带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线制造技术

本发明专利技术涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。磁材镀膜生产线大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用，属于真空镀膜设备技术领域。

Production line of magnetic material coating with planar cathode of moving magnetic plate

【技术实现步骤摘要】
带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线
本专利技术涉及真空镀膜设备
，具体涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线。
技术介绍
目前市场使用的磁材镀膜生产线均采用固定磁板的平面阴极，由于铽、镝稀有金属成本昂贵，采用固定磁板的平面阴极靶材刻蚀区域呈双U形状，中间部分无法刻蚀，导致靶材利用率低，导致生产线镀膜成本高居不下。
技术实现思路
针对现有技术中存在的技术问题，本专利技术的目的是：提供带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，大幅提高靶材利用率，既降低稀有材料的消耗，也实现高性能、低成本的产业化应用。为了达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。进一步的是：磁材镀膜生产线还包括输送机构本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。/n

【技术特征摘要】
1.带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上的多个磁钢，位于磁钢下方的靶材；动力装置的输出端连接在运动机构上，运动机构的输出端连接在磁板上。


2.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：磁材镀膜生产线还包括输送机构和托板，托板放置在输送机构上，磁材放置在托板上。


3.按照权利要求2所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：输送机构包括传动辊，托板放置在传动辊上。


4.按照权利要求1所述的带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，其特征在于：镀膜室上至少设置有一个平面阴极、至少一个动力装置、至少一个运动机构。

【专利技术属性】
技术研发人员：朱刚毅，朱刚劲，朱文廓，
申请(专利权)人：广东腾胜科技创新有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44