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本发明涉及带运动磁板平面阴极的磁材镀膜生产线，包括沿着磁材运行路径设置的至少两个低真空室、至少两个高真空室、镀膜室，安装在镀膜室的运动机构和动力装置；镀膜室的两侧分别至少设置一个低真空室和至少设置一个高真空室；平面阴极包括磁板，安装在磁板上...
该专利属于广东腾胜科技创新有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东腾胜科技创新有限公司授权不得商用。

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