下载对基板作业系统的技术资料

文档序号:23164944

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

标记配置部件(80、82)配置有具有被设定了的相互位置关系的多个标记并跨供第一作业头(28a)移动的第一作业区域(R1)和供第二作业头(28b)移动的第二作业区域(R2)而设置,在对以跨上述两个区域的状态被保持的一个基板(S...
该专利属于株式会社富士所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社富士授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。