一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法技术

本发明专利技术公开了一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，包括：步骤1.合金原料的选择与配比；步骤2.对配比后的合金原料进行非自耗真空熔炼；步骤3.将步骤2得到的合金熔炼铸锭粉末化；步骤4.对合金粉末通过包套进行封装处理；步骤5.将装有合金粉末的包套进行热等静压成型，得到棒坯；步骤6.将棒坯通过机加工除去包套并加工到特定尺寸，得到高熵合金靶材。在靶材的粉末烧结之前，通过非自耗真空熔炼炉的熔炼处理，使得靶材中原子间能充分融合，避免了成分与组织偏析现象的产生；在制造过程中，从合金的熔炼到粉末的热等静压过程，都是在真空混合惰性气体保护中进行，能杜绝靶材制备过程中的氧化问题的产生。

A preparation method of hot isostatic pressing for fealcucuniv high entropy alloy target

【技术实现步骤摘要】
一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法
本专利技术属于金属粉末加工
，涉及一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法。
技术介绍
高熵合金是由五种及以上金属、非金属元素按照等摩尔或近等摩尔比，而制备的一种多主元、高混合熵的合金，具有优良的力学、化学、电磁学以及高温抗氧化等优点，尤其在磁记录介质领域中的应用，越来越展示出其优越性。传统靶材的制备过程中，往往直接采用混合单质金属粉末+压制成型工艺的工艺路线，在此工艺中通常会产生：粉末氧化、各种成分与结构偏析、粉末晶界浸润不良导致产生晶间气孔等问题，最终造成制备出的靶材缺陷多、致密度低、机加工及成型性能差等问题。
技术实现思路
本专利技术提供一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，通过原材料配比后的真空熔炼过程，使得靶材中原子间充分融合，无成分宏观偏析产生；采用真空包套装粉技术，通过预置收缩率的放置，实现热压后靶材的近净成型，亦可使粉末在热压成型前进一步得到致密化；采用热等静压进行高温高压成型，进一步提升靶本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：/n步骤1.合金原料的选择与配比；/n步骤2.对配比后的合金原料进行非自耗真空熔炼；/n步骤3.将步骤2得到的合金熔炼铸锭粉末化；/n步骤4.对合金粉末通过包套进行封装处理；/n步骤5.将装有合金粉末的包套进行热等静压成型，得到棒坯；/n步骤6.将棒坯通过机加工除去包套并加工到特定尺寸，得到高熵合金靶材。/n

【技术特征摘要】
1.一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，其特征在于，具体按照以下步骤实施：
步骤1.合金原料的选择与配比；
步骤2.对配比后的合金原料进行非自耗真空熔炼；
步骤3.将步骤2得到的合金熔炼铸锭粉末化；
步骤4.对合金粉末通过包套进行封装处理；
步骤5.将装有合金粉末的包套进行热等静压成型，得到棒坯；
步骤6.将棒坯通过机加工除去包套并加工到特定尺寸，得到高熵合金靶材。


2.根据权利要求1所述的一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，其特征在于，所述步骤1具体为：选择纯度大于99.9％的Fe、Al、Co、Cu、Ni、V块状金属，按照原子等摩尔比比例进行配比混合，获得合金原料。


3.根据权利要求1所述的一一种FeAlCoCuNiV高熵合金靶材热等静压成型的制备方法，其特征在于，所述步骤2具体为：在非自耗真空熔炼炉中，对混合后的合金原料进行熔炼处理，获得合金铸锭；熔炼的电流为250A，在1Pa下的氩气氛围中进行，次数...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑作赟，瞿宗宏，宋嘉明，罗成，白瑞敏，何山，王庆相，赖运金，梁书锦，
申请(专利权)人：西安欧中材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：陕西;61