基板研磨系统技术方案

技术编号:23074114 阅读:40 留言:0更新日期:2020-01-10 22:26
本发明专利技术涉及一种基板研磨系统,所述基板研磨系统在分别搭载基板的多个基板承载架进行移动的同时,在套于研磨盘的研磨垫上进行研磨工序,在为此所需的所有工序中,按基板承载架分别监控基板承载架的移动路径及位置、运转状态。由此,本发明专利技术可以获得提高基板研磨工序的监控效率、能够准确地识别和管理发生错误的基板承载架的效果。

Substrate grinding system

【技术实现步骤摘要】
基板研磨系统
本专利技术涉及基板研磨系统,更具体而言,涉及一种使得能够更准确、系统地对在以把持基板的状态独立地移动的同时进行基板研磨工序的基板承载架的错误及维护进行管理的基板研磨系统。
技术介绍
半导体元件由微细的电路线高密度集成而制造,因此,在晶片表面进行与此相应的精密研磨。为了更精密地进行晶片的研磨,进行机械式研磨与化学式研磨并行的化学机械式研磨工序(CMP工序)。最近,为了更精巧的研磨工序,一个基板在多个研磨盘中依次进行,为了更高效进行多段研磨工序,提出了一种构成,一个研磨头以加装了基板的状态移动到多个研磨盘,在多个研磨盘中的一个以上进行研磨工序。为了基板的平坦研磨工序更精巧,在更多研磨盘中需要多阶段的研磨工序,为了工序效率,以搭载基板的状态进行移动的基板承载架可以互不从属而是能独立移动地构成。但是,同时进行研磨工序的基板承载架如果独立地移动,则会发生如下问题,即基板承载架在各自移动的同时正确识别在基板承载架中发生的各种状况和感测错误方面,变得非常复杂。因此,在基板的处理工序中,迫切需要实时监控多个基板承载架的位置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基板研磨系统,用于对包括第一基板和第二基板在内的多个基板进行研磨工序,其特征在于,包括:/n研磨垫,其套于研磨盘上;/n多个基板承载架,其包括第一基板承载架和第二基板承载架,所述第一基板承载架以搭载第一基板的状态移动,在所述研磨垫上,以将所述第一基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序,所述第二基板承载架以搭载第二基板的状态移动,在所述研磨垫上,以将所述第二基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序;/n监控单元,其识别所述基板承载架,并对包括位置在内的信息进行监控。/n

【技术特征摘要】
20180703 KR 10-2018-00768001.一种基板研磨系统,用于对包括第一基板和第二基板在内的多个基板进行研磨工序,其特征在于,包括:
研磨垫,其套于研磨盘上;
多个基板承载架,其包括第一基板承载架和第二基板承载架,所述第一基板承载架以搭载第一基板的状态移动,在所述研磨垫上,以将所述第一基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序,所述第二基板承载架以搭载第二基板的状态移动,在所述研磨垫上,以将所述第二基板接触于所述研磨垫的状态进行研磨工序;
监控单元,其识别所述基板承载架,并对包括位置在内的信息进行监控。


2.根据权利要求1所述的基板研磨系统,其特征在于,
所述多个基板承载架分别沿规定路径独立地移动的同时,在所述研磨垫上进行所述研磨工序。


3.根据权利要求1所述的基板研磨系统,其特征在于,
在所述基板承载架上配备识别符,所述监控单元通过所述识别符识别所述基板承载架。


4.根据权利要求3所述的基板研磨系统,其特征在于,
沿着所述基板承载架的移动路径配置有多个所述监控单元,以感测所述基板承载架的位置。


5.根据权利要求4所述的基板研磨系统,其特征在于,
所述监控单元在进行所述研磨工序的所述研磨垫上侧的第一位置,感测所述识别符。


6.根据权利要求4所述的基板研磨系统,其特征在于,
还包括显示装置,所述显示装置显示被所述监控单元监控的所述基板承载架的信息。


7.根据权利要求6所述的基板研磨系统,其特征在于,
所述基板承载架的位置信息实时显示在所述显示装置中。


8.根据权利要求6所述的基板研磨系统,其特征在于,
所述显示装置按照所识别的所述基板承载架分别显示信息。


9.根据权利要求8所述的基板研磨系统,其特征在于,
在所述显示装置中显示的所述信息包括基板承载架的位置信息、基板承载架的运转状态、搭载于基板承载架的基板信息、连接于基板承载架的研磨头的运转状态中的任意一种以上。


10.根据权利要求8所述的基板研磨系统,其特征在于,
所述显示装置中显示的所述信息包括:在所述基板承载架移动并进行基板研磨工序的研磨单元的布局图上显示的所述基板承载架的信息。


11.根据权利要求4所述的基板研磨系统,其特征在于,
还包括存储器,所述存储器存储被所述监控单元监控的所述基板承载架的信息。


12.根据权利要求11所述的基板研磨系统,其特征在于,...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱宗泰金橡贤郑皓天金在烈
申请(专利权)人:凯斯科技股份有限公司
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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