过被供给负压来保持元件，另外通过断开负压的供给，而使吸附保持的元件脱离。顺便一提，八个吸嘴70分别通过吸嘴旋转机构而绕着自身的轴线旋转，也就是说以该轴线为中心旋转，该元件安装头28能够对由各吸嘴70保持的元件的旋转位置进行变更、调整。另外，在头安装体64上也能够安装具有单一的吸嘴的安装头即所谓的单嘴型的安装头作为元件安装头。＜基于元件安装机的元件安装作业的概要＞若对基于单一的元件安装机12的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种对基板作业系统，具备：/n基板保持装置，对基板进行固定保持；/n第一作业头及第二作业头，对由该基板保持装置保持的基板进行作业；/n第一头移动装置，使所述第一作业头在第一作业区域内移动；/n第二头移动装置，使所述第二作业头在不同于所述第一作业区域的第二作业区域内移动；及/n第一拍摄装置及第二拍摄装置，所述第一拍摄装置与所述第一作业头一起通过所述第一头移动装置而移动，所述第二拍摄装置与所述第二作业头一起通过所述第二头移动装置而移动，/n所述对基板作业系统的特征在于，/n该对基板作业系统还具备标记配置部件，所述标记配置部件跨所述第一作业区域和所述第二作业区域而设置，并配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记，/n所述对基板作业系统构成为，在对由所述基板保持装置以跨所述第一作业区域和所述第二作业区域的状态保持的一个基板进行作业时，通过所述第一拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第一作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第一作业区域的标记的位置，并且通过所述第二拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第二作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第二作业区域的标记的位置，基于这些被测定出的存在于所述第一作业区域的标记的位置和被测定出的存在于所述第二作业区域的标记的位置，而对在作业中所述第一作业头的应通过所述第一头移动装置而移动的位置和所述第二作业头的应通过所述第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。/n...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对基板作业系统，具备：
基板保持装置，对基板进行固定保持；
第一作业头及第二作业头，对由该基板保持装置保持的基板进行作业；
第一头移动装置，使所述第一作业头在第一作业区域内移动；
第二头移动装置，使所述第二作业头在不同于所述第一作业区域的第二作业区域内移动；及
第一拍摄装置及第二拍摄装置，所述第一拍摄装置与所述第一作业头一起通过所述第一头移动装置而移动，所述第二拍摄装置与所述第二作业头一起通过所述第二头移动装置而移动，
所述对基板作业系统的特征在于，
该对基板作业系统还具备标记配置部件，所述标记配置部件跨所述第一作业区域和所述第二作业区域而设置，并配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记，
所述对基板作业系统构成为，在对由所述基板保持装置以跨所述第一作业区域和所述第二作业区域的状态保持的一个基板进行作业时，通过所述第一拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第一作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第一作业区域的标记的位置，并且通过所述第二拍摄装置拍摄所述标记配置部件的存在于所述第二作业区域的一个以上的标记来测定这些存在于第二作业区域的标记的位置，基于这些被测定出的存在于所述第一作业区域的标记的位置和被测定出的存在于所述第二作业区域的标记的位置，而对在作业中所述第一作业头的应通过所述第一头移动装置而移动的位置和所述第二作业头的应通过所述第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。


2.根据权利要求1所述的对基板作业系统，其中，
该对基板作业系统基于被测定出的存在于所述第一作业区域的标记的位置，而对所述标记配置部件的存在于所述第二作业区域内的一个以上的标记的位置进行推定，
该对基板作业系统基于存在于所述第二作业区域的标记的被测定出的位置与被推定出的位置之间的偏差，对在作业中所述第一作业头的应通过所述第一头移动装置而移动的位置和所述第二作业头的应通过所述第二头移动装置而移动的位置中的至少一方进行修正。


3.根据权利要求1或2所述的对基...

【专利技术属性】
技术研发人员：杉田宽佳，山荫勇介，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：日本;JP