一种金刚石研磨液供给装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座，所述底座的上表面中部开有圆孔，且底座的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座，所述支撑座的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘，所述转动托盘的顶端预留有凹槽，且转动托盘的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖，所述底座相向的两侧均滑动连接有滑动块，且两个滑动块的顶端均固定固定架。本实用新型专利技术中，在斜孔内的研磨液向下流动的时候可以先聚集在基板的上表面中部，之后随着转动的研磨盘，在离心力的作用下被均匀地分散至周边部位，环形挡圈可以将研磨液拦在特制研磨盘的上表面防止其洒向外界。

A supply device of diamond grinding fluid

The utility model discloses a diamond abrasive fluid supply device, which comprises a base with a cavity in a rectangular structure, a circular hole is opened in the middle of the upper surface of the base, a support seat is arranged at the bottom of the inner wall of the base close to the bottom of the circular hole, a circular installation seat is arranged at the top of the support seat, and the top of the circular installation seat is rotationally connected with a rotation tray, and the rotation bracket A groove is reserved at the top of the disc, and the top of the rotating tray is provided with a tray cover with a circular structure. Both sides of the base opposite to each other are sliding connected with sliding blocks, and the top of the two sliding blocks are fixed with a fixed frame. In the utility model, when the abrasive liquid in the inclined hole flows downward, it can first gather in the middle of the upper surface of the base plate, and then with the rotating abrasive disk, it is evenly distributed to the surrounding parts under the effect of centrifugal force, and the annular retaining ring can block the abrasive liquid on the upper surface of the special abrasive disk to prevent it from spilling to the outside.

【技术实现步骤摘要】
一种金刚石研磨液供给装置
本技术涉及打磨装置
，尤其涉及一种金刚石研磨液供给装置。
技术介绍
但是，在现有的基板研磨装置中，因为若从基板的外侧供给研磨液，则研磨液通过基板及研磨垫的旋转被从外面向中心供给，所以基板的边缘部分的研磨液供给量多于中心部分，并且很难将研磨液的量均匀地供给于基板整个面。随着基板的尺寸逐渐大面积化，利用现有的研磨液供给方式很难均匀地供给研磨液。例如，在为了将研磨液供应于大面积的基板而设置多个喷嘴的情况下，从多个喷嘴供应研磨液的区域相互重叠，从而研磨液的供应量会变得不均匀。此外，为了将研磨液供应于大面积的基板，从喷嘴供应出的研磨液的喷射量过多，从而研磨液的消耗量变多，并且在基板的边缘和中心部分的研磨液供给量的差异变得更大。因此就需要一种可以方便将研磨液输送至基板的表面使其均匀分布的装置。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种金刚石研磨液供给装置。为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上表面中部开有圆孔，且底座(1)的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座(16)，所述支撑座(16)的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘(7)，所述转动托盘(7)的顶端预留有凹槽，且转动托盘(7)的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖(8)，所述底座(1)相向的两侧均滑动连接有滑动块(6)，且两个滑动块(6)的顶端均固定固定架，两个所述固定架的顶端之间设置有两根开口相对且互相平行的槽钢滑轨，两根所述槽钢滑轨之间滑动连接有同一个矩形滑框(11)，且矩形滑框(11)的中间套接有电机箱(1...

【技术特征摘要】
1.一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上表面中部开有圆孔，且底座(1)的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座(16)，所述支撑座(16)的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘(7)，所述转动托盘(7)的顶端预留有凹槽，且转动托盘(7)的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖(8)，所述底座(1)相向的两侧均滑动连接有滑动块(6)，且两个滑动块(6)的顶端均固定固定架，两个所述固定架的顶端之间设置有两根开口相对且互相平行的槽钢滑轨，两根所述槽钢滑轨之间滑动连接有同一个矩形滑框(11)，且矩形滑框(11)的中间套接有电机箱(12)，所述电机箱(12)内设置有打磨机(13)，且打磨机(13)的输出轴顶端设置有特制研磨盘(4)，所述特制研磨盘(4)的上表面靠近圆周边缘处预留有环形挡圈(17)，所述矩形滑框(11)的侧面通过螺栓固定有研磨液箱(10)，且研磨液箱(10)的底部设置有倾斜设置的喷射头(9)。


2.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，所述转动托盘(7)的底部圆周外壁处预留有环形槽，且环形槽内卡...

【专利技术属性】
技术研发人员：崔道今，
申请(专利权)人：天津双诚佳合新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：天津;12