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本发明涉及一种基板研磨系统，所述基板研磨系统在分别搭载基板的多个基板承载架进行移动的同时，在套于研磨盘的研磨垫上进行研磨工序，在为此所需的所有工序中，按基板承载架分别监控基板承载架的移动路径及位置、运转状态。由此，本发明可以获得提高基板研磨...
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