一种气体输送控制阀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种气体输送控制阀，该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送／停气按钮／灯、风压指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警；所述的报警指示灯、气体余量显示、送／停气按钮／灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上，所述的电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。与现有技术相比，本实用新型专利技术能够极大的提高特殊气体输送的安全性，不但能够在危险发生时及时停止气体输送，防止危险的进一步扩散，并且能够保证气体输送和工艺生产的连续性。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体输送装置，尤其涉及一种气体输送控制阀。
技术介绍
随着近年来国内半导体，微电子，平面显示，发光二极管行业的迅速发展， 国内对各类特气的需求日益增加。由于在这些特气中有相当一部分为危险性气体，例如硅烷(SiH4)具有自燃性，磷烷(PH3)具有剧毒性等；因此需配置专门的 阀门组来控制阀门的吹扫。目前国内多采用手动阀门来控制，具有以下潜在缺陷1. 在出现气体泄漏等危险情况下需要手动来关闭阀门，对于操作人员有 极大的危险性；同时由于关断动作在时间上的延后，不能保证设备的实时关断，因此可能造成泄漏等危险的进一步扩散。2. 在气瓶内气筒用完后，需要人工吹扫和切换钢瓶，造成气体输送的中 断，影响生产。
技术实现思路
本技术的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种能够极 大的提高特殊气体输送的安全性的气体输送控制阀。本技术的目的可以通过以下技术方案来实现 一种气体输送控制阀，其特征在于，该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送/停气按钮/灯、风压 指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警；所述的报警指示灯、气体余量显示、送/停本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种气体输送控制阀，其特征在于，该控制阀包括报警指示灯、气体余量显示、送／停气按钮／灯、风压指示、紧急切断按钮、气动阀、电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警；所述的报警指示灯、气体余量显示、送／停气按钮／灯、风压指示、紧急切断按钮设置于控制箱面板上，所述的电磁阀、可编程逻辑控制器、断路器、输入输出端子、开关电源、风压报警设置于控制器内部。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李东升，
申请(专利权)人：上海正帆超净技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：31[中国|上海]